【課題】積層形液体制御装置の圧力スイッチを構成する環状隙間を通過する漏洩液体の量を少なくする圧力スイッチを提供。
【解決手段】圧力スイッチ１５は他のバルブ、例えば上面３０ａに減圧弁１６、下面３０ｂにパイロットチェック弁１４と接合するボディ２５と、前記ボディ２５の一側面に図示しない取付ボルトにより係着されたカバー２６と、前記ボディ２５に対向した位置にあって前記カバー２６の他側面に螺合したリテーナ２７と、前記ボディ２５及び前記リテーナ２７に直交するように前記カバー２６の図示しない取付ボルトにより固着されたカバー２８と、前記カバー２７に取付られたガスケット２９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度補償型の圧力センサモジュールにおいて、温度測定部および温度補償部を備えた温度補償装置と、圧力検出部を備えた圧力センサ装置とが互いに別々の半導体基板に形成された場合であっても、温度測定部が圧力センサ装置の温度を正確に測定することができ、適切に温度補償された圧力値を出力することが可能な圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、圧力を検出する圧力検出部を有する圧力センサ装置と、温度測定部を有し前記温度測定部の出力値に基づいて前記圧力センサ装置の出力値を補償する温度補償装置と、を少なくとも備えてなる圧力センサモジュールであって、前記圧力センサ装置は、前記温度補償装置の前記温度測定部と重なる領域に配置されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ用のファイバガイドを備えた渦式流量計及び相応のファイバガイド自体を提供する。
【解決手段】ファイバガイドは、流量計壁内のファイバ通路、ファイバ通路に突入する、光ファイバに対する接触面を備えた第１のシール部材、光ファイバに対する接触面を備えた第２のシール部材を有しており、第２のシール部材は、流量計壁内の案内部内で案内されていて、ファイバガイドのシール状態において、第２のシール部材はその接触面で第１のシール部材の接触面に調節手段によって押圧されており、これにより第１のシール部材の接触面と第２のシール部材の接触面との間に配置された光ファイバの周面に、第１のシール部材の接触面及び／又は第２のシール部材の接触面が密着して、ファイバ通路が第１のシール部材、第２のシール部材及び第１のシール部材と第２のシール部材との間に案内された光ファイバにより閉塞されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図るＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態によるＭＥＭＳ素子は、基板１０上に固定された平板形状の第１電極１１と、前記第１電極の上方に対向して配置され、上下方向に可動である平板形状の第２電極１５と、前記基板上において、前記第１電極および前記第２電極を収納するキャビティ２０を有する膜２６と、を具備する。前記第２電極は、ばね部１６を介して前記基板上に接続されたアンカー部１４に接続されるとともに、その上方において前記膜に接続される。 （もっと読む）

【課題】自らの内圧を求め、過大な圧力損失を表示できるピストン・シリンダユニットを提供する。
【解決手段】中心長手方向軸（Ａ）、第１の端部（３）、流体で満たされたシリンダ（２）、シリンダ（２）の中に摺動自在に配置されていて、シリンダ（２）を第１の端部（３）から遠い第１の動作室（１１）と前記第１の端部（３）に近い第２の動作室（１２）とに区分するピストン（１３）、ピストン（１３）に配置されていて、第１の動作室（１１）を突き抜け、中心長手方向軸（Ａ）に対して同心で第１の端部（３）と向き合った第２の端部（６）においてガイド／シール装置（７）により封止された形でシリンダ（２）から外へ通じているピストンロッド（８）を備えたピストン・シリンダユニット（１）に、特に、ピストン・シリンダユニット（１）の内圧を直接的又は間接的に検出するセンサ装置（１４）を備え付ける。 （もっと読む）

【課題】後加工のための製作手間を最小限に抑え、貴金属コストを減少させる。
【解決手段】コンタクトキャリヤ３に配置された第１のコンタクト手段１２と、該第１のコンタクト手段に所定のコンタクト力Ｆで作用する第２のコンタクト手段５とを備え、コンタクトキャリヤ３は、電気メッキ可能な第１のプラスチック１３と電気メッキ不可能な第２のプラスチック１１とから成るプラスチック前射出成形体から成り、第１のプラスチック１３は規定された弾性特性を有し、第１のコンタクト手段１２は金属層１２．１により形成されており、該金属層は電気メッキプロセス中に第１のプラスチック１３に被着可能であり、第１のプラスチック１３の弾性特性および金属層の寸法は、コンタクト力Ｆの作用を受けて、第１のコンタクト手段１２に第２のコンタクト手段５を案内する微小凹部１２．２が生ぜしめるようになっている。 （もっと読む）

