【課題】フォトレジスト中への金属等の不純物の溶出を抑制することができるとともに、フォトレジストの流量と気泡の有無を検出することのできる気泡検出方法及びレジスト塗布方法並びにレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】内部に流体が流通される樹脂製配管と、前記樹脂製配管の外部に設けられ、前記流体を加熱するための加熱機構と、前記樹脂製配管の外部に設けられ、前記流体の流れによる温度変化を検出するための温度検出機構と、を具備した流量センサを、内部にフォトレジストが流通されるフォトレジスト供給配管に介挿し、前記流量センサからの信号に基づいて前記フォトレジスト供給配管内を流通する前記フォトレジストの流量を検出するとともに、前記フォトレジスト中の気泡の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】被測定流体中への金属等の不純物の溶出を抑制することができるとともに、従来に比べて精度良く流体の流量を測定することのできる流量センサ等を提供する。
【解決手段】内部に被測定流体が流通される樹脂製配管と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体を加熱するための加熱機構と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体の流れによる温度変化を検出するための温度検出機構と、を具備した流量センサであって、樹脂製配管の一部に、管壁の厚さを薄くした薄肉部を設け、当該薄肉部に加熱機構及び温度検出機構を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定流体中への金属等の不純物の溶出を抑制することができるとともに、従来に比べて精度良く流体の流量を測定することができ、かつ、堅牢性を備えた流量センサ等を提供する。
【解決手段】内部に被測定流体が流通される樹脂製配管と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体を加熱するための加熱機構と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体の流れによる温度変化を検出するための温度検出機構と、を具備した流量センサであって、加熱機構及び温度検出機構の配置部位より樹脂製配管の両端側に、それぞれ少なくとも１つずつ、樹脂製配管外側に突出する固定部材を固着し、２つの前記固定部材を、当該固定部材の管軸の回りの回転を制限しつつ保持する保持部材に固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】耐腐食性を備えた、測定精度の高い熱式流量計を提供する。
【解決手段】流体の流れにより生じる温度差を検出して、流路を流れる流体の流量を測定する熱式流量計であって、流路となる溝部が形成された第１ガラス基板と、溝部を覆う第２ガラス基板と、第２ガラス基板の溝部と反対側の面の流路に対応する位置に、ボロンドープのダイヤモンド薄膜により形成された温度検出素子とを備えたことを特徴とする。温度検出素子は、流路の上流側と下流側とに形成され、上流側に形成された温度検出素子と下流側に形成された温度検出素子との中間の位置に、ボロンドープのダイヤモンド薄膜により形成された伝熱素子をさらに備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】流量センサー管と基部部材との接続部の漏れを無くす。
【解決手段】第１及び第２の略反対の側を有する基部部材１１０と、前記基部部材１１０の第２側によって画定されている第１のニップル１３０と、前記基部部材１１０及び前記第１のニップル１３０を貫通してのびる開口部１１４と、前記開口部１１４の中に入っている端部を有する流量センサー管１１２と、前記開口部１１４の中に、前記基部部材１１０の前記第１側に隣接する前記流量センサー管１１２を取り囲んで配置されている溶加材１２０と、を備えており、前記流量センサー管１１２は、前記第１のニップル１３０に溶接されている、流量センサー管組立体を提供する。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来よりも部品点数を削減しかつセンサ管の端部を確実にシールすることができる流量センサユニットを提供する。
【解決手段】発熱抵抗線３３ａ、３３ｂが巻回され、一端から他端に向ってガスが流動するセンサ管３１を有し、センサケース６に収容されるセンサ部材３と、センサケース６が装着されるケース溝２３ケース溝で仕切られ、締結用貫通穴２１１が形成された第１表面２１及び締結用貫通穴２２１が形成された第２表面２２を有するベース部材２とを備え、ケース溝２３の底面にセンサ管３１の一端部を受取るセンサ管用貫通穴２３１とセンサ管３１の他端部に固着されたリング状フランジ部材３４が圧入されるフランジ用貫通穴２３２が設けられるとともに、センサ管用貫通穴２３１、フランジ用貫通穴２３２の端部にシール部材４ａ、４ｂが装着される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも部品点数を削減した流量センサユニットを提供する。
【解決手段】ガスが流動し、直列に接続される発熱抵抗線６３ａ、６３ｂが巻回されたセンサ管６１を有し、センサケース７内に収容されるセンサ部材６と、センサ管６１の上流側端部を受取る上ブロック３とセンサ管６１の下流側端部を受取る下ブロック４を有しかつ上ブロック３及び下ブロック４はこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材２とを備え、複合ベース部材２は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、上ブロック３と下ブロック４とが分離した状態でセンサ管６１の上流側端部と下流側端部が挿入・固着されかつ仕上げ面と反対側の面から取付け面に固着される。 （もっと読む）

