【課題】高い感度の力検出を可能とするセンサー素子と、そのセンサー素子を用いたセンサーデバイスおよび力検出装置と、その力検出装置を備える高い信頼性と安全性を有するロボットを提供する。
【解決手段】三方晶系の単結晶より形成された圧電基板と、前記圧電基板の一方の基板面に配置される第１電極と、他方の基板面に配置される第２電極と、を備えるセンサー素子であって、前記圧電基板の前記基板面は、結晶軸のＸ軸（電気軸）を含み、前記基板面と、前記結晶軸の前記Ｘ軸（電気軸）とＺ軸（光軸）とを含む面と、により成す角度θが、０°＜θ＜２０°であるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】３軸方向の力に対する検出能力に大きな差が出ない力検出装置と、その力検出装置を実現するセンサー素子を提供する。
【解決手段】非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、導電性を有する電極基板と、を有し、前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置されるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】薄形でせん断力を計測することができる触覚センサ及び多軸触覚センサを提供する。
【解決手段】多軸触覚センサ１は、基板６の表面と略同一の面内に設けられたセンサ素子２と、前記センサ素子２の周囲を覆い、当該センサ素子２に外力を伝達する外装材４２とを備える。前記センサ素子２は、少なくとも一端が前記基板６に支持される可撓性の梁７（８）を有する。前記センサ素子２は、前記基板６の表面に対し平行方向の前記梁７（８）の変形を検出する。 （もっと読む）

【課題】物体に作用する力を検出する新規な構造のセンサを提供する。
【解決手段】センサ１は、対向して設けられたベース２、テーブル３と、これらの間を連結するパラレルリンク機構４とを備えている。パラレルリンク機構４の各リンク機構５は、ロッド部９とアーム部６とを有して構成されている。ベース２、テーブル３よりも剛性が低く、弾性変形するアーム部６は、ベース２で片持ち支持されている。ベース２、テーブル３よりも剛性が低く、弾性変形するロッド部９は、一端がアーム部６と直接接続され、他端がテーブル３と直接接続されている。このセンサ１は、アーム部６の変形を検出する歪み計１１を備えている。 （もっと読む）

【課題】製作や小型化が容易であり、物体との接触面に柔軟性を持ち、更に柔軟素材が持つ複雑な応力歪み特性に依存せずに６軸力の計を測可能とする６軸力計測装置及びそのシステムを提供する。また、他の光学式触覚センサへ応用し、光学式触覚センサ自体の機能を失わずに同時に６軸力の計測が可能になるような、力学量計測装置及びそのシステムを提供する。
【解決手段】６軸力計測装置１は、タッチパッド３の他に、形状抽出手段としてのＣＣＤカメラ４及び照明５と、圧力抽出手段としての圧力センサ１０あるいは圧縮性流体１９及び箱２０を備える。ＣＰＵ１５は、ＣＣＤカメラ４によって撮影された画像から膜６の形状及び膜６の端に作用する張力の方向を抽出し、膜６の形状から物体Ｗ１が膜６に接触していない非接触領域を抽出する。さらに、ＣＰＵ１５は圧力センサ１０からのアナログ信号を入力し、液体１１の圧力を抽出する。最後にＣＰＵ１５は、これらの情報から板７に作用する（任意の軸方向の力及びモーメント）６軸力を抽出する。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ安価な構成で小型化・薄型化が容易でありながらも汎用性の高い力検出装置を提供する。
【解決手段】力検出装置１は、静電容量検出用の固定電極３０と、固定電極３０に対向して配置される可動電極２２と、固定電極３０と可動電極２２の間において可動電極２２と略接触した状態で配置される絶縁層１０と、可動電極２２を絶縁層１０に沿って移動または回転可能に支持する支持部２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】異なる方向に作用する複数の荷重やモーメントを同時に検出する多軸力検出器であって、大きく作用する荷重と小さく作用する荷重やモーメントを共に精度よく検出できる多軸力検出器を提供する。
【解決手段】荷重受け部１００と、荷重受け部の中心を交点とする互いに直交する２方向に延びた柱状感度部２００と、柱状感度部の各側面に貼着されたひずみゲージ３００と、柱状感度部と繋がる平板状のフレクシャ４００と、フレクシャと繋がる枠体５００と、から構成される多軸力検出器であって、２方向に延びた柱状感度部の断面積の一方が、他方の断面積より小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】 離れた距離の対象物から力センサに入力される外力を減衰することができる力検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 外力を検出する力センサと、力センサに外力を減衰させて入力する減衰機構を備えた力検出装置であって、減衰機構は、力センサの入力部に設けられた伝達部材と、一端が力センサの固定部に設けられた支持部材と、支持部材の他端に枢動可能に支持された可倒軸とを備え、可倒軸は伝達部材に屈曲可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】陽極接合の際に、陽極接合の不具合や、センサ回路の損傷が起きない力覚センサチップを提供する。
【解決手段】外力作用領域部４Ａを有する作用部４と、この作用部４を支持する支持部３と、作用部４と支持部３とを連結する連結部と、を備える半導体基板からなるベース部材２と、連結部の変形発生部に設けられた歪み検出用抵抗素子Ｓと、を備え、作用部４の表面又は作用部４が形成された面の裏面に、陽極接合する際に電流が供給される電極である陽極接合用電極８が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各軸の相互間の干渉による検出誤差を小さくし、対象とする力及びモーメントを高精度で検出できる力覚センサを提供する。
【解決手段】力覚センサ１００は、台座部材１０１と、台座部材１０１に相対して配置され、外力が作用して変位する作用部材１０２と、作用部材１０２の変位を検出する変位検出部とを備えている。また、力覚センサ１００は、台座部材１０１に相対して配置された剛性部材１０３を備えている。更に、力覚センサ１００は、台座部材１０１に対して垂直方向に延び、軸線Ｌまわりに等間隔に配置され、台座部材１０１と剛性部材１０３とを連結する柱状弾性部材１０５ａ〜１０５ｄを備えている。更にまた、力覚センサ１００は、軸線Ｌまわりに等間隔に配置され、作用部材１０２と剛性部材１０３とを連結する弾性部１０４Ａ〜１０４Ｄを備えている。各弾性部１０４Ａ〜１０４Ｄは、水平方向に延びる一対の梁状弾性部材からなる。 （もっと読む）

