【課題】 耐久性、電気的絶縁性と測温応答性に優れた温度センサを提供する。
【解決手段】 温度センサ５はアルミナなどのセラミックス製保護管１１内に熱電対２０を装着して構成される。セラミックス製保護管１１は射出成形にて成形され、厚みが一定厚の基部１２と、この基部１２に連続するとともに厚みが先端に向かって徐々に薄くなるテーパ部１３と、このテーパ部１３に連続するとともに最も厚みが薄くなった先端部１４と、前記基部１２とテーパ部１３の境界部付近に設けられるフランジ部１５からなり、前記熱電対２０は銅−コンスタンタン素線２１，２１と、この素線２１，２１の結合部を被覆するガラス玉２２と、コネクタ２３からなる。そして、ガラス玉２２はシリコーン樹脂（ＳｉＯ_２）を主体とした充填材２４にて前記セラミックス製保護管１１の先端部１４内に押し込められて固定されている。 （もっと読む）

半導体処理リアクタ内で使用される熱電対について記載される。熱電対は、端部に測定先端と、他端に開口部と、を有する、シースを含む。長さに沿って形成されるボアを有する支持部材は、シース内に配置される。異種金属から形成される一対のワイヤは、ボア内に配置され、ワイヤの端部は、融合され、接点を形成する。ワイヤは、ボアの長さに沿って延在する。ワイヤが、ボアから延出するにつれて、空間的または物理的に分離され、その間の短絡を防止する。また、ボアから延出するワイヤの両端は、長手方向に自由に熱膨張し、それによって、ワイヤが微量の滑動によって故障する潜在性を低減または排除する。
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【課題】マイクロデバイス等の微小空間内で物質を反応させる装置においては、反応温度の制御といった目的で、流路を流れる流体の正確な温度測定が必要となるが、温度センサを流路内に配置すると流体の流れを乱し、流路の外に配置すると流路内の温度が正確に測定できないといった課題があった。
【解決手段】本発明の温度センサ付流路形成体（１）は、シール金具（１１）と、前記シール金具に測温部（３７）が接合された温度センサ（１２）と、前記シール金具と前記温度センサ（１２）を被覆する断熱部材（１３）を有することで、流路（２１）内で生じた熱を流体の流れを乱すことなく正確に検知することができる。 （もっと読む）

【課題】温度の検出に適した熱起電力が得られる熱電変換半導体を使用した熱電変換温度センサを提供する。
【解決手段】Ｐ型熱電変換半導体１とＮ型熱電変換半導体２とを間に絶縁物４を介在させて導電体３により接続し、かつ、Ｐ型熱電変換半導体１とＮ型熱電変換半導体２との間に空気などの絶縁物４を充填して、これらを断熱容器７に収納した。 （もっと読む）

【課題】 冷凍食品の内部の温度を容易にかつ正確に測定可能な温度センサー及びそれを用いる温度測定方法を提供する。
【解決手段】 温度センサー１００ａ，１００ｂが、温度の変化に応じて電気的な物理量が変化する測温素子２と、電力が供給されて発熱する発熱素子５ａ，５ｂと、前記測温素子と前記発熱素子との各々を保護するための保護管１とを備え、前記保護管が、少なくとも前記測温素子と前記発熱素子との各々を内蔵している。又、温度センサー１００ａ，１００ｂの発熱素子５ａ，５ｂに電力を供給し、加熱した保護管１を被検温体の内部に挿入し、前記発熱素子への電力の供給を停止して測温素子２により被検温体の温度を測定し、その後、前記発熱素子に電力を再び供給して前記保護管を前記被検温体から引き抜く。 （もっと読む）

【課題】溶接等の出力によるシースのパンクを回避でき、取付作業の効率化を図ることができるとともに、溝内に隙間を生じることなく熱電対を埋め込むことができ、温度分布の乱れを回避して温度計測精度の向上を図ることができる管壁への熱電対取付構造及び取付方法を提供せんとする。
【解決手段】凹溝１０を内装されるシース熱電対１のシース径より広い所定幅に設定し、凹溝１０内に嵌着される押さえ板２を設け、該押さえ板２の内面側の略中央部に、シース熱電対１の断面視外側略半分１ａを隙間なく収納するための曲面Ｒ１を備えた第１の収納溝２０を形成するとともに、凹溝１０の底面１０ｃの略中央部に、シース熱電対１の残りの部分である断面視内側略半分１ｂを隙間なく収納するための曲面Ｒ２を備えた第２の収納溝３０を形成し、第１の収納溝２０と第２の収納溝３０の間にシース熱電対１を隙間無く挟み込んだ状態で凹溝１０内に埋め込む構造とした。 （もっと読む）

