【課題】高アスペクト比の細孔に対しても効率よくかつ精度よく当該細孔内を流れるガスの流量を測定することができる作業性のよい流量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量測定装置は、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段１と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路２、２ａ及び比較吸気通路３、３ａとを備える。主吸気通路が細孔Ｈの一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第１の測定基準孔ＲＨ１に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第２の測定基準孔ＲＨ２が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第３の測定基準孔ＲＨ３が介在され、吸引手段を稼働して細孔及び第１の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第３の測定基準孔備の間、及び、第１及び第２の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する測定手段１５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】例えば、微細な異物の噛み込み等が発生した場合であっても、良好なメンテナンス性を得ること。
【解決手段】ケーシング３６の内部に形成された貫通孔４２内に回転可能に収装され、ねじれ方向が異なる第１スパイラルギヤ４４及び第２スパイラルギヤ４６と、第１スパイラルギヤ４４の回転を検知する近接センサ２４と、ケーシング３６の軸方向に沿った一端部にボルト３８を介して着脱自在に連結され、メンテナンス孔５０を有するエンドブロック４０ａとを備え、第１スパイラルギヤ４４の一端部には係合穴７０が形成され、ケーシング３６からエンドブロック４０ａを離間させてメンテナンス孔５０を開口させ、メンテナンス用工具を係合穴７０と係合させて第１スパイラルギヤ４４及び第２スパイラルギヤ４６を強制的に回転させる。 （もっと読む）

【課題】特定の面間内で、ボール弁体を上流側寄りに配置して上下流の流体圧力を安定した状態で取り込むことを可能とし、かつ、簡単な構造で流量を正確に計測することができる流量計測機能付きボールバルブを提供すること。
【解決手段】所定の面間を有し、両端にフランジ１、３を設けた弁箱の上流側寄りの内部に弁軸を介してボール弁体６を回転自在に設け、前記フランジの上部外端面に上下流の流体圧力を測定する圧力センサ１０，１１をそれぞれ固着すると共に、前記フランジの肉厚に沿って圧力取出し用の連通路をそれぞれ穿設し、この連通路１２、１３から導入した上下流の流体圧力を前記圧力センサで測定することにより上下流の流体圧力の差圧信号と弁開度量から求めた弁容量係数によりボールバルブの流体の流量を演算して適切な流体流量に制御するようにしたことを特徴とする流量計測機能付きボールバルブである。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】所望のｐＨ値のイオン水をより簡単な制御構成で且つより安定して生成することのできる電解水生成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】水栓（水供給部）２ａから原水が導水される主配管（流路）３に、少なくとも一対の陽極および陰極の電極板１１、１２（１２、１３）を備えた電解槽９と、流量検知手段１８とを配置させた電解水生成装置１において、流量検知手段１８が検出した流量に応じて前記電極板１１、１２（１２、１３）の電解面積を可変とする面積可変手段１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】熱式流量センサにおいてどの箇所に不具合が生じているのかを診断することができる診断装置及びその診断装置を備え、自己診断が可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】熱式流量センサ１が出力する第１測定流量値と、前記流量測定機構２が出力する第２測定流量値と、を比較して前記熱式流量センサ１の異常を診断する診断部４３と、を備え、前記診断部４３が、第１測定流量値と第２測定流量値に基づいて、前記メイン流路ＭＬ又は前記センサ流路ＳＬのいずれに詰まりがあるかを診断するように構成した。 （もっと読む）

