【課題】部品点数やコストを削減することができるデュアル物理量センサを提供する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する第１補正と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する第２補正とを実行する補正ユニットと、熱伝導性を有するととともに、一端部８ａが圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂに接触し他端部８ｂが温度センサ４に接触する伝熱部材８と、を備え、伝熱部材８は、一端部８ａと他端部８ｂとの間に弾性を有する弾性部８ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】圧力及び温度に可能な限り依存しない流量センサの提供。
【解決手段】気体又は液体の流量を測定する、ハウジングを備えた流量センサであって、前記ハウジング内には、１つの主流路２及び主流路２に平行な測定流路３を備えた流路が導入路１５と排出路１６の間を伸張し、主流路２には少なくとも１つの絞り部１７が備えられ且つ測定流路３には流量を測定する１つのセンサ素子が備えられ、測定流路３の入口側と出口側にはそれぞれ１つの絞り部１８が備えられ、主流路の絞り部１７は少なくとも１つの通過路１９を備え且つ測定流路の絞り部１８は少なくとも１つの通過路２０を備え、それぞれの通過路は同一形状であり流れ方向に平行に伸張していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】流量センサからの出力信号である流量電圧信号をデジタルデータに変換して出力するＡ／Ｄ変換回路を備えた流量測定装置において、出力変動を低減させるとともに、流量検出精度を向上させる。
【解決手段】流量測定装置１は、流量電圧信号のデジタルデータ（流量デジタルデータ）を用いて演算処理を行うデジタル演算部１４を備え、デジタル演算部１４において、流量デジタルデータを少なくとも連続する２個以上の所定個数での移動平均により平均化処理を行う。すなわち、流量測定装置１内で、流量デジタルデータの平均化処理をする。これによれば、流量測定装置１内で、流量デジタルデータの全てを用いて平均化処理ができるため、ＥＣＵ１７に取り込んでＥＣＵ１７内で平均化処理する場合と比較して、平均化処理の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】計測環境に影響されない流量の計測を可能にする。
【解決手段】流量計（２０）を通してワークに供給する気体を調圧弁（１２）でテスト圧に設定し、流量計によりワークから流出する計測環境での流量を計測し、ワークに供給する気体の温度と計測環境の気圧を測定し、測定した温度と気圧により流量換算部（３０Ｒ）において標準状態の流量への変換係数Ｒを計算し、流量等価部（３０Ｅ）において換算流量に対し換算係数の平方根で割り算して計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量を求め、表示する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、設置スペースの小型化を可能にしたＬＰガス供給機を提供するためのタービン流量計を得る。
【解決手段】貯留タンクにＬＰガスを所定量計量しながら供給するＬＰガス供給機において、タービン流量計Ａを液体が通過すると回転するロータ３と、これを回転自在に内蔵するハウジング１とから構成し、ロータ３の羽根４の回転軌跡円上に接近したハウジング１内に羽根４の回転を検出する流量検出部１１を設け、一方、計量室２の内壁面との間に薄肉部２２を有する第２有底取付穴２３を開け、この第２有底取付穴２３に薄肉部２２を介して液体の温度を測定可能な温度測定器２１を内蔵したタービン流量計であるので、車両にＬＰガスを充填する場合において、供給機自体を小さくすることができ、設置スペースが減少する。また、温度測定器が液体に直接触れることがないので乱流が発生しない。 （もっと読む）

【課題】部品点数が削減された流量検出装置を提供する。
【解決手段】管内の流体の流量を検出する流量検出装置であって、圧電材料から成る、弁体に設けられたセンサチップと、センサチップに駆動信号を供給し、センサチップの検出信号を処理する処理手段と、を有し、センサチップは、流体に晒されるセンサ面に、駆動信号を受けて表面弾性波を発生し、表面弾性波を検出信号に変換する弾性波部と、弾性波部によって発生された表面弾性波を、弾性波部に反射する反射部と、駆動信号を受信するとともに、検出信号を送信する内部通信部と、を有し、処理手段は、駆動信号を生成する生成部と、駆動信号を送信するとともに、検出信号を受信する外部通信部と、駆動信号と検出信号とに基づいて、流体の圧力、温度、弁体の開度、及び、流体の流量を算出する算出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の流体に対し流量の温度補正を低消費電力でできる流量計測装置を提供すること。
【解決手段】被計測流体の温度−音速特性、又は温度−伝播時間特性を特定できるまでは、温度測定手段８で計測した温度に基いて所望の温度での流量に温度補正し、温度測定手段８で計測した温度と、伝播時間測定手段４で計測した伝播時間から、被計測流体の温度−音速特性、又は温度−伝播時間特性を特定し、以降、伝播時間だけから被計測流体の温度を算出することができるので、低消費電力化が実現できる。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】 時間Ａ／Ｄ変換回路（ＴＡＤ）における空気流量電圧信号Ｖｑに対するＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を短縮することを課題とする。
【解決手段】 アナログマルチプレクサによって選択された順序で、基準電圧信号Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、吸気温度電圧信号Ｖｔおよび空気流量電圧信号Ｖｑをサンプリングしてデジタルデータに変換するＴＡＤと、Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、Ｖｔ、ＶｑをＴＡＤがサンプリングするタイミングを設定するサンプリングタイミング設定部とを備えている。このサンプリングタイミング設定部は、Ｖｑのサンプリングタイミングを、Ｖｒｅｆ３、Ｖｒｅｆ２、Ｖｒｅｆ１、Ｖｔのうち隣合う２つのアナログ入力電圧信号のサンプリングタイミング間に挿入している。これにより、空気流量電圧信号Ｖｑに対するＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を短縮することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計測感度を高速化させた（高分解能）とした場合に発生する測定誤差を最初から発生させないようにする超音波流量計を得る。
【解決手段】超音波流量計２００は、流体が流通する測定経路である配管（流路）２０に着脱可能な超音波プローブ２１と、超音波プローブ２１と接続されている制御部３０とを備えている。制御部３０は、送信波発振部３１、３９と、受信部３２、４０と、フィルタ部３３、４１と、増幅部３４、４２と、正規化部３５、４３と、高速演算部３６と、流量算出部３７と、ＣＰＵ３７と、を有している。ＣＰＵ３７は、超音波の応答時間を計測し補正可能な時間計測部３７ａと、超音波の応答時間の値などを用いて流体の流量を算出できる流量算出部３７ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】極低温を含む広い温度範囲にわたって、正確な出力材料流量情報を生成するコリオリ流量計を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計は、メモリに記憶された非線形補償情報を使用し（７０６）、極低温を含む全ての温度で正確な非線形温度補償材料流量出力情報を生成する（７１４）。一つの実施の形態においては、記憶された非線形情報は（７０６）、正確な温度補償材料流量出力情報を生成するために使用されるヤング率Ｅの測定値を表す。他の実施の形態においては、ヤング率Ｅの測定値を曲線近似し（７０３）、正確な非線形温度補償出力情報を生成するのに使用するのに記憶される非線形式を導出する（７１０）。 （もっと読む）

