【課題】流体の大気導入口への干渉を効果的に防止した半導体圧力センサを提供する。
【解決手段】半導体圧力センサは、ケース１０と、ケース１０内に被測定対象の流体を導入する圧力導入口１１と、大気を導入する大気導入口１２と、大気圧に対する流体の圧力を測定するセンサチップ２０と、を備えている。圧力導入口１１及び大気導入口１２は、ケース１０の同一面側に配設されており、圧力導入口１１はケース１０の表面に立設された管状の圧力導入部１０ｂに連通しており、大気導入口１２は圧力導入部１０ｂに並置された管状の大気圧導入部１０ｃおよびケース１０内に連通している。そして、大気圧導入部１０ｃにおける大気導入口１２から離間した位置に複数の凹部１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの腐食、及び、圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】被測定気体の圧力を電気信号に変換する圧力センサ（２０）と、該圧力センサ（２０）に被測定気体を導入するための導入孔（５３）が形成されたハウジング（５２）と、を有し、導入孔（５３）が有する２つの開口端（５３ａ，５３ｂ）の内、一方の開口端（５３ｂ）が、被測定気体の流動するパイプの中空内に配置される圧力センサ装置であって、一方の開口端（５３ｂ）は、導入孔（５３）の中心を通る軸方向に対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】シリコンチップの一部をモールド樹脂で封止し、他部をモールド樹脂より露出させてなる半導体装置の製造方法において、シリコンチップの露出部分と封止部分との境界を封止するための封止部材を、シリコンチップに取り付けるときの応力を低減し、シリコンチップへの損傷を極力抑制する。
【解決手段】封止部材として熱印加により収縮する材料よりなる環状の収縮シール部材６０を用意し、この収縮シール部材６０にシリコンチップ１０を挿入して上記境界１３に設けた後、収縮シール部材６０に熱を印加して収縮を完了させ、その後、モールド工程では、収縮シール部材６０を介して金型１００にてシリコンチップ１０を押さえ付けた状態で、モールド樹脂２０を注入する。 （もっと読む）

【課題】低コストで利便性の高い異物進入防止機構が組み込まれた圧力測定装置を実現すること。
【解決手段】圧力測定部に連通するように設けられた大気開放口を有し、この大気開放口には異物進入防止機構としてフィルタが挿入固定される圧力測定装置において、
前記フィルタの端部は六角形部として形成されてその内部には軸方向に沿ってその端部が前記六角形部の端面近傍に到達するように止まり穴が形成され、前記六角形部の端面から前記止まり穴に連通するように複数の貫通孔が形成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】防水防振材となるポッティング材で大気圧センサ全体が覆われてしまうのを防止しつつ、基板全体の防水防振機能を得ることができる、電子制御ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】センサ保護ケース７の天井壁９にあけた大気連通孔１２を取り外し可能な閉塞体１３で閉塞し、センサ保護ケース７の外側で基板ケース５内にポッティング材１４を注入し、センサ保護ケース７内の空気圧で、センサ保護ケース７の周壁８と基板１との隙間からのポッティング材１４の流入を抑制することにより、センサ保護ケース７内のポッティング材１４の表面高さをセンサ保護ケース７外のポッティング材１４の表面高さよりも低くなるようにして、大気圧センサ２全体をポッティング材１４で覆うことなく、基板１全体をポッティング材１４で覆う。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム及び溶接部を透過する水素分子の浸透を遅延させる構造を有する差圧・圧力計を提供する。
【解決手段】円板状に形成された接液ブロックと、ドーナツ状のシールリングと、
このシールリングの外径よりは小さく内径よりも大きな外径を有し一方の面に金メッキが施されたダイアフラムと、を備えた差圧・圧力計において、
前記ダイアフラムは金メッキされた側から前記シールリングの一方の面に径の異なる複数箇所で溶接され、前記シールリングは他方の面から前記ダイアフラムの外径より外側で前記接液ブロックに溶接されるとともに、前記径の異なる複数の溶接箇所の間に溝を形成した。 （もっと読む）

【課題】土砂の侵入を防止しつつ間隙水圧を容易に測定することができる間隙水圧測定用調査器具を提供することである。
【解決手段】堤防横断構造物の壁の適所を貫通する孔内に配置された本体管（１２）と、本体管の堤防横断構造物の壁の内面に位置する第１の側に取り付けられ、中央に開口（１６ａ）が設けられたキャップ（１６）と、キャップの開口に先端が装着された計測バルブ（１８）と、本体管の内部に配置され、透水性でかつ土砂の透過を防止する材料で形成されたフィルタ（２４）とを備え、計測バルブに計測具を挿入することにより、本体管内の水圧を計測するように構成されている間隙水圧測定用調査器具（１０）が提供される。 （もっと読む）

