【課題】圧力でスパイク中に流体からダイに移されるエネルギによってまたは圧力センサアセンブリが振動もしくは衝撃にさらされるときに引き起こされる圧力検出ダイのひび割れもしくは損傷の低減した圧力センサアセンブリを提供する。
【解決手段】第１のメンバ２０と、前記第１のメンバに結合された第１の末端部および前記流体のソースに結合された第２の末端部を備える、第２のメンバ３０と、前記第１のメンバと前記第２のメンバの間に形成された第１の空洞内に置かれた基板４０であって、前記基板の第１の側が前記第１のメンバの第２の側と向き合い、その前記基板の第２の側が前記第２のメンバの第１の側と向き合う、基板と、前記基板に実装された圧力検出ダイ５０と、前記基板の前記第１の側と前記第１のメンバの前記第２の側の間にあり、前記第１のメンバから前記基板を分断する、第１のエネルギ吸収メンバ６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】 圧力検出装置用基体１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲んで設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに密閉空間１７を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２と対向する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち第２電極３と上下に重なり合う部分に設けられた金属層１４と、金属層１４を覆うように設けられたセラミック層１５とを備えている。これにより、金属層１４が変質して圧力が加わった際のダイヤフラム１３の撓み量が変化することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】温度補償型の圧力センサモジュールにおいて、温度測定部および温度補償部を備えた温度補償装置と、圧力検出部を備えた圧力センサ装置とが互いに別々の半導体基板に形成された場合であっても、温度測定部が圧力センサ装置の温度を正確に測定することができ、適切に温度補償された圧力値を出力することが可能な圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、圧力を検出する圧力検出部を有する圧力センサ装置と、温度測定部を有し前記温度測定部の出力値に基づいて前記圧力センサ装置の出力値を補償する温度補償装置と、を少なくとも備えてなる圧力センサモジュールであって、前記圧力センサ装置は、前記温度補償装置の前記温度測定部と重なる領域に配置されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体の大気導入口への干渉を効果的に防止した半導体圧力センサを提供する。
【解決手段】半導体圧力センサは、ケース１０と、ケース１０内に被測定対象の流体を導入する圧力導入口１１と、大気を導入する大気導入口１２と、大気圧に対する流体の圧力を測定するセンサチップ２０と、を備えている。圧力導入口１１及び大気導入口１２は、ケース１０の同一面側に配設されており、圧力導入口１１はケース１０の表面に立設された管状の圧力導入部１０ｂに連通しており、大気導入口１２は圧力導入部１０ｂに並置された管状の大気圧導入部１０ｃおよびケース１０内に連通している。そして、大気圧導入部１０ｃにおける大気導入口１２から離間した位置に複数の凹部１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの腐食、及び、圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】被測定気体の圧力を電気信号に変換する圧力センサ（２０）と、該圧力センサ（２０）に被測定気体を導入するための導入孔（５３）が形成されたハウジング（５２）と、を有し、導入孔（５３）が有する２つの開口端（５３ａ，５３ｂ）の内、一方の開口端（５３ｂ）が、被測定気体の流動するパイプの中空内に配置される圧力センサ装置であって、一方の開口端（５３ｂ）は、導入孔（５３）の中心を通る軸方向に対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ用のファイバガイドを備えた渦式流量計及び相応のファイバガイド自体を提供する。
【解決手段】ファイバガイドは、流量計壁内のファイバ通路、ファイバ通路に突入する、光ファイバに対する接触面を備えた第１のシール部材、光ファイバに対する接触面を備えた第２のシール部材を有しており、第２のシール部材は、流量計壁内の案内部内で案内されていて、ファイバガイドのシール状態において、第２のシール部材はその接触面で第１のシール部材の接触面に調節手段によって押圧されており、これにより第１のシール部材の接触面と第２のシール部材の接触面との間に配置された光ファイバの周面に、第１のシール部材の接触面及び／又は第２のシール部材の接触面が密着して、ファイバ通路が第１のシール部材、第２のシール部材及び第１のシール部材と第２のシール部材との間に案内された光ファイバにより閉塞されている。 （もっと読む）

【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー１（物理量検出器）は、外部からの圧力により変位する変位部３１を有するダイアフラム３と、ダイアフラム３の外周部３２を保持するリング状のリング部２１と、ダイアフラム３の一方の面側にてリング部２１から内側に突出する突出部２２とを有する保持部材２と、突出部２２に固定された支持体６と、変位部３１に固定された基部５１と、支持体６に固定された基部５２と、基部５１、５２間に設けられ、振動が励振される振動部５３とを有する圧電振動子５とを備える。 （もっと読む）