【課題】容器内にある溶融物の温度がより長期間にわたってできるだけ正確に測定することができる溶融金属用の容器、及び、界面層を決定するための方法を提供する。
【解決手段】溶融金属のための容器であって、容器壁の開口に配置された温度測定装置を有する。温度測定装置は保護シース２を有し、保護シース２は容器内へと突出し、かつ容器内に配置されたその端部で閉じられる。温度測定部材は保護シース２の開口に配置される。保護シース２は、耐熱金属酸化物と黒鉛とからなり、前記閉じた端部は容器壁から少なくとも５０ｍｍ離隔する。容器内の上下に配置された二つの材料間、特にスラグ層と下にある溶鋼との間の界面層を決定するため、材料の変化を特定するためのセンサー７が下方の材料内に配置され、容器からの材料の鋳込み又は流出の間にセンサー７の測定信号が測定され、センサー７が材料間の界面層と接する時に信号の変化が確立される。 （もっと読む）

【課題】シース温度計と保護管との熱的接触を確保し、温度検出における優れた応答性を発揮できるとともに、保護管内へのシース温度計の脱着作業を容易に行うことができ、製造・管理コストも大幅に削減できる温度測定器を提供せんとする。
【解決手段】シース温度計２の外周面２０上の径方向所定角度部位２０ａに、長手方向に沿って外方に湾曲した形状の湾曲形状部５，５を備えるバネ材４を設けて、当該バネ材４の湾曲形状部５，５を保護管内壁３０ａに当接変形させ、その弾性復元力によりシース温度計外周面２０のバネ材４と反対側の部位２０ｂを保護管内壁３０ｂに圧接させた。 （もっと読む）

【課題】 耐久性と測温応答性に優れた温度センサを提供する。
【解決手段】 温度センサ５はアルミナなどのセラミックス製保護管１１内に熱電対２０を装着して構成される。セラミックス製保護管１１は射出成形にて成形され、厚みが一定厚の基部１２と、この基部１２に連続するとともに厚みが先端に向かって徐々に薄くなるテーパ部１３と、このテーパ部１３に連続するとともに最も厚みが薄くなった先端部１４と、前記基部１２とテーパ部１３の境界部付近に設けられるフランジ部１５からなり、前記熱電対２０はＷ−Ｒｅ素線２１，２１と、この素線２１，２１の結合部を被覆抱持するガラス玉２２と、コネクタ２３からなる。そして、ガラス玉２２はシリコーン樹脂（ＳｉＯ_２）を主体とした充填材２４にて前記セラミックス製保護管１１の先端部１４内に押し込められて固定されている。 （もっと読む）