【課題】温度センサを用いずに、磁石及び磁電変換素子の特性の変動に追従して、磁電変換素子の出力電圧を補正する。
【解決手段】外枠３に弾性体２を介して作用部１が支持されている。この作用部１に外力が作用することにより作用部１が外枠３に対して変位する。外枠３の内部には、外枠３に一体に固定された永久磁石８が配置されている。この永久磁石８の一方の磁極面８ａに対向するようにｎ個の第１のホール素子６ａ〜６ｄが配置されている。また、永久磁石８の他方の磁極面８ｂに対向するようにｎ個の第２のホール素子９ａ〜９ｄが配置されている。各ホール素子６ａ〜６ｄには、定電流源及び電圧検出部が接続されている。そして、各電圧検出部により検出されたホール電圧の電圧値の絶対値の総和の電圧値が求められ、総和の電圧値が予め定めた基準電圧値となるように、各定電流源の電流値が調整される。 （もっと読む）

【課題】正確な力を測定することができるセンサー素子と、そのセンサー素子を用いたセンサーデバイスを提供する。
【解決手段】対向配置される第１電極と、前記第１電極に挟持される２以上の圧電体と、前記圧電体の各々に挟持され、積層される第２電極と、を備えるセンサー素子であって、前記圧電体は、前記第２電極に対向する面に、第１溝部を有し、前記第２電極は、前記圧電体の前記第１溝部に嵌合する第１凸部を有し、前記第１凸部表面は、電気的な絶縁性を備えているセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】入力荷重の高精度な検出を、充分な耐久性および実用性をもって実現することが可能とされた、新規な構造の外力検出が可能な防振装置を提供すること。
【解決手段】誘電性の弾性材からなる誘電体層２０の両面に対して導電性の弾性材からなる一対の電極膜２２，２２を設けた静電容量型センサ１８が、第１の取付部材１２と第２の取付部材１４の間への外力作用に際しての本体ゴム弾性体１６への引張力の作用方向に伸びる状態で配設されて、本体ゴム弾性体１６に固着されている。 （もっと読む）

