【課題】真空雰囲気またはガス雰囲気にある容器内において、真空度と温度の計測に、最も効果的な方法を具体化する。
【解決手段】温度計と真空計を単一ケース内に収納した。図３はその一例を示す。最上部の表示器は大型のものを用い、その時点の真空度と温度を交互に表示する。その下部に小型の表示器があり一段目と二段目は特定の温度設定値に達した時、また三段目と四段目は特定の真空度に達した時、外部に信号を送出する機能を持つ。これらに小型表示器の設定により温度と真空度の組み合わせ等、各種の使用方法が可能になった。 （もっと読む）

【課題】耐振性や耐久性を改善した低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】低温機器用真空計において、真空断熱容器内に配置される低温源１、受熱板２、低温源１の温度を測定する第１の温度センサ４、受熱板２の温度を測定する第２の温度センサ５、熱シールド板又は隔壁３の温度を測定する第３の温度センサ６とを具備し、低温源１と受熱板２との離隔、低温源１と受熱板２が対向する面の面積、受熱板２の比熱及び質量、熱シールド板又は隔壁３から受熱板２への熱侵入量と、低温源１及び受熱板２の平衡温度と熱シールド板又は隔壁３の温度に基づいて、低温源１と受熱板２の間の熱伝達率を求め、熱伝達率と圧力の関係を基に受熱板２の平衡温度を計算し、受熱板２の平衡温度と圧力の関係より、受熱板２の温度に基づいて真空断熱容器内の圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】容器部の外部にコイルを、容器部の内部には振動部を構成し、超音波を容器部の内部で直接出力することにより、容器を変形することなく、超音波を発生させてリークの可能性を最小化し、容器内の媒質に電波する超音波の伝達効率を測定し、圧力を測定する。
【解決手段】圧力測定装置は、容器部１０の側壁の外部に設けられる第１の磁化ヨーク１１０に巻取られた加振コイル部１２０と、第１の磁化ヨーク１１０に巻取られた受信コイル部１４０と、第１の磁化ヨーク１１０が設けられた容器部１０の側壁の内部に備えられる振動部１５０とから構成された磁歪送受信振動子１００と、加振コイル部１２０に所定の電流を与える制御部２０と、受信コイル部１４０により受信された超音波信号と、振動部１５０から出力された超音波信号とに基づき、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部６０とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力測定に必要な超音波発信及び受信の効率を増加させて、正確度を向上させ、高真空でも圧力測定が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧力測定装置は、容器部１０の外壁に密着された超音波加振部２０と、超音波加振部２０位置の容器部１０の内壁に付着された音響インピーダンス整合層５０aと、容器部１０の外壁に密着された超音波受信部３０と、超音波受信部３０位置の容器部１０の内壁に付着された第２の音響インピーダンス整合層５０bと、超音波加振部２０と連結されて超音波を制御する制御部２２、及び、制御部２２と連結されて超音波加振部２０から出力される超音波と超音波受信部３０で受信された超音波の信号とに基づいて、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部６０、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で圧力を簡易に検知すること。
【解決手段】
内部の圧力が変動するチェンバー（１）内に配置され、結晶水を含有するシアノ架橋金属錯体（６）により構成され、圧力変動に伴う前記シアノ架橋金属錯体（６）の電荷移動相転移に基づいて圧力を測定することを特徴とする圧力素子（３）。 （もっと読む）

【課題】屋外に設置される器具に真空ゲージを取り付けた場合でも、この真空ゲージが、天候の影響を受けることなく、確実に真空部の真空度を測定できる真空ゲージを備える屋外設置器具を提供する。
【解決手段】屋外設置器具1は、内部に真空部を形成するケース本体3と、ケース本体3における真空部の外側に取り付けられ、この真空部の真空度を測定する真空ゲージ6とを備える。ケース本体3に、真空ゲージ6を収納するゲージ収納部4を設けている。このゲージ収納部4は、遮光性を有し、透湿性の小さい材料で形成され、ケース本体3に対し着脱可能なカバー42を備える。このカバー42をケース本体3に固定することにより、ケース本体3とカバー42とにより密閉状態のゲージ収納部4を形成する。 （もっと読む）

【課題】構成簡易で、小型化と圧力測定精度の高度化が容易であり、しかも外部振動に対し強く、センサ部とドライバ部との配線が不要で、センサ部に電源を必要とせず、設置が容易で、また圧力変化に対する反応が素早い、真空度測定装置を提供する。
【解決手段】円環状の弾性表面波周回経路１２ａが表面に沿い設けられ、弾性表面波を励起し受信する弾性表面波励起／受信手段１４が周回経路に対応して設けられている弾性表面波素子１０を備え、上記周回経路を周回する弾性表面波の強度を検出し周回に伴う上記強度の減衰量を基に真空度を測定するか、又は、周回経路を周回する弾性表面波の周回速度を検出し周回に伴う上記周回速度の変化を基に真空度を測定するか、又は、上記強度の減衰量及び／或いは上記周回速度の変化を基に真空度を測定する。 （もっと読む）

【課題】電気デバイス内の高圧状態を判断するための方法、及び電気デバイス内の高圧状態を検出する装置を提供する。
【解決手段】遮断器内の高圧状態を検出する方法及び装置であって、高強度の超音波を、音波導波管を通じて真空遮断器の外壁に入射し、次いで、反射及び再送信される応答信号を聞き取る。応答信号の特性を利用して、この遮断器内の圧力を判断し、かつ望ましくない高圧状態の存在を判断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空チャンバの圧力測定システムに関し、もっと詳しくは超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置とその圧力測定方法に関する。
【解決手段】このために、内部に所定の真空が形成された真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０の外面に密着され、前記真空チャンバ１０の内部に超音波６２を発射する超音波発射手段と、超音波発射手段から発射された超音波６２が前記真空チャンバ１０に衝突して反射された反射波６４を受信するための超音波受信手段と、超音波受信手段から反射波６４を検出する反射波検出手段と、反射波検出手段から検出された反射波６４から振幅を分析する振幅分析手段と、を含むことを特徴とする超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】密封容器内が大気圧に近い低真空であっても、この密封容器内が所定の真空度に維持されていることなど、密封容器内の真空度を簡単に測定できるようにする。
【解決手段】容器内空間(３)を所定の設定真空度などに減圧し、容器口(６)へ密栓(７)を装着して封止した密封容器(２)を測定対象とする。本体保持手段(８)と密栓把持手段(９)と負荷手段(10)と移動検知手段(11)とを備える。本体保持手段(８)で密封容器(２)の容器本体(５)を保持し、密栓把持手段(９)で密栓(７)を把持する。負荷手段(10)で密栓(７)に容器本体(５)から離脱する方向へ引抜力(Ｆ)を加え、移動検知手段(11)で容器本体(５)に対する密栓(７)の移動を測定する。 （もっと読む）