【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器および物理量検出器の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー１（物理量検出器）は、受圧により変位する変位部３１を含むダイアフラム３と、ダイアフラム３の外周部３２を保持する周状のリング部２１が設けられている保持部材２と、を備え、リング部２１は、リング部２１に沿って保持部材２に周状の凹部を設けることにより変位部３１の変位方向に突出した凸条２４を含み、凸条２４にダイアフラム３の外周部３２が溶接により接合されている。また、ダイアフラム３の外周部３２は、変位部３１の変位方向に突出した凸部をなす。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図るＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態によるＭＥＭＳ素子は、基板１０上に固定された平板形状の第１電極１１と、前記第１電極の上方に対向して配置され、上下方向に可動である平板形状の第２電極１５と、前記基板上において、前記第１電極および前記第２電極を収納するキャビティ２０を有する膜２６と、を具備する。前記第２電極は、ばね部１６を介して前記基板上に接続されたアンカー部１４に接続されるとともに、その上方において前記膜に接続される。 （もっと読む）

【課題】センサ出力を複数項を持つ高次の補正式を用いて較正するセンサにおいて、補正式における各項の係数値の丸め誤差による出力への影響が少なくなるようにする。
【解決手段】
被測定対象の物理量の複数の相異なる量における、検出素子の各出力信号値をデータとして求める第１の工程と、第１工程で求めた測定データに基づいて、検出素子の出力信号を補正するための高次の補正式の各項の補正係数を算出する第２の工程と、第２の工程で算出された各項の補正係数を予め定められた有効桁数になるように有効桁数未満の値を四捨五入により有効桁数に丸める丸め処理を行い、この丸め処理済みの補正係数を補正式の補正係数に置換する第３の工程と、第３の工程で置換された補正係数のうち、最も高次の項の補正係数を除く他の補正係数の少なくとも１つについて補正係数を調整することによって、補正式の量子化誤差を小さくできるか否かを調べる第４の工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンチップの一部をモールド樹脂で封止し、他部をモールド樹脂より露出させてなる半導体装置の製造方法において、シリコンチップの露出部分と封止部分との境界を封止するための封止部材を、シリコンチップに取り付けるときの応力を低減し、シリコンチップへの損傷を極力抑制する。
【解決手段】封止部材として熱印加により収縮する材料よりなる環状の収縮シール部材６０を用意し、この収縮シール部材６０にシリコンチップ１０を挿入して上記境界１３に設けた後、収縮シール部材６０に熱を印加して収縮を完了させ、その後、モールド工程では、収縮シール部材６０を介して金型１００にてシリコンチップ１０を押さえ付けた状態で、モールド樹脂２０を注入する。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】圧力検出装置用パッケージ１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲むように設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに空間１５を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２とともに静電容量を形成する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち枠体１２と上下に重なり合う部分に互いに離して設けられた複数の柱状部材１４とを備えている。複数の柱状部材１４を備えていることにより、検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】接続部材の耐久性が損なわれることが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】チップ（１０）と台座（３０）とが接続部材（５０）を介して機械的に接続された半導体装置であって、チップ（１０）と台座（３０）との間に接続部材（５０）が介在され、チップ（１０）の上面（１０ｃ）の全面、及び、側面（１０ｂ）の全面の少なくとも一方に、応力緩和部材（７０）が機械的に接続されており、台座（３０）は、接続部材（５０）よりも線膨張係数が高く、台座（３０）、接続部材（５０）、及び、応力緩和部材（７０）は、チップ（１０）よりも線膨張係数が高い。 （もっと読む）

【課題】径時的に基板とターミナルとの接続信頼性が低下することを抑制することができる力学量センサを提供する。
【解決手段】基板３０に平面から突出した端子部３２を備え、ターミナル４０に当該ターミナル４０を貫通する挿入孔４１を形成する。そして、端子部３２をターミナル４０の挿入孔４１に挿入し、端子部３２とターミナル４０とを機械的、電気的に接続する。これによれば、端子部３２をターミナル４０と機械的に接続するため、経時的に基板３０とターミナル４０との接続信頼性が低下することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制することができ、かつ圧力測定精度を向上することができる半導体圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体圧力センサは、主表面１ａに凹部３およびアライメントマーク４を有する第１の基板１と、第１の基板１の主表面１ａ上に形成されており、第１の基板１の凹部３内の空間ＩＳ上を覆うように設けられたダイヤフラム５およびダイヤフラム５上に設けられたゲージ抵抗６を有する第２の基板２とを備えている。アライメントマーク４は第２の基板２から露出するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】 コストを抑制しつつ、圧力センサの誤差を適切に把握することができる燃料電池システム、圧力センサの誤差検出方法および圧力センサの補正方法を提供する。
【解決手段】 燃料電池システムは、燃料電池の発電電流を検出する電流センサと、前記燃料電池に水素を含有する燃料ガスを供給する配管に配置された圧力センサと、前記圧力センサの所定時間前後の出力差分と前記発電電流とに基づいて、前記圧力センサの検出誤差を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）