【課題】不調または故障の原因を容易に割り出すことができる周囲のガス圧を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】周囲のガス圧を測定するための装置は、ゲージ・アセンブリーにおいて、真空ゲージ１６５と、真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０と、計器の故障後に故障の原因を調査できるように、真空ゲージ１６５によって検出された測定データを不揮発性メモリ１４０に保存してエラー事象に応答するマイクロコントローラ３８０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】電子刺激離脱（ＥＤＳ）によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ１と、イオンコレクタ１の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド２と、グリッド２の外側に設けられた熱電子放出フィラメント３と、グリッド２と導通を確保しつつ支持する支柱部６とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ１の径方向において、グリッド２及びフィラメント３に対向する支柱部６の表面を被覆し、フィラメント３よりも低い電位に保たれるコーティング１６ａを備えることで、支柱部６の表面からのＥＤＳによるガス放出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。
【解決手段】脱ガス電力レベルを上げながら、ゲージ圧の変化率を監視する。監視変化率からゲージ圧が圧力上限を超える可能性があると判断された場合、脱ガス電力の増加を停止あるいは脱ガス電力を減少させる。この運転を所定の最終的脱ガス条件を満たすまで継続する。脱ガス運転が無事終了した後、ディスプレイにその旨を表示する。 （もっと読む）

【課題】真空度の悪い雰囲気および／または活性ガスの雰囲気においても、荷電粒子の平均自由行程を正確かつ簡便に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る装置1007は、雰囲気ガスから真空的に隔離されたフィラメント111と、真空紫外光330を透過させるＵＶ透明型真空隔壁700と、雰囲気ガス内に設置され真空紫外光330を受けて光電子340を放出する光/電子変換電極610とを有した真空紫外光源600を備える。また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が０以上の距離である荷電粒子の第１の荷電粒子数を検出する第１のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第２の荷電粒子数を検出する第２のコレクタとを備える。上記装置1007の制御部1000は、第１、第２の荷電粒子数の比率から平均自由行程を算出する。 （もっと読む）

【課題】磁界によって感度が変化する真空計の測定子を、磁界中の最適位置に配するように構成された真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置１００は、真空ポンプ３６により内部が減圧された真空処理室３０と、真空処理室３０内に磁界を形成する一対の磁界形成手段３２、３３と、真空処理室３０内の圧力を測定できる真空計５０と、を備え、真空計５０の測定子は、磁界形成手段の対３２、３３の一方による磁界の強度が、磁界形成手段の対３２、３３の他方による磁界の強度によって相殺される取り付け空間に配されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。
【解決手段】真空中の気体密度を測定するシステムは、真空計と、真空計を収容するハウジングと、ハウジングの外部表面に固定される磁石とを備える。磁石は可撓性磁気片であり、ハウジングの外部表面の周りに配置される。真空計は、ハウジングの管状部に沿って縦方向に延伸するグリッド絶縁体ポストを含み、磁石は、グリッド絶縁体ポストに隣接するハウジングの外部表面に固定されていて且つグリッド絶縁体ポストに対して横向きにされている。磁石は可撓性磁気片であり、クランプが磁石を、ハウジングの外部表面に固定する。 （もっと読む）

【課題】電離型の第１の測定素子による中真空から高真空領域の圧力の測定と、第２の測定素子の固有測定領域の、双方に及ぶ測定領域を安定して測定できる。
【解決手段】複合型真空計は、測定子容器２と、測定子容器中に設けられ、かつフィラメント３、グリッド４及びイオンコレクタ８を含む構成電極を具える、電離型構造を有する第１測定部と、グリッド４の軸延長上付近に設けられ、水晶振動子１８と該水晶振動子１８を包みこむ構造を有する水晶振動子容器１９を具える、第２の測定部と、前記第１の測定部と前記第２の測定部とを空間的に分離するシールド板１３と、を備える。 （もっと読む）

