【課題】高温環境下の測温部から信号処理のためのＡＤ変換入力までの信号線数は温度検出部の総数が必要になり、また、測温部とＡＤ変換器を結ぶ多数の信号線を部品間で接続するには接続信頼性が悪化し、工作性の悪化および部品の大型化により高価となる。
【解決手段】複数のスイッチ素子１０７〜１０９により構成されるブリッジ回路のスイッチ素子１０７〜１０９の温度を、複数のスイッチ素子のそれぞれに近接して設置された温度検出用ダイオード素子７〜９により検出する温度検出回路であって、温度検出用ダイオード素子７〜９に定電流を供給したとき温度検出用ダイオード素子７〜９の各々に生じる端子電圧を入力信号として、温度検出用ダイオード素子７〜９が検出する最高温度に対応する最大電圧または最小電圧を選択して出力する理想ダイオード１０１〜１０３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高圧の水素雰囲気下において耐久性に優れた温度センサを提供する。
【解決手段】酸化物焼結体からなる素子本体１１と、素子本体１１に電気的に接続され、Ｐｔ又はＰｔ合金からなる一対のリード線１３ａ，１３ｂと、素子本体１１及び素子本体１１と接続される部分を含むリード線１３ａ，１３ｂの一部を封止する封止ガラス２と、を備え、一対のリード線１３ａ，１３ｂが、Ｐｔ、ＰｔとＩｒ及びＰｄの１種又は２種とからなる合金、ＰｄとＩｒの合金のいずれかからなり、水素雰囲気下で使用される温度センサ１０。 （もっと読む）

【課題】 サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 温度計測が必要な流体制御機器6と支持部材9との間にスペースSが形成されている。サーモスタットユニット10が、スペースS内に配されて、サーモスタット11が温度計測が必要な流体制御機器6に当接させられている。サーモスタット11は、支持部材9に取り付けられた取付け治具12に支持されている。取付け治具12は、支持部材9に固定される第１治具13と、第１治具13に固定された第２治具14と、第２治具14に移動可能に取り付けられてサーモスタット11が固定される第３治具15とからなる。第１治具13と第３治具15との間に付勢部材が介在されている。 （もっと読む）

【課題】熱処理機構を用いて基板を所定の温度に熱処理する熱処理装置において、前記熱処理機構の温度を簡易な方法で適切に校正する。
【解決手段】温度校正装置の温度検査治具１０は、熱処理板上に載置される被処理ウェハ７０と、被処理ウェハ７０上に設けられた複数のホイートストンブリッジ回路７１とを有している。ホイートストンブリッジ回路７１は、温度変化に応じて抵抗値が変化する４つの測温抵抗体７２と、接触子４１が接触する４つのコンタクトパッド７３と有している。温度校正装置の制御部では、ホイートストンブリッジ回路７１が平衡状態となるように、すなわちホイートストンブリッジ回路７１のオフセット電圧がゼロになるように、熱処理板の温度を調節する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置の載置台や上部電極に孔を設けることなく、低コヒーレンス干渉計を利用して処理室内の温度測定対象物の温度を測定することができ、より精度良くかつ均一に基板のプラズマ処理を行うことのできるプラズマ処理装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源側窓の外側に光源側コリメータを配置するとともに受光側窓の外側に受光側コリメータを配置し、光源側コリメータから射出された測定光が光源側窓を透過し、温度測定対象物の表面に斜めに照射され、反射された測定光が受光側窓を透過し、受光側コリメータに入射するようにして処理室内の温度測定対象物の温度を低コヒーレンス干渉計を利用して測定可能とされたプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】 油潤滑方式の転動装置において、潤滑油中の混入水分濃度を監視して精度良く求めることができる機能を備え、転動部品の水素脆性起因の早期損傷を抑制することのできる油潤滑方式転動装置を提供する。
【解決手段】 油潤滑方式の転動装置において、潤滑油５中の混入水分濃度を監視する混入水分濃度監視装置６を設ける。混入水分濃度監視装置６は、潤滑油５中の静電容量および油温をそれぞれ検出する静電容量検出手段７および油温測定手段８と、その検出された静電容量および油温から、混入水分濃度を検出する水分濃度計算手段９とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱電対の固定方法及び固定装置を提供する。
【解決手段】熱電対の正極素線及び負極素線のそれぞれについて、素線の一部を弓矢の弦の様に張力を掛けて一直線に保持し、その直線部分を導電性の試料の異なる部分あるいは非導電性試料に設けられた異なる導電性部分に接触させて間接的に熱電対を構成する熱電対の固定方法及び熱電対の正極素線の一部を弓矢の弦の様に張力を掛けて一直線に保持し、その直線部分を導電性の試料の部分あるいは非導電性試料に設けられた導電性部分に接触させる熱電対正極素線保持治具と、熱電対の負極素線の一部を弓矢の弦の様に張力を掛けて一直線に保持し、その直線部分を導電性の試料の部分あるいは非導電性試料に設けられた導電性部分に接触させる熱電対負極素線保持治具と、正極素線保持治具及び負極素線保持治具を試料に押しつける手段とを含む熱電対の固定装置。 （もっと読む）