【課題】特性が良好な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、絶縁基板の一方の面に形成され第１の測定ダイアフラムを形成する第１の凹部と、絶縁基板の一方の面に形成され第２の測定ダイアフラムを形成し第１の凹部と同一形状をなす第２の凹部と、第１の測定ダイアフラムの所定箇所に一端が固定され第２の測定ダイアフラムの第１の測定ダイアフラムの所定箇所に他端が固定された振動式半導体歪ゲージ素子と、絶縁基板の他方の面に一方の面が接続され第１の凹部と第１の測定室を構成し第２の凹部と第２の測定室を構成する支持基板と、支持基板の他方の面に一方の面が接する支持台と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第１の測定室に連通し他方端が外部に開口する第１の導通孔と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第２の測定室に連通し他方端が外部に開口する第２の導通孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】低コストで利便性の高い異物進入防止機構が組み込まれた圧力測定装置を実現すること。
【解決手段】圧力測定部に連通するように設けられた大気開放口を有し、この大気開放口には異物進入防止機構としてフィルタが挿入固定される圧力測定装置において、
前記フィルタの端部は六角形部として形成されてその内部には軸方向に沿ってその端部が前記六角形部の端面近傍に到達するように止まり穴が形成され、前記六角形部の端面から前記止まり穴に連通するように複数の貫通孔が形成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計ＩＧは、ヘアピン状に成形されたフィラメント２と筒状の輪郭を有するグリッド３とイオンコレクタ４とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】 構造が単純で安価な真空度センサと、コストの上昇を抑えながら、吸着力の確認ができる吸着装置とを提供することである。
【解決手段】 内部と外部との圧力が等しい通常状態で所定の形状を保つ形状保持能力を有する一方、内部が真空になったときその真空度に応じて変形するとともに、真空状態から通常状態になったとき上記所定の形状に復帰する復帰能力を備えたエア収容体１９と、このエア収容体１９に設け、真空検出空間に連通させる連通口１９ｂと、上記連通口に連通させた真空検出空間の真空度に応じて上記エア収容体１９が変形したとき、その変形に追随する接点を有するスイッチ２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】圧力検知部の状態をより正確に判定することができる圧力検知装置を提供する。
【解決手段】圧力検知装置１０１は、印加された荷重に基づいて信号を出力する感圧抵抗体３１と、自身の一端側に加えられた内燃機関の燃焼室内の圧力により、自身の他端部から感圧抵抗体３１に荷重を印加する伝達部５と、伝達部５をハウジング２に対して相対変位可能な状態で支持する支持部１１と、ハウジング２に対する伝達部５の相対変位方向と同一の方向に沿って、任意の荷重を感圧抵抗体３１に対して印加可能な加圧機構とを備える。さらに、圧力検知装置１０１は、内燃機関の停止時に加圧機構を制御することで、加圧機構から感圧抵抗体３１に対して所定量の荷重を印加する加圧機構制御部１０３と、所定量の荷重を印加した際の感圧抵抗体３１からの出力信号に基づいて、感圧抵抗体３１の状態を判定する状態判定部１０８とを有する。 （もっと読む）

【課題】土砂の侵入を防止しつつ間隙水圧を容易に測定することができる間隙水圧測定用調査器具を提供することである。
【解決手段】堤防横断構造物の壁の適所を貫通する孔内に配置された本体管（１２）と、本体管の堤防横断構造物の壁の内面に位置する第１の側に取り付けられ、中央に開口（１６ａ）が設けられたキャップ（１６）と、キャップの開口に先端が装着された計測バルブ（１８）と、本体管の内部に配置され、透水性でかつ土砂の透過を防止する材料で形成されたフィルタ（２４）とを備え、計測バルブに計測具を挿入することにより、本体管内の水圧を計測するように構成されている間隙水圧測定用調査器具（１０）が提供される。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して中空管内部の静圧を安定化させることができる基準圧計測補助具を提供する。
【解決手段】基準圧計測補助具１０Ａは、一方向へ長い長尺の可撓性を有する中空管１１から形成されている。中空管１１は、空気第１出入口を備えた検出端部１２と、空気第２出入口を備えた接続端部１４と、検出端部１２と接続端部１４との間に位置する中間部１３とを有する。基準圧計測補助具１０Ａでは、検出端部１２と中間部１３と接続端部１４とにおいて気圧の伝達が遮断されないように中空管１１が設置され、中空管１１内部の圧力抵抗によって中空管１１内部の静圧が検出端部１２から接続端部１４に向かって次第に安定する。 （もっと読む）

