【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計ＩＧは、ヘアピン状に成形されたフィラメント２と筒状の輪郭を有するグリッド３とイオンコレクタ４とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント表面に多量の酸素が吸着しているような場合に、この酸素を可及的速やかに脱離させるようにした酸素検出計を提供する。
【解決手段】 真空容器Ｗに装着されてその内部の酸素を検出する本発明の酸素検出計Ｍ１は、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメント１と、グリッド２と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の可変電源Ｅ１とを備える。フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流が所定値に保持されるように可変電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、このときフィラメントを流れる電流値から酸素を検出する。また、エミッション電流が所定値となるときのフィラメント電流より大きな電流をこのフィラメントに流し得る通電手段Ｅ３、ＳＷｆを更に備える。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】電子源の歪力を軽減しながら、様々な圧力レベルでの動作において、スパッタリングによる損傷を受けることがない電離真空計、そのような電離真空計を使用した圧力測定方法、および真空の気体雰囲気内での各種方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計１００は、電子１２５を放出する電子源１０５と、イオン化空間を形成する陽極１２０と、電子とイオン化空間における気体との衝突によって生成されるイオンを収集する収集電極１１０とを備える。なお、コントローラ１０５ａにより、動作時の電子源１０５からの放出電流を、圧力以外の検出パラメータに応答して能動的に制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は感度を高める真空計を提供目的とする。
【解決手段】本発明は陰極ユニットと、陽極環と、遮蔽極と、イオン引出し極と、反射極と、コレクタと、を含む。前記遮蔽極は一端が前記陰極ユニットに対応し、他端が前記イオン引出し極に対応する。前記イオン引出し極の中心にイオン引出し穴を設置する。前記反射極は曲面に構成され、この曲面構成は遮蔽極のイオン引出し極に近い一方側を囲んでいる。前記コレクタは反射極の曲面構成の底部に設置され、かつイオン引出し穴に向ける。前記陽極環は遮蔽極の内部に固定されている。本発明にかかわる真空計はサドルフィールドの真空計と電離真空計の長所を結合し、体積が小さく、エネルギーの消耗が少なく、構成が簡単で、感度が高い特徴がある。 （もっと読む）

【課題】発生する雑音電流を極めて小さくすることが可能であり、超高真空領域から極高真空領域に亘る全圧の測定を簡単且つ高精度に行うことができる電離真空計を提供する。
【解決手段】電子銃部は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、加速させた電子を筒状格子型電極Ｌ１内に入射する。電子収集電極Ｌ３は、筒状格子型電極Ｌ１の他端側に設けられ、筒状格子型電極Ｌ１内を通過してその他端側から出射した電子を収集する。イオン収集電極Ｌ４は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、Ｌ１内を飛行する電子によって発生したイオンを収集する。これにより、ほとんど全部の電子を電子収集電極Ｌ３に収集することが可能となり、従来の電離真空計において主要な雑音電流であったＸ線光電子電流や電子衝撃脱離イオン電流などの発生を避けることができる。 （もっと読む）

電離真空計において、平行化された電子ビームが計器構造のグリッド表面に当たるときに出射されるＸ線の影響を、羽板付ビーム止めにより低減した。この羽板付ビーム止めはＸ線を持たない影領域を形成し、これによりコレクタプレートに当たるＸ線の量を最小にし、残留電流のＸ線作用部分を減少させる。
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【課題】 本発明は感度を高める真空計を提供目的とする。
【解決手段】 本発明は陰極ユニットと、陽極環と、遮蔽極と、イオン引出し極と、反射極と、コレクタと、を含む。前記遮蔽極は一端が前記陰極ユニットに対応し、他端が前記イオン引出し極に対応する。前記イオン引出し極の中心にイオン引出し穴を設置する。前記反射極は曲面に構成され、この曲面構成は遮蔽極のイオン引出し極に近い一方側を囲んでいる。前記コレクタは反射極の曲面構成の底部に設置され、かつイオン引出し穴に向ける。前記陽極環は遮蔽極の内部に固定されている。本発明にかかわる真空計はサドルフィールドの真空計と電離真空計の長所を結合し、体積が小さく、エネルギーの消耗が少なく、構成が簡単で、感度が高い特徴がある。 （もっと読む）

ピラニ圧力計は、プラチナ及びインジウムを含む合金から形成されるコイル状の加熱された例えば９０／１０Ｐｔ／Ｉｒである感知要素を備えている。これは、圧力計が腐食性の環境に配置されることを可能にし、また、長期間を通して１０^-4mbarの低さの圧力を確実に測定できるようにする。
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