【課題】真空度、気体や液体の流量などの物理量を計測するための高感度、高精度、計測範囲拡大ができるような熱伝導型センサとこれを用いた熱伝導型計測装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０Ａと薄膜１０Ｂが、互いに熱抵抗を有するように熱抵抗部４５を設けた構造であり、薄膜１０Ａにはヒータ２５と温度センサ２０Ａ、薄膜１０Ｂには温度センサ２０Ｂを備えた熱伝導型センサであって、薄膜１０Ｂは、カンチレバ状に飛び出した構造で、かつ薄膜１０Ａから熱を受け取る構造とし、温度センサ２０Ａや温度センサ２０Ｂを温度差センサ、特に電流検出型熱電対とする。また、ヒータ２５を、一定電力供給、一定電流、一定電圧、または一定温度上昇分になるように制御すると、単純な構造の熱伝導型センサで済み、更に高感度で高速、さらに単純な回路構成となる熱伝導型計測装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電離真空計に係り、特にカーボンナノチューブを利用する電離真空計に関する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、基板及び該基板に設置されるエミッタフィルムを含む陰極と、前記陰極と所定の距離だけ離れて設置されるゲット電極と、前記ゲット電極と所定の距離だけ離れて設置されるイオンコレクタと、を含む。前記陰極のエミッタフィルムは、カーボンナノチューブと、低融点のガラス粒子と、導電粒子と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 （もっと読む）

【課題】ガス放出が少ない冷陰極を使用し、丈夫で安価な電離真空計を提供することを目的とした。
【解決手段】熱陰極電離真空計（例．熱陰極Ｂ−Ａ型電離真空計）における熱陰極を，カ−ボンナノチューブによる冷陰極に置き換え、最小限の電極数で真空計を構成した。図中の１は容器で、４は金属円筒の内面にカーボンナノチュウブを固定した陰極、３は集電子電極、２は集イオン電極、および５は導入電極である。 （もっと読む）

【課題】 三極管型熱陰極電離真空計において、測定管の内部電極と測定管内壁の脱ガス効果を向上させる。
【解決手段】 三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。この導入電極に電力を供給し、集イオン電極を加熱する。 （もっと読む）

【目的】 Ｂ−Ａ型熱陰極電離真空計において、機器の安定化を計り、併せて吸着ガスの放出を短時間で放出させる。
【構成】 一組の熱陰極をもつＢ−Ａ型熱陰極電離真空計において熱陰極と管壁の間に、遮蔽効果と通電時に発熱効果をもたらす螺旋状電極７を置く。 （もっと読む）

【課題】真空断熱構造を採用したシステムにおいて、断熱の対象であるシステムに熱負荷の異常が発生したときに、その原因が真空槽の真空度の低下による断熱性能の劣化に因るのか断熱対象のシステムの異常に因るのかを安価かつ簡単な構造、方法で判断可能にする。また、真空槽の真空度の低下の恐れが少ない監視装置、方法を提供する。
【解決手段】真空槽の高温側と低温側の壁温の検出が可能な真空断熱構造において、高温側と低温側の真空槽壁間に、いずれの側の壁とも直接的には接触しない温度センサを設置することを特徴とする真空断熱構造の真空度低下の監視装置、および前記装置を用いた真空度低下の監視方法。 （もっと読む）

【課題】ゼロ点を高真空時に設定する必要のある絶対圧静電容量式圧力センサにおいて、高真空を維持するために使用するゲッター材料から生じる破片等の不純物に起因するダイアフラムと対向する固定電極との導通現象が防止できる静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイアフラム３と固定電極６が対向配置され、両者間の静電容量変化により圧力を測定する静電容量型圧力センサ素子において、ゲッター室２と圧力検出部１とを非直線通路で接続する。このような構造にすることにより、ゲッター材５から飛散した破片等が圧力検出部１に進入することを防ぐことができ、その結果、ダイアフラム３と対向固定電極６との導通現象を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 外部からの熱による熱応力の影響を受けることなく、常に高精度の圧力検出を行うことのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力を検出するセンサチップ３０と、センサチップ３０を支持する台座プレート２０（２１，２２）と、台座プレート２０（２１，２２）に接合され、当該台座プレート２０（２１，２２）を支持する支持ダイアフラム５０とを有し、支持ダイアフラム５０がパッケージ１０に接合され、当該支持ダイアフラム５０のみを介してセンサチップ３０、台座プレート２０（２１，２２）をパッケージ内に支持する構成を圧力センサ１が有している。 （もっと読む）