【課題】簡便にオゾンガスの濃度を測定することができるオゾンガス濃度測定方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷのベベル部に付着したＣＦ系デポ１８を除去するベベル部洗浄装置１０において、処理ガス生成器２２は酸素ガスを含む原料ガスからオゾンガスを含む処理ガスを生成し、処理ガス用マスフローコントローラ２３は処理ガスの流量を測定し、コントローラ３３は原料ガスから処理ガスへの流量減少率を算出し、該流量減少率に基づいて処理ガスに含まれるオゾンガスの濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】
発熱抵抗体を含む複数の抵抗体を有する流量センサの熱容量を小さくして、低消費電力化が可能な熱式ガス流量計を提供する。
【解決手段】
第１発熱抵抗体１００と測温抵抗体２００と第２発熱抵抗体３００とを、巻線装着体１１に巻き回した１本の連続した導体線上に構成し、第１発熱抵抗体１００の巻き始め１２と、第２発熱抵抗体３００の巻き終わり１５と、第１発熱抵抗体１００と測温抵抗体２００との区分点１３と、測温抵抗体２００と第２発熱抵抗体３００との区分点１４に引出し導体を接続した。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

本発明の一実施形態は、熱センサおよび同センサを使用する方法を含む。１つの熱センサは、外部の長手方向および直交方向温度勾配に影響を受けない信号を出力するようにする。一実施形態において、質量流量コントローラ熱センサは、上流管部分、管屈曲部分、および下流管部分を備える毛細管を含み、下流部分は、上流部分にほぼ平行である。一実施形態において、上流管部分と下流管部分との間の距離は、上流部分および下流部分長さの半分とほぼ同じであり、第１の対になった熱検知素子は、上流管部分に結合し、第２の対になった熱検知素子は、下流管部分に結合する。
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【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低真空領域における分流比の圧力依存性を考慮した質量流量計１及びこの質量流量計１を用いたマスフローコントローラＺを提供する。
【解決手段】試料ガスＧが流れるメイン流路２と、前記メイン流路２から分岐して前記試料ガスＧを分流させるものであり、前記試料ガスＧの流量を検出する流量検出機構４が設けられる測定路３Ａを有するセンサ流路３と、前記メイン流路２における前記センサ流路３の分岐点ＢＰと合流点ＭＰの間に設けられ、複数の内部流路５１を有する層流素子５と、を具備し、前記測定路３Ａの流路形状及び前記内部流路５１の流路形状が略同一である。 （もっと読む）

【課題】 大流量用であっても大型化することなく、廉価でコンパクトな高性能流量センサおよびこれを用いた質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量センサ８は、流体をバイパス流路１２と、ブリッジ回路の一部を形成する発熱抵抗線が巻回されたセンサ流路１４とに所定の分流比で分岐して流し、前記センサ流路１４に前記流体が流れることによって生ずる熱の移動を前記ブリッジ回路の不平衡として捉えることにより、前記流体の全体の流量をセンサ出力として求める流量センサにおいて、前記バイパス流路は、略直線状の一辺と、該一辺と接する曲線で形成される複数の細流路７４から構成され、前記細流路７４の等価水力直径（ｄ）と、前記細流路７４の長さ（Ｔ）の常用対数との比が０．２７以下である。そして、この流量センサは質量流量制御装置に内蔵される。 （もっと読む）

フローセンサは、管などの流体素子、熱源、上流温度センサ、および下流温度センサを含む。流体素子は、流路の中間点よりも互いに近く配置された流入末端および流出末端を有する流路を形成する。熱源ならびに上流および下流温度センサは、流路中の液体と熱的に連絡するように配置されている。
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流量制御システム（１０、２０）は、流量センサ（１２）、弁制御装置（１３）、信号プロセッサ（１４、１６）、制御プロセッサ（１４、１６）、およびインターフェイス（１４、１７）を含む。流量センサ（１２）は、流量を特徴付けるセンサ信号を生成する。弁制御装置（１３）は、制御出力に応じて流量を制御する。信号プロセッサ（１４、１６）は、センサ信号を、時間の関数として流量を特徴付ける流量信号に変換し、制御プロセッサ（１４、１６）は、設定値および流量信号に応じて制御出力を生成する。インターフェイス（１４、１７）は、設定値を表す入力を受け取り、流量信号を表す流量出力を送り、流量制御システム（１０、２０）の動作状態を直接示す診断出力を送る。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を精度良く検出できる領域を拡大することができる流量センサを提供する。
【解決手段】センサ管１４と、抵抗体Ｒ１〜Ｒ４よりなる抵抗体群４２と、基準抵抗Ｒ５、Ｒ６よりなる基準抵抗群４４と、定電流源２４と、電位差を求める第１の差動回路４６と、電位差に基づいて流量を求める流量決定部６０Ａとを有する流量センサにおいて、流体を流さないダミーセンサ管６６と、温度に応じて抵抗値が変化するダミー抵抗体Ｒ１’〜Ｒ４’を長さ方向に沿って取り付けたダミー抵抗体群６８と、ダミー基準抵抗群７０と、一定の電流を流すダミー用定電流源７２と、抵抗体群とダミー抵抗体群とを選択的に直列に接続するスイッチ手段５０と、電位差を求める流量域拡大用差動回路７４と、電位差に基づいて前記流体通路に流れる流体の流量を求める第３の流量決定部６０Ｃとを備える。 （もっと読む）