【課題】劣化せず、ＢＡ型電離真空計の短所を持たず、かつ、チャンバ内の気体の化学種の化学組成を変化させることなく動作できる冷電子放出型の電離真空計、および気体圧力測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイ、イオン化体積空間およびイオンを収集する収集電極を備える。マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部と、前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部とを備えている。イオン化体積空間では、電子が気体の化学種と衝突してイオンを生成し、収集電極がこのイオンを収集する。 （もっと読む）

【課題】 二次電子増倍素子の測定系を再校正することなく正確な測定を維持できる方法を提供すること及び二次電子増倍素子の測定精度の変化に伴う再校正のために運転が停止されることがない真空処理装置を提供すること。
【解決手段】 真空中に設置した二次電子増倍素子４の設置初期に軟Ｘ線の強度を測定した初期強度値Ａと、該素子の測定使用中に測定した該軟Ｘ線の強度値Ｂとの比Ａ／Ｂを、該素子で測定される荷電粒子等の粒子の測定強度値に補正係数として乗ずる。 （もっと読む）

【課題】気体分子を電離させ、生成したイオンの数から圧力を求める方式の真空計は、圧力が高くなるに伴い、イオンと気体分子との衝突などの相互作用が無視できなくなり、イオンやカソード電極から放出される電子の平均自由行程が短くなる。これにより、圧力に対して集イオン電極に到達するイオンの割合が低下して、真空計の指示値の精度が低下する。
【解決手段】真空中の気体分子を電離させてイオンを生成し、生成したイオンを捕捉してイオン電流を検出し、検出したイオン電流から圧力指示値を算出する真空測定方法であって、少なくとも感度の圧力依存特性を取得する工程と、算出された圧力指示値を感度の圧力依存特性で補正する工程を有する真空測定方法により、真空計の指示値の精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】測定環境に塵埃が侵入しても正常に動作することができる真空度測定装置および気相成長装置
【解決手段】取出用ボックス１２は、ターボ分子ポンプ１５により内部の気体を吸引される。ペニング真空計１４は、取出用ボックス１２内の気圧を測定する。測定値取得処理部２２は、ペニング真空計１４の測定値を取得する。異常値除去処理部２３は、連続した３つの測定値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を取得し、測定値Ｐ１と測定値Ｐ３とに基づき、ペニング真空計１４への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、これを満たさない測定値Ｐ２を取り除く。平均値算出処理部２４は、取り除かれなかった測定値の平均値を算出する。判定処理部２５は、平均値算出処理部２４が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する。 （もっと読む）

【解決手段】ガスセンサは、シリコン材料から構成され、外部に加熱器(20)を含む選択性透過膜(13)を有する。膜(13)は、圧力センサを収容する排気されるハウジングを閉じる。ハウジングを囲む領域を排気するとき、熱放散が周囲の空気の全圧力の急速な変化の結果として変化し、その結果、信号のドリフト（drift ）が膜(13)の温度調節にもかかわらず生じる。本発明は少なくとも１つの第２加熱器(21,22) を備え、少なくとも１つの第２加熱器の温度が第１加熱器(20)と関係なく調整される。その結果、膜温度が、ハウジング内の全圧力が大幅に変化する場合でも極めて一定である。
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【課題】１００Ｐａから大気圧までの圧力領域において圧力を測定可能な圧力測定装置を提供する。
【解決手段】弾道電子面放出型電子源（ＢＳＤ）１と、ＢＳＤ１に対向配置されるアノード電極２０と、アノード電極２０に流れる電子電流を検出する電子電流検出手段たる第１の電流センサ２５と、アノード電極２０にＢＳＤ１とは反対側で対向配置されるコレクタ電極３０と、アノード電極２０に流れる電子電流を検出する電子電流検出手段たる第１の電流センサ２５と、コレクタ電極３０に流れるイオン電流を検出するイオン電流検出手段たる第２の電流センサ３５と、イオン電流に基づいて求めた圧力が１００Ｐａ以下のときには当該圧力を測定値としイオン電流に基づいて求めた圧力が１００Ｐａよりも高いときには電子電流に基づいて求めた圧力を測定値とする演算部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来の真空計では、真空装置の複数箇所に多数設置されている場合に、それらの真空計の中から異常が発生した真空計を特定することは困難であった。
【解決手段】 少なくとも真空計１に異常が生じた場合にこの真空計を特定できるように、真空計本体１１に全方向から視認可能な表示手段４を設ける。 （もっと読む）