真空圧力測定装置は、衝突電離によってイオン（２２）を形成するための反応ゾーン（３０）を備える電子源（１）を含んでおり、電子源（１）は電子（２１）の通過開口部（４０）を介して反応ゾーン（３０）と連通するように接続されている。電子源は、真空室（７）を備える絶縁性ハウジング（６）で取り囲まれており、真空室（７）を外部領域に対して封止するように分離するとともに少なくとも部分的に電子透過性に構成されたナノ膜（５）を少なくとも１つの部分領域で支持する隔膜支持体（４）として壁部が構成されており、この真空室（７）の中には電子（２１）を放出するための陰極（２）が配置されており、ナノ膜（５）の領域および／またはナノ膜の表面には陽極構造（３）が設けられており、それにより電子（２１）がナノ膜（５）に向かって案内されて少なくとも部分的に該ナノ膜を通り抜けるように案内されるようになっており、ナノ膜（５）は真空圧力測定装置の真空室に接している。
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【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 （もっと読む）

【目的】 Ｂ−Ａ型熱陰極電離真空計において、機器の安定化を計り、併せて吸着ガスの放出を短時間で放出させる。
【構成】 一組の熱陰極をもつＢ−Ａ型熱陰極電離真空計において熱陰極と管壁の間に、遮蔽効果と通電時に発熱効果をもたらす螺旋状電極７を置く。 （もっと読む）

【課題】 三極管型熱陰極電離真空計において、測定管の内部電極と測定管内壁の脱ガス効果を向上させる。
【解決手段】 三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。この導入電極に電力を供給し、集イオン電極を加熱する。 （もっと読む）

【課題】１００Ｐａから大気圧までの圧力領域において圧力を測定可能な圧力測定装置を提供する。
【解決手段】弾道電子面放出型電子源（ＢＳＤ）１と、ＢＳＤ１に対向配置されるアノード電極２０と、アノード電極２０に流れる電子電流を検出する電子電流検出手段たる第１の電流センサ２５と、アノード電極２０にＢＳＤ１とは反対側で対向配置されるコレクタ電極３０と、アノード電極２０に流れる電子電流を検出する電子電流検出手段たる第１の電流センサ２５と、コレクタ電極３０に流れるイオン電流を検出するイオン電流検出手段たる第２の電流センサ３５と、イオン電流に基づいて求めた圧力が１００Ｐａ以下のときには当該圧力を測定値としイオン電流に基づいて求めた圧力が１００Ｐａよりも高いときには電子電流に基づいて求めた圧力を測定値とする演算部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロン真空計は一度放電が停止してしまうと再度放電させるまでに長時間を要するという点であり、また、マグネトロン真空計では低真空領域の測定ができず、定電流による測定は陽極を破壊してしまう虞もあり、異常大電流を抑えて単に定電流を流しても非線形となっているため、そのままでの測定はできないという点である。
【解決手段】 熱エネルギーを与え、吸着脱離時間を短縮させ、電子の運動エネルギーを増加させることで放電開始時間を短縮することとし、また、複数種の定電流を切り換えてマグネトロン真空計の両端電圧、周波数及び振幅を測定してその各定電流による測定値データを比較して真空度を表示することとする。 （もっと読む）

電離真空計１１０を少なくとも１つの他の真空センサに組み合わせることによってガス圧を測定するための方法および装置。真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０が、工場での較正にもとづく個々のセンサに固有の較正パラメータを含んでいる。この不揮発性メモリ１４０は、電離真空計１１０によって引き起こされる温度勾配を補償するために、熱に影響されやすい真空センサのための較正パラメータを含むことができる。この較正パラメータは、電離真空計１１０がオンまたはオフの両方であるときに割り出された較正データの関数である。不揮発性メモリ１４０は、真空ゲージ１６５の不調または故障の原因の調査に役立つよう、所定の時間間隔で更新され、かつエラー事象などといった事象に応答して更新される真空ゲージ１６５の測定データのウインドウを保存することができる。 （もっと読む）