【課題】流量計と充填を制御する制御装置の間でノイズなどによって流量を表すパルスが増加あるいは消失すると、制御装置が正確な流量を把握できないので、正確に充填することができない。本発明はこのような課題を解決することを目的にする。
【解決手段】パルス信号補正装置を経由して流量計の出力を制御装置に入力する。パルス信号補正装置は流量計の出力と制御装置が受信したパルス数の差分を計算し、この差分に基づいて、次の出力周期で出力パルス数を補正するようにする。制御装置が正確な流量を得ることができるので、正確に充填できる。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができるとともに、検出結果の安定性が高いフローセンサ、流量計、および流量制御装置を提供する。
【解決手段】フローセンサ１は、流体が流通する流路１１が内部に設けられた流路保持体１０と、流体の速度を検出するための検出部２０と、を備え、流路保持体１０は、それぞれが接合された複数の部材１２，１３，１４を含み、検出部２０は、前記複数の部材１２，１３，１４のうちの一の部材と他の部材との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】蒸気の湿り度によらず簡便に蒸気流量を測定することができる方法、及び蒸気の制御性に優れた熱供給システムを提供する。
【解決手段】配管３０内を流通する湿り蒸気の流量を渦流量計２０により計測し、当該計測値を前記湿り蒸気の総流量として取得した後、前記計測値を、前記湿り蒸気の密度を用いて補正し、当該補正値を湿り蒸気の総流量として取得することを特徴とする。この方法によれば、湿り蒸気の湿り度によらず少ない誤差で湿り蒸気の総流量を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、１サイクルごとに一定量の流体を流し出す計量子を繰り返し動作させて流量を計測する容積式流量計に関し、流量計測誤差を小さく抑える。
【解決手段】 流路内で動作を循環的に繰り返し流入してきた流体を１サイクルの動作ごとに一定量だけ流出させる計量子と、その計量子に流入する流体とその計量子から流出する流体との差圧を検出する差圧検出器と、計量子の動作に応じた信号を出力する動作検出器と、計量子の動作を補助するモータと、動作検出器の出力信号に基づいて、差圧検出器の応答周波数を越える周波数成分を含む波形を生成する波形生成部と、差圧検出器で検出された差圧と波形生成部で生成された波形との双方に基づいて、計量子に流入する流体と計量子から流出する流体との差圧がゼロになるようにモータの動作を制御する動作制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】高い応答性で計測が可能であり、排ガスの供給量を適切に調整することができる排ガス再循環装置および内燃機関システムを提供することにある。
【解決手段】再循環配管と、流量調整弁と、流量測定装置と、制御装置と、を有し、流量測定装置は、計測セルと、計測セルの第１パージガス供給管にパージガスを供給するパージガス供給部と、入射管にレーザ光を入射させる発光部と、入射管から入射され、前記計測セルを通過し、出射管から出射されたレーザ光を受光し、受光した光量を受光信号として出力する受光部と、受光部から出力される受光信号に基づいて、計測セルを流れる排ガスの流量を算出する算出部と、各部の動作を制御する計測制御部と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧力損失が小さく、組み立て易く、作動流体の漏出を防止して、回転弁のスムーズな回転が可能な流量計の提供。
【解決手段】本体ケーシング（２）にシリンダー（３）及び流路（４）を形成し、シリンダー（３）内を摺動するピストン（５）を設け、このピストン（５）に連結されたピストン杆（６）をクランク軸（７）に係合し、流路（４）を切り替える切替弁（９）にクランク軸（７）を係合し、そして切替弁（９）を囲うように流入口ケーシング（１０）を設け、クランク軸（７）の回転を検知する流量信号発信器（３０）を設けた流量計（１）において、流入口ケーシング（２）と一体的に流量制御弁（１６）を設けている。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】 ガス供給装置用流量制御器の流量測定をより迅速且つ高精度で行えるようにすると共に、測定に用いる流量測定装置の構造の簡素化及び小型化を図る。
【解決手段】 ガス供給管路Ｌの出口端部に設けた開閉弁Ｖ₀の上流部へ分岐状に且つ解離自在にその入口側端部を連結すると共にその出口側端部をガス流出側へ連結する分岐管路Ｌｂと、分岐管路Ｌｂの出口側に設けた開閉弁Ｖと、開閉弁Ｖの上流側のガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Ｐｄ及び温度検出器Ｔｄと、圧力検出器Ｐｄ及び温度検出器Ｔｄからの検出信号が入力され、分岐管路Ｌｂを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置ＣＰとからなり、ガス供給装置ＧＦのガス供給管路Ｌの出口端部に設けた開閉弁Ｖ_０の上流部へ分岐状に且つ解離自在に連結する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、発振器単体の校正や精度確認のみでは発見できない導圧管からの圧力漏れや導圧管内の詰り等を流量制御システム系の異常として発見することを目的とする。
【解決手段】管内の流体の流量設定値（６）と差圧式流量計（３）で測定される流量実績値（７）との偏差を求め、該偏差を用いて流量調節弁（５）を制御する流量制御システムの異常監視方法において、前記管内を流れる最大流量に対する前記流量実績値との割合（％）と、前記流量調節弁（５）への開度指令値（％）（８）との差の絶対値を求め、 該絶対値が所定のしきい値を超えていれば、前記流量制御が異常であると判定することを特徴とする流量制御システムの異常監視方法。 （もっと読む）

【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ＭＦＣ２及びこのＭＦＣ２を管理する制御機器３を有する流量計測システム１００であって、前記ＭＦＣ２が、流量センサ２１と、この流量センサ２１により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部Ｄ１とを備え、前記制御機器３が、前記関連データ格納部Ｄ１から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ２１の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出量が常に一定となるように高精度に制御すると共に、前記液体内にエアが混入した場合を検知して吐出精度の低下を防止する。
【解決手段】定量吐出装置１０は、液体が流通する第１及び第２通路１２、１６を有し、前記第１及び第２通路１２、１６の下部には、前記第１及び第２通路１２、１６内の液体の圧力を検出可能な一組の検出部２０ａ、２０ｂが設けられると共に、前記第１及び第２通路１２、１６の上部には、液体内に含まれるエアを排出可能なエア抜き通路４８ａ、４８ｂがそれぞれ設けられている。そして、第１ハウジング１４と第２ハウジング１８の間には、第１及び第２通路１２、１６に臨むように液体の流量を絞るための流量調整部２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】設置されている様々な種類の便器に応じて、最適な便器洗浄に必要な吐水流量を簡単に設定することができ、過不足なく最適な吐水流量で便器への定量吐水を行うことができる自動給水装置を提供する。
【解決手段】本発明の自動給水装置１は、設置されている便器の種類を識別する便器識別情報を設定する便器識別情報設定用リモコン２２と、使用者Ｕの動作を検知する人体センサー４と、吐水される水の通水路１４を開閉する電磁弁１０と、通水路１４内の吐水流量を検知するカウンター１６ｂと、電磁弁を開閉制御するコントローラ２０と、を有し、このコントローラ２０は、人体センサーが使用者の動作を検知した後に電磁弁を開弁させ、次に、便器識別情報設定用リモコンにより設定された便器識別情報とカウンターが検知した検知情報に基づいて電磁弁を閉弁させるタイミングを決定し、この決定したタイミングに従って電磁弁を閉弁させる。 （もっと読む）

【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）