【課題】製造容易で耐環境性を有する燃焼機関排気管の圧力センサシステムを提供する。
【解決手段】当該センサシステムは、電子部品モジュールアッセンブリ５と、電子部品モジュールアッセンブリ５を収容するハウジングアッセンブリとを含む。電子部品モジュールアッセンブリ５は、感知素子１０を有する感知素子キャリア要素８と、電子部品を搭載する電子部品モジュールキャリア要素７であって、電気的接続７ａが電子部品モジュールキャリア要素７と感知素子キャリア要素８との間に設けられる、電子部品モジュールキャリア要素７と、感知素子キャリア要素８および電子部品モジュールキャリア要素７を支持する主キャリア要素６とを含む。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易であって機械的強度を高めた圧電素子であって、且つ耐熱性を有し且つ出力効率の良い圧電素子を得る。
【解決手段】 圧電素子を、一単結晶からなる筒形状の圧電材料と、圧電材料の外周面に設けられた第一の電極と、圧電材料の内周面に設けられて該第一の電極に対しての対向電極として作用する第二の電極と、から構成し、該筒形状の軸方向を応力印加軸と一致させる。製造時においては第一及び第二の電極を同時に形成し、研削加工等によりこれらを分離する。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に配置された引出電極間の短絡を防止して生産の歩留を高めた物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】圧電振動基板２６と、ダイアフラム５６を有し、前記圧電振動基板２６の一方の主面を覆うダイアフラム基板４８と、前記圧電振動基板２６の他方の主面を覆うベース基板１４と、実装基板９２と、を備え、前記圧電振動基板２６には、一対の接続部３２Ａ，３２Ｂが分離して配置され、前記ベース基板１４と前記ダイアフラム基板４８の何れかよりも外側に露出しており、前記圧電振動基板２６は、互いに信号の異なるパッド電極４２Ａ、４２Ｂと、導電膜４４Ａａと、を有し、前記導電膜４４Ａａは、他方の主面に設けられた引出電極４４Ａと前記パッド電極４４Ｂとを電気的に接続し、前記パッド電極４４Ａ，４４Ｂを前記実装基板９２に配置された接続電極９４に導電性を有する固定部材９６を介して電気的に接続したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導圧管の詰まり診断の感度を向上させ、より早い時点で導圧管の詰まりを検知する。
【解決手段】圧力発信器１に測定用ダイアフラム８とは別に非測定用ダイアフラム９を設ける。非測定用ダイアフラム９の圧力変化に対する変形率を測定用ダイアフラム８の圧力変化に対する変形率の１０倍程度以上にする。これにより、圧力発信器１の内部の流路系の圧力変化に対する変形率Ｃが大きくなり、圧力揺動の変化が検知し易くなり、導圧管の詰まり診断の感度が向上する。なお、流体７は非圧縮性流体とする。 （もっと読む）

【課題】測定環境由来のコンタミネーションを低減して安定的に圧力を測定可能な物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】変位部（ダイアフラム５６）を有するダイアフラム基板４８と、ベース基板１４と、を有し、前記ダイアフラム基板４８と前記ベース基板１４とで設けられた気密空間１３を有する物理量検出素子１０と、前記物理量検出素子１０を収容するための容器（実装基板１１２、蓋体１２２）と、を備え、前記容器（蓋体１２２）の前記ベース基板１４と対向する部位に圧力導入口１２４が配置され、前記ダイアフラム基板４８は、前記変位部の外側に、前記変位部と前記容器との間に隙間を設けるようにスペーサ５７を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】指定した詰まりの程度を検知可能か否かを自動的に判定させる。
【解決手段】詰まり程度指定部１０と、詰まり特性演算部１１と、変形特性演算部１２と、圧力伝播モデル演算部１３と、評価判定部１４とを設ける。詰まり程度指定部１０から、判定対象として、所望の詰まりの程度を指定する。詰まり特性演算部１１は、指定された詰まりの程度から、その詰まりの流量特性を求める。変形特性演算部１２は、管路系を構成する要素の圧力変化に対する変形率を求める。圧力伝播モデル演算部１３は、求められた詰まりの流量特性と変形特性とを用いて、圧力伝播モデルを求める。評価判定部１４は、求められた圧力伝播モデルの圧力伝播特性を評価し、適用される導圧管の詰まり診断手法によって指定された詰まりの程度を検知可能か否かを、基準値と比較して判定する。 （もっと読む）