【課題】導圧管の詰まり診断の感度を向上させ、より早い時点で導圧管の詰まりを検知する。
【解決手段】圧力発信器１に測定用ダイアフラム８とは別に非測定用ダイアフラム９を設ける。非測定用ダイアフラム９の圧力変化に対する変形率を測定用ダイアフラム８の圧力変化に対する変形率の１０倍程度以上にする。これにより、圧力発信器１の内部の流路系の圧力変化に対する変形率Ｃが大きくなり、圧力揺動の変化が検知し易くなり、導圧管の詰まり診断の感度が向上する。なお、流体７は非圧縮性流体とする。 （もっと読む）

【課題】短絡、および断線を防止して生産の歩留を高め、かつ低背化を実現した物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】物理量を検出する感圧部３４Ａ、３４Ｂと、前記感圧部を支持する枠部２８と、を有する圧電振動基板２６と、力を前記感圧部に伝達するダイアフラム５６と、前記圧電振動基板を覆う基板４８、１４とを備え、前記圧電振動基板には、スリット３０により一対の接続部３２Ａ、３２Ｂが分離して配置され、一部が前記何れかの基板よりも外側へ露出しており、前記圧電振動基板は、前記一対の接続部の一方の主面側にそれぞれ設けられた互いに信号の異なるパッド電極４２Ａ、４２Ｂと、何れか一方の接続部の前記スリット３０側の側面に配置され、他方の主面に設けられた引出電極４４Ｂと信号が同じ前記パッド電極４２Ｂとを電気的に接続する導電膜４４Ｂａとを有し、前記パッド電極を前記実装基板に配置された接続電極９４に電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】差圧／圧力伝送器のダイアフラムが反応する過大圧の設定値を任意に設定する。
【解決手段】高圧側受圧部及び低圧側受圧部を有する本体１と、本体１に設置された圧力センサ２と、高圧側受圧部に設けられた高圧側センターダイアフラム１９と、凸形状の面を有する高圧側固定金具７と、低圧側受圧部に設けられた低圧側センターダイアフラム２０と、凸形状の面を有する低圧側固定金具８とを含む差圧／圧力伝送器において、高圧側固定金具７の凸形状の面を高圧側センターダイアフラム１９に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とし、低圧側固定金具８の凸形状の面を低圧側センターダイアフラム２０に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜トランジスタ及びそれを利用した圧力センサーに関する。
ものである。
【解決手段】本発明の薄膜トランジスタは、ソース電極と、ドレイン電極と、半導体層と、ゲート電極と、絶縁層と、を含む。前記ソース電極は、前記ドレイン電極と間隔をあけて設置される。前記半導体層は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極にそれぞれ電気的に接続される。前記半導体層は、弾性率が０．１ＭＰａ〜１０ＭＰａである高分子複合材料層である。前記高分子複合材料層は、高分子基材及び該高分子基材に分散された複数のカーボンナノチューブからなる。前記ゲート電極は、前記絶縁層により、前記半導体層、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と絶縁状態で設置される。 （もっと読む）

【課題】最適化された感度を有するＭＥＭＳおよび／またはＮＥＭＳ圧力測定デバイスを提供する。
【解決手段】基板２上で懸架された変形可能な膜４であって、膜の面の１つが測定される圧力を受けるように意図された膜と、歪みゲージを備え、膜４の変形を検出する手段であって、基板２上に形成される検出手段６と、膜４の変形を増幅された形で検出手段６に伝達する変形不能なアーム１４とを備え、アーム１４が、膜４の面にほぼ平行な軸線Ｙの周りで回転可能に基板２にヒンジ留めされ、膜４の変形を増幅された形で検出手段６に伝達するように膜と一体である。 （もっと読む）

【課題】圧力センサと高精度の力学量センサとが最適にモジュール化されて、各力学量センサの性能がモジュール化に伴い低下することのない安価な力学量センサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力を検出する第１力学量センサＲ１の第１力学量検出部Ｍ１と第２力学量センサＲ２の第２力学量検出部Ｍ２とが、第１の基板１０に変位可能な状態に形成され、第２の基板２０が貼り合わされて第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２が互いに連通せずに形成されてなり、第１の基板１０がＳＯＩ基板からなり、ＳＯＩ層３からなる一部の半導体領域Ｓで第１力学量検出部Ｍ１と第２力学量検出部Ｍ２がそれぞれ構成されてなり、第２力学量検出部Ｍ２が、第２可動半導体領域Ｓ２ａと第２固定半導体領域Ｓ２ｂの対向する面の静電容量の変化を測定して、第２力学量を検出する力学量センサ装置１００とする。 （もっと読む）