【課題】コールドスプレーによる噴射体の物理量の測定を実現する。
【解決手段】コールドスプレーによる噴射体の物理量を測定するコールドスプレー測定装置１０であって、噴射体の温度を検出する熱電対１１と、熱電対１１を支持するノーズコーン１５と、を具備し、ノーズコーン１５の頂部１５Ａの半頂角θ１は、コールドスプレーによる噴射体の超音速流をマッハ数Ｍによって表したとき、マッハ数Ｍに対応するマッハ角θ_Ｍ以下の角度となるように形成され、熱電対１１は、ノーズコーン１５に内設され、ノーズコーン１５の頂部１５Ａに熱電対１１が配置される。 （もっと読む）

【課題】蒸着時の蒸着対象物の温度を正確かつ精密に取得することのできる蒸着温度計測装置、及びこれを用いた蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】受熱量に応じた検出信号を出力する温感素子と、温感素子からの出力信号を記録する記憶部と、を含む電子温度センサと、蒸着面に貫通孔の設けられた基板と、を備え、基板の貫通孔内に電子温度センサを配設した蒸着温度計測装置とする。また、この蒸着温度計測装置をコートドームに配設した蒸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】被処理流体の変化に基づく異常を効果的に検知する。
【解決手段】温度センサは、被処理水の減少に伴い紫外線照射槽１０の上部に空気層ができた場合、紫外線ランプ２の発光体による空気層の温度変化を、検出可能な設置エリアに、設置される。この設置エリアは、発光体の最上端に水平な露出水位線より上および下のエリアであって、紫外線照射槽１０の外壁に沿ったエリアＡ１、内壁に沿ったエリアＡ２、紫外線照射槽の内壁の内部のエリアＡ３などである。 （もっと読む）

【課題】測定子とリード線との接続部の過熱防止を図りながら、小型化や測定子の耐久性の向上が可能な温度センサを提供する。
【解決手段】鋳造品を成形する金型２の被測定部位３の温度を測定する温度センサ１は、金型２に取り付けられる取付部１１を有するボディ１０と、被測定部位３の温度を測定する測温部３１ａを有すると共に、ボディ１０の内部に形成された収納空間１４と金型２とに渡って延びて配置されるシース３１と、収納空間１４内でシース３１と接続されると共に、収納空間１４からボディ１０の外部に延びているリード線３２と、ボディ１０と非接触状態で収納空間１４内に配置されると共に、シース３１とリード線３２との接続部３４を収納する収納体３３と、収納空間１４内に配置されると共に、シース３１を押圧して測温部３１ａを被測定部位３に当接させるスプリング３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 急速加熱可能であって且つウエハ載置面での均熱性に優れている上、高精度でレスポンスの良い温度制御が可能なウエハ加熱装置を提供する。
【解決手段】 このウエハ加熱装置は、一方の面にウエハ載置面１０ａを有すると共に他方の面に抵抗発熱体２０を有する均熱プレート１０と、該均熱プレート１０の温度を測定する測温抵抗体素子３０とを備えている。均熱プレート１０は、他方の面側に測温抵抗体素子３０を埋設する掘り込み部１１及び該掘り込み部１１を覆う蓋プレート１３を備えており、測温抵抗体素子３０は掘り込み部１１の底面１１ａに密着して埋設されている。蓋プレート１３の下面にも少なくとも部分的に抵抗発熱体２０の回路が形成されているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】所望の複数点の部位の温度を、容易・迅速且つ正確に測ることを課題とする。
【解決手段】温度測定装置を、第一の熱電対素子、第二の熱電対素子、前記第一の熱電対素子と電気的に直列に接続されたのＭＯＳトランジスタ及び、前記第二の熱電対素子と電気的に直列に接続されたＭＯＳトランジスタを有し、前記第一の熱電対素子からの出力信号と前記第二の熱電対素子からの出力信号の切り替えが、一方のＭＯＳトランジスタをオン又はオフのいずれかの状態から他に状態にし、他方のＭＯＳトランジスタを前記他の状態と反対の状態にすることにより行われる構成とする。 （もっと読む）