【課題】基準温度の補正流量を容易に算定することができるとともに、基準温度の補正流量の算定が、システム全体として正しく行われているかをテストすることができる温度補正システムを提供する。
【解決手段】 模擬データ出力手段に対し、所定の流量に対応した流量データ及び所定の温度に対応した温度データを出力するように外部から指示することで、補正流量算定手段が、所定の流量に対応した流量データ及び所定の温度に対応した温度データの内、少なくともその一方のデータを、通信回線を介して受信するとともに、一方のデータだけを通信回線を介して受信する場合には、他方のデータを、通信回線を介さずに受信して、基準温度の補正流量（Ａ）を算定するように構成するとともに、基準温度の補正流量（Ａ）と、基準温度の理論上の補正流量（Ｂ）を比較することで、基準温度の補正流量（Ａ）の誤差を算定することができるように構成した。 （もっと読む）

【課題】予め規定されたタスクを完了すべく、流量計を用いる工程についてユーザーを指導するシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】システムは、コンピュータ・システム上で動作し、制御モジュール２０２と通信する指導者モジュール２０８であって、流量計２０４を用いて完了すべき複数の所定のタスクの中からの所定のタスクのユーザー選択を受け取り、所定のタスクを完了するために流量計２０４を用いるための一連の工程を表示し、一連の工程に対するユーザー応答を受け取り、ユーザー応答にしたがって流量計２０４を動作させて所定のタスクを完了するよう構成される。 （もっと読む）

噴射工程を測定するためのシステムの温度変化の調整は、補正係数によって理論的にのみ行われるが、エラーを負っている。したがって、測定チャンバ（２）に加熱または冷却要素（３２）を配置し、該加熱または冷却要素（３２）は、噴射された流量と加熱または冷却要素（３２）とによって供給されるエネルギ量が噴射毎に実質的に一定になるように、制御装置（２６）によって操作される。それと同時に、一定のエネルギ量がシステムから取り除かれ、これによって測定チャンバにおいて一定の温度が形成され、これによって理論的なエラーを負った計算を回避することができ、噴射決定時の測定精度を改善することができる。
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【課題】出水等による河床変動が生じても、河川の流量を高精度で連続して実時間測定可能な方法及び装置を提供する。
【解決手段】河床変動シミュレーションにより水理学的に起こりえる複数の河床形状を計算し、局所的な河床高で個々の河床形状を代表させ、個々の河床形状のそれぞれについて、流速を流量に換算するための換算係数と水位との関係を流れ場の水理シミュレーションにより算出して記憶する（＃４）。河川の局所的な流速、水位、及び局所的な河床高を時々刻々と測定する（＃１，＃２，＃３）。測定された局所的な河床高と、測定された水位と、換算係数と水位との関係とから換算係数を時々刻々と決定する（＃５，＃６）。決定された換算係数と前記測定された流速とから前記河川の流量を時々刻々と算出する（＃７）。 （もっと読む）

本開示は、質量流量コントローラのような、質量流量給送／測定デバイスを通過する質量流量を測定し検証する質量流量検証システムおよび方法に関する。質量流量検証システムは、予め設定されている容積、温度センサ、および圧力センサを備えている。質量流量測定デバイスの中にある隙間容積から生ずる誤差を補償するために、質量流量検証システムによって測定、検証、および判定された流量を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】オリフィスを設置する位置が制限されず、合理的な給排ガス管の配置を実現できる蓄熱式バーナの流量測定方法及びその方法を用い得る給気排ガス装置の提供。
【解決手段】交互燃焼する蓄熱式バーナ１ａ，１ｂに各々直結する引出管２ａ，２ｂを備え、引出管２ａ，２ｂに繋がる給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４を備え、給気ブリッジ３及び排ガスブリッジ４における給気管連結部３Ｊ又は排ガス管連結部４Ｊの両側に各側で交互に開閉する遮断弁７を備え、引出管２ａ，２ｂを流通する気体の温度を検出する温度検出器１０を設置し、引出管２ａ，２ｂに、オリフィス８、及びオリフィス前後の気圧差を検出する差圧検出器９を設置し、オリフィス８の前後に給気時及び排ガス時において旋回流の発生を抑制し得る直管部２Ｓａ，２Ｓｂを備え、差圧情報と温度情報を差圧・温度−流量特性に当て嵌め燃焼空気及び排ガスの流量を導出する蓄熱式バーナの流量測定回路。 （もっと読む）