【課題】測定環境由来のコンタミネーションを低減して安定的に物理量を測定可能な物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】物理量を検出する圧電振動基板２６と、前記圧電振動基板２６が接続され、外部からの力を受けて変位し、前記力を前記感圧部に伝達するダイアフラム５６を有し、前記圧電振動基板２６の一方の主面を支持する第２基板４８と、前記圧電振動基板２６の他方の主面を覆う第１基板１４と、を有する物理量検出素子１０と、実装基板１１２と、を備え、前記実装基板１１２と、ダイアフラム基板の外側主面とが対向するように前記物理量検出素子１０を配置し、前記実装基板１１２と前記ダイアフラム基板との間に隙間１２６を設け、前記物理量検出素子１０の外縁に設けられた接続部３２Ａ、３２Ｂを前記実装基板１１２に固定部材１２０を用いて固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信号ラインとフレームグランド間の寄生容量とそのバラツキを抑えてノイズの減衰を図る共に、高圧・高耐圧特性を備えるセンサユニットを実現する。
【解決手段】所定の厚さをもって対向する第１面および第２面を有するセラミック部材と、
前記第１面側に実装されたセンサ部と、
前記第２面側に固定配置された複数の金属ピンと、
前記セラミック部材を貫通して前記センサ部と前記金属ピンとを接続する複数の内部配線と、
前記第２面側の周端部に形成され、溶接により筐体と結合する金属部材と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】体格及びコストの増大が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが組み合わされて成るセンサ装置であって、第２ハウジング（５０）は筒状を成し、その中空が、メタルダイアフラム（６０）及びリングウェルド（６１）によって収容空間と導入空間とに区切られ、第１ハウジング（１０）におけるメタルダイアフラム（６０）側の端部に溝（１３）が形成され、溝（１３）、メタルダイアフラム（６０）、及び、リングウェルド（６１）によって圧力検出室（１５）が構成され、圧力検出室（１５）に、圧力センサ（２０）とターミナル（３０）の一部が設けられ、メタルダイアフラム（６０）に作用する圧力流体の圧力を、圧力センサ（２０）に伝達する圧力伝達媒体（１６）によって満たされており、圧力検出室（１５）に、温度センサ（２３）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】特性が安定で、ローコスト化が可能な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の半導体基板の一方の面に形成された半導体歪ゲージと、第１の半導体基板の一方の面に一方の面が接合された第２の半導体基板と、半導体歪ゲージを挟んで第１の半導体基板と第２の半導体基板の一方の面に直交して互いに対向して設けられ半導体歪ゲージを含む測定ダイアフラムを形成する第１，第２の測定室と、第１の半導体基板の他方の面に一面が接して設けられた支持基板と、支持基板の他方の面に低融点ガラスを介して一面が接する金属よりなる支持台と、一端が第１の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第１の導圧孔と、一端が第２の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第２の導圧孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】圧力センサなどのデバイスの製造工程中に空洞内の上下のシリコン面の固着がない半導体基板およびその製造方法を提供する。また、精度良い小型のダイアグラムを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ＳＯＮ構造１０１のダイアフラム１００を有するシリコン基板１およびその製造方法において、ＳＯＮ構造１０１を構成する空洞２内の下側のシリコン面３に凸状の島４を形成する。半導体基板の表面に深さの異なるホール群を形成し、高温アニール処理することにより一つの大きな空洞を形成する。 （もっと読む）

【課題】 部品を増やすことなく、ウォームアップ時間を短くして、測定開始までの時間を早める、使い勝手のよいセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】 センサーモジュール１０であって、所定の物理量を検出して検出信号として出力する物理量センサー２０と、使用されることで発熱する発熱部品３０と、を含み、発熱部品は、複数の動作モードを切り替える切り替え制御部４６を含み、切り替え制御部は、物理量センサーに所定の物理量を検出させ、検出信号に基づく出力データを出力させる通常動作モードと、物理量センサーの温度をターゲット温度に変化させるウォームアップモードと、を切り替え、所与の条件を満たした場合に、ウォームアップモードが通常動作モードの前に実行されるように制御を行い、通常動作モード時における飽和温度をターゲット温度とする。 （もっと読む）