【課題】シース温度計と保護管との熱的接触を確保し、温度検出における優れた応答性を発揮できるとともに、保護管内へのシース温度計の脱着作業を容易に行うことができ、製造・管理コストも大幅に削減できる温度測定器を提供せんとする。
【解決手段】シース温度計２の外周面２０上の径方向所定角度部位２０ａに、長手方向に沿って外方に湾曲した形状の湾曲形状部５，５を備えるバネ材４を設けて、当該バネ材４の湾曲形状部５，５を保護管内壁３０ａに当接変形させ、その弾性復元力によりシース温度計外周面２０のバネ材４と反対側の部位２０ｂを保護管内壁３０ｂに圧接させた。 （もっと読む）

温度測定を提供するための改善された熱電対アッセンブリが提供される。熱電対アッセンブリは、測定チップを有するシースと、シース内に収容される支持部材と、支持部材内に収容された第１線及び第２線とを含む。第１線及び第２線の各端部が互いに融合されてそれらの間に電熱対ジャンクションを形成する。凹部領域が支持部材の遠位端に形成され、電熱対ジャンクションが、凹部領域がシースの測定チップに対して実質的に固定された位置に電熱対ジャンクションを維持するように凹部領域のベースに固定的に配置される。 （もっと読む）

半導体処理リアクタ内で使用される熱電対について記載される。熱電対は、端部に測定先端と、他端に開口部と、を有する、シースを含む。長さに沿って形成されるボアを有する支持部材は、シース内に配置される。異種金属から形成される一対のワイヤは、ボア内に配置され、ワイヤの端部は、融合され、接点を形成する。ワイヤは、ボアの長さに沿って延在する。ワイヤが、ボアから延出するにつれて、空間的または物理的に分離され、その間の短絡を防止する。また、ボアから延出するワイヤの両端は、長手方向に自由に熱膨張し、それによって、ワイヤが微量の滑動によって故障する潜在性を低減または排除する。
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化学蒸着リアクタ中で処理されている基材に隣接する位置で温度を測定するための熱電対を提供する。熱電対は、測定先端部を有するシースを含む。熱電対はまた、シース内に配置される支持管も含む。熱電対はさらに、支持管によって支持される第１および第２のワイヤも含む。第１および第２のワイヤは、異なる金属で形成される。接合点が第１および第２のワイヤの間に形成され、接合点は、支持管の遠位端部に隣接して位置する。バネが支持管の一部分の周囲に配置される。バネは、支持管にバネ力を及ぼして、測定先端部に対して接合点を付勢し、測定先端部と連続的に接触した接合点を維持するように、圧縮される。バネ力は、接合点の有意な変形を防止するのに十分小さく、ならびに、１つの熱電対から別の熱電対へのバネ力または接合点位置の変動を低減する。
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【課題】 長期に渡って熱電対の先端を変形損傷させることのない温度センサを提供する。
【解決手段】 熱電対線１６ａ，１６ｂと接触板１７と保護板１８とから熱電対を形成する。熱電対を軸方向に変位自在に保護管２４に取り付ける。スプリングとしてのコイル形状の形状記憶合金で作った温度応動部材８で熱電対を付勢して被検出物に押し当てる熱電対の先端の接触板１７を保護管２４の開口３２から突出せしめる。熱電対の先端の接触板１７を被検出物に押し当てて温度応動部材８を圧縮せしめることにより保護管２４の開口３２まで押し込む。温度応動部材８の変形により熱電対先端の接触板１７の保護管２４の開口３２からの突出量を高温時よりも低温時に小さくする。 （もっと読む）

【課題】 不用意に誤って落下させたり物に当てたりしても熱電対の先端を損傷させることのない温度センサを提供する。
【解決手段】 熱電対線１６ａ，１６ｂと接触板１７と保護板１８とから熱電対を形成する。熱電対を軸方向に変位自在に保護管２４に取り付け、熱電対に温度応動部材としての形状記憶合金８を連結する。形状記憶合金８の変形により被検出物に押し当てる熱電対の先端の接触板１７を低温時に保護管２４内に没入させ高温時に保護管２４の開口３２から突出させるようになっており、保護管２４の開口３２を被検出物に押し当てることにより被検出物の高温時の熱による形状記憶合金８の変形により熱電対の先端の接触板１７が被検出物に押し当てられる。 （もっと読む）