高動圧環境で使用することができる方法及びサーモウェルシステム。熱電対システムは、媒体が流れる構造体に入るように構成されるサーモウェルと、サーモウェル内に部分的に提供され、温度を測定するように構成される細長いプローブと、細長いプローブの第１の端部の周りに配置され、サーモウェルと接触することにより細長いプローブの振動を緩衝するように構成される、少なくとも１つのＯリングと、細長いプローブ部分の第２の端部の周りに配置され、サーモウェルと接触することにより細長いプローブの振動を緩衝するように構成されるエラストマとを含む。 （もっと読む）

【課題】温度検出装置が半導体処理装置内で、または半導体処理装置間を移動して用いられる場合、温度検出装置から引き出される配線ケーブルの取り回しが常に問題となる。その上、その移動できる範囲はおよそ配線ケーブルの長さに制限される。
【解決手段】半導体基板を保持する半導体基板ホルダであって、半導体基板を保持するに替えて、温度センサを内蔵する温度検出装置を保持したときに、温度検出装置の接触端子に対応する位置に設けられた接続端子を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の温度測定装置は、測定面に対して温度センサが埋め込まれているものの、温度センサの出力を外部に導くケーブルの処理がなされておらず、温度測定装置を挟み込んで用いる用途には適さなかった。
【解決手段】上記課題を解決するために、温度センサと、温度センサを収容する空間を外周部に連通させて形成したワークシリコンウェハと備える温度検出装置を提供する。このような構成を有する温度検出装置は、ウェハを両面から挟み込んで加熱する熱処理工程に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】既存の温度制御装置を流用可能とすることを前提とするものであって、温度検出装置の異常の発生を温度制御装置に認識させるための技術を提供する。
【解決手段】温度検出装置は、シェル１０２の温度を検知するための測温抵抗体１１と、前記測温抵抗体１１によって検知した温度値を取得する取得部８ａと、前記取得部８ａによって取得された温度値を記憶する記憶部９（１５）と、前記記憶部９（１５）に記憶された温度値を前記温度制御装置２００へ送信可能な送信部１４ｂと、測温抵抗体１１に関連した不具合が発生したら、前記送信部１４ｂが前記温度制御装置２００へ送信する上記温度値を仕様範囲外の温度値へと置換する置換部８ｃと、を備える。 （もっと読む）

【目的】いわゆる金属を使用しない腐食に強い起歪体を形成し、もって外装材により起歪体を保護する必要がなく、コンクリートに起歪体を直接接触させられ、かつコンクリートのひずみを起歪体周囲の付着力により直接起歪体に伝達できるため、計測値につきばらつきのない高品質で破損や故障の少ない長期間の計測が可能なひずみ検出装置を提供し、さらに、長大構造物に対しても劣化の可能性が少なく、かつ精度よくコンクリート構造物の内部温度が計測できる内部温度検出装置をすることを目的とする
【構成】ＦＢＧセンサが設けられた光ファイバを、光ファイバと略同等の線膨張係数、弾性係数を有するガラス繊維部材で被覆して起歪体を形成し、起歪体をあらかじめ内部設置した状態で、コンクリートを打設して構造物を構築し、コンクリート構造物の構築後生ずる歪みを検出可能とした、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 条件が変わっても常に製品と供試体コンクリートの温度履歴を一致させ、適量な促進蒸気養生を選択できるコンクリート養生管理装置を提供する。
【解決手段】 型枠内にコンクリートを打設し、型枠を養生シートで被い、養生シートで被われた内部に蒸気による促進養生が可能な養生方法であって、シート内の雰囲気温度とコンクリート内部温度の両方を計測できるように２つのセンサーを備えた表面設置型の温度計測装置を使用し、この計測装置で測定したコンクリートの内部温度と別途設置した供試体養生箱の内部雰囲気温度を同調させて製品と供試体の温度履歴を一致させることを可能にした供試体同一温度養生管理装置を備え、その装置で記録したコンクリート温度などの温度記録と強度試験の結果から促進養生の適正度合いを確認して次回からの促進蒸気養生プログラムを修正することでより適切な養生とする。 （もっと読む）

【課題】水素暴露して劣化したセンサ素子の出力を補正して水素充填時の温度を測定する温度検出器を備えた水素充填システムを提供する。
【解決手段】温度検出器を備えた水素充填システムは、水素充填用のタンク１０と、タンク１０に水素を充填するためのガス流路を備えたバルブ１２と、タンク１０内のバルブ１２に取り付けられた温度センサ１００ａと、タンク１０の内壁に設けられた温度センサ１００ｂと、温度センサ１００ａ，１００ｂから出力される測定温度を基に水素暴露されていないセンサ素子を有する温度センサの出力を基に水素暴露されたセンサ素子を有する温度センサの出力を補正する補正手段を備えた制御部３０とを有する。 （もっと読む）