【課題】３軸力センサによっては検出できない力およびモーメントを推定する。
【解決手段】ツール（４）およびワーク（Ｗ）の一方に対して他方をロボット（１）の手先部によって相対的に移動させ、ツールとワークとの間に作用する力を制御するロボット制御装置（１１）は、１軸方向の力と、該１軸に直交で且つ互いに直交する２軸方向の軸回りのモーメントとを検出する力検出部（３）と、ツール（４）とワーク（Ｗ）との間に作用する力を推定するための力推定用点を設定する力推定用点設定部（１２）と、力検出部により検出した１軸方向の力および２軸方向の軸回りのモーメントと、力推定用点設定部により設定された力推定用点の位置とに基づいて、前記２軸方向の力またはさらに前記１軸回りのモーメントととを推定する力推定部（１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】多数のセンサを必要とすることなく、センサのための配線簡単化も容易である力覚センサを実現する。
【解決手段】第１の本体部Ａ１および第２の本体部Ａ２と中間体Ｂとの間に弾性連結部９ａ〜９ｃ、１０ａ〜１０ｃを設ける。これにより、本体部Ａ１、Ａ２を中間体Ｂを介して相対移動可能に連結し、第２の本体部Ａ２に作用する外力の６方向の成分を、センサ基板１３に搭載された検出電極１４ａ〜１４ｃ、１５ａ〜１５ｃによって検出する。本体部Ａ２に支持されたセンサ基板１３のみに検出電極が設けられるため、中間体Ｂや本体部Ａ１にまたがって複雑な配線を施す必要がない。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化を図る。
【解決手段】第１の固定部Ａ１のセンサ支持体５に受光素子を有するセンサ基板１１が設けられている。第２の固定部Ａ２は、外力の作用によりセンサ支持体５に対して変位する。第２の固定部Ａ２の円筒部材６と、センサ支持体５とが弾性連結部７ａ，７ｂ，７ｃで連結されている。第２の固定部Ａ２の変換部材取付板３とセンサ支持体５との間には、変位方向変換部材１０ａ，１０ｂ，１０ｃが配置されている。各変位方向変換部材１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、センサ支持体５に対する第２の固定部Ａ２の垂直方向の変位によってセンサ支持体５に対して水平方向に変位する中間端部２３を有している。そして、センサ基板１１の各受光素子に対向するように、中間端部２３の下面にスケール３４ａ，３４ｂ，…が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スピンドル軸芯方向に沿って離れた位置に２つの多分力計測センサを備えた多分力計測スピンドルユニットにおいて、タイヤに作用する実荷重を求める際に用いる変換行列を確実に校正することができ、校正された変換行列を用いることで、タイヤに発生する並進荷重およびモーメントを精度よく算出する。
【解決手段】本発明に係る多分力計測スピンドルユニット１の校正方法は、スピンドル軸４に作用する荷重を計測する「計測工程」と、この計測工程で得られた計測荷重ベクトルとこの計測荷重ベクトルに作用する変換行列Ｅとを用いて、タイヤＴに働く実荷重ベクトルを求める「算出工程」と、この算出工程に先立って、複数の一次独立な試験条件の基で計測荷重ベクトルを計測し且つ得られた計測荷重ベクトルを基に変換行列Ｅを校正する「校正工程」を有している。 （もっと読む）

【課題】感度及び信頼性が高く、構造がより簡単で製造コストの安価な力覚または運動センサを提供する。
【解決手段】本発明による力覚または運動センサにおいては、センサを保持し固定するためのベース１と、６自由度方向の応力に感応するよう構成され前記ベースと対向して配置されたテーブル３０と、前記ベースと前記テーブルとの間に配置され前記応力に対応して動作する動作部と、前記動作部の変位及び／または変形を検出する複数の検出素子と、前記各々の検出素子の変位及び／または変形量を総合的に計算する演算部とからなるセンサにおいて、前記動作部は放射状に配置された複数の感応アーム１０と、これらアームと一体化されたアームより厚いボス部２５とからなる。 （もっと読む）

【課題】エンドエフェクタを交換せずに、力覚センサをアームの先端に装着したままで校正できる簡易な力覚センサの校正方法を提供すること。
【解決手段】一方のロボット１０１の力覚センサ１が校正済みで、他方のロボット１０２の力覚センサ２が校正対象である。まず、一対のロボット１０１，１０２のハンド３ａ，３ｂ同士を当接させる（当接工程）。当接工程の実行による一方のロボット１０１の校正済みの力覚センサ１の検出信号を力又はモーメントを示す測定値に変換する（測定工程）。測定工程で得られた測定値に基づき、当接工程により反作用によって他方のロボット１０２のハンド３ｂに作用している力又はモーメントを示す値を求める（算出工程）。当接工程で他方のロボット１０２の校正対象である力覚センサ２が出力した検出信号が、算出工程で得られた力又はモーメントを示す値と同一の値に変換されるように、変換データを更新する（校正工程）。 （もっと読む）

【課題】 スリップリングに組み込まれた角度検出器を車体との間で基準座標系を保持し、転舵による角度変化に対する誤差を無くし、精度の向上を図る。
【解決手段】 車軸６分力計７は、ハブアダプタ５を介して、ホイールハブ４とホイール６との間に配設され、車輪から加わる外力を受けて、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の分力および各軸回りのモーメントに対応する信号を出力する。スリップリングの支持機構９は、Ｘ軸方向に平行移動する第１、第２の平行四辺形リンク１０、１２、これらをＹ軸方向に移動可能とする第１、第２の回転ジョイント１１、１３、第２の回転ジョイント１３とスリップリング８との間のＺ軸を中心とした相対回動を可能とする第３の回転ジョイント１４からなっている。 （もっと読む）