【課題】 高速流体中で使用しても折れや曲がりなどの機械的損傷を受けず、速い応答速度の熱電対を提供することを目的とする。
【解決手段】 金属シース内に無機絶縁材粉末を介在させて＋側熱電対素線と−側熱電対素線とを収容し、＋側熱電対素線と−側熱電対素線との先端どうしを接合して測温点を形成した外径の細いシース熱電対を、外径の太い保護管に先端が露出するようにして挿入した高速流体用高速応答熱電対において、保護管からのシース熱電対の露出部を、複数の貫通窓と先端側にシース熱電対が挿通する孔を設けた底蓋を有する保護筒に挿入し、シース熱電対の先端を保護筒底蓋から短く露出させ、保護筒底蓋とシース熱電対、及び保護筒と保護管下部を溶接した高速流体用高速応答熱電対とした。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路を流れる流体の温度を迅速且つ正確に測定することのできる温度測定デバイスを提供すること。
【解決手段】マイクロ流路（７）を形成する流路形成体（２）と、マイクロ流路（７）を流れる流体の温度を感熱部（３１ａ）により検出する温度センサ（３）とを備えた温度測定デバイス（１）において、流路形成体（２）が低熱伝導性の材料により構成されると共に、温度センサ（３）はマイクロ流路（７）を流れる流体に直接に感熱部（３１ａ）が接するように流路形成体（２）に設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線膨張率が異なる熱電対素線とシースを、シースの線膨張率が熱電対素線の線膨張率よりも大きい条件で組み合わせても、熱電対素線の断線が生じにくいシース熱電対を提供するものである。
【解決手段】シース金属の線膨張率が熱電対素線の線膨張率よりも大きいシース熱電対において、上記熱電対素線３の線膨張率よりも小さい線膨張率を有し、上記熱電対素線３よりも耐断線性の強い金属線７が、上記熱電対素線３と平行にシース２内に収容され、上記シース２内に充填される無機絶縁材６によって固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応答性及び測定精度に優れ、かつ低コストの温度センサを提供する。
【解決手段】本発明の温度センサは、温度を検出する熱電対と、この熱電対を内部に納める細管とを備え、当該細管を、直線状態からその一部を加熱して折り曲げると共に、前記熱電対が、前記細管のうち前記加熱して折り曲げる部分に設けられたことを特徴とする。温度センサの製造方法は、直線状の前記細管のうち加熱して折り曲げる部分に前記熱電対を配置して、当該熱電対の位置する部分で前記細管を加熱して折り曲げることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、かつ低コストで、検出温度のバラツキを抑える。
【解決手段】温度を検出する複数の熱電対と、この熱電対を内部に納める保護管とを備えた多点温度センサである。前記各熱電対を支持した状態で前記保護管内に挿入されて固定される支持部材と、当該支持部材に設けられ、前記各熱電対を前記保護管内の設定位置で前記支持部材に固定する固定部とを備えた。前記固定部は、各設定位置の周囲に前記熱電対の２本の金属線をかける切り欠きや、各設定位置に前記熱電対の２本の金属線を通す２つの孔等を備えた。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対する温度追従性を維持しつつ、機械的強度の劣化を抑制する温度センサ素子及び温度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】所定の厚みを有する厚肉部１０２ｘと厚肉部より厚みが薄い薄肉部１０２ｙとを含む基板１０２ｄと、基板１０２ｄ上に形成された電気絶縁膜１０２ａと、厚肉部１０２ｘ上の電気絶縁膜１０２ａの上に形成された第１の熱電対膜１０２ｂと、薄肉部１０２ｙ上の電気絶縁膜１０２ａの上を横切って形成された第２の熱電対膜１０２ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶融金属を低コストで、応答性よく正確に、しかも連続的に測温することができる測温装置を提供する。
【解決手段】セラミックスを基材とし先端部が閉塞された中空部１４を有する筒形状の保護管１１と、この保護管１１の中空部１４に配置された温度測定用センサ２０とを備え、溶融金属を収容する溶融容器を構成する耐火煉瓦３の内側に積層される耐火部材４に埋め込み可能な測温装置１０であって、保護管１０の後端に保護管１１を耐火煉瓦３に固定できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】ＧＴＬやＤＭＥ生成装置などの高温域且つ炭素活量の多い状況の温度計測においても、浸炭やメタルダスティングに耐えることができ、測定誤差を生じることなく長期間使用できるシース熱電対を提供せんとする。
【解決手段】金属シース１０は内側シース１１と外側シース１２とからなる二重管構造であり、外側シース１２は、Ｃｒが２７〜３１ｗｔ％含有した高クローム−ニッケル耐熱合金、またはＡｌが３〜４．５ｗｔ％含有したフェライト系ステンレス鋼より構成した。金属シース先端側の気密封止は、内側シース１１先端を当該シースと同材料からなるプラグ材で封止するとともに、該シース先端から延出した外側シース１２先端部位を溶融させ、前記プラグ材と一体溶接して先端封止部を形成した。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理炉における温度計の損傷を防止し、温度計の長寿命化を図る。
【解決手段】被処理体２を収納する処理室Ｓ２に、被処理体２のダミー１２０を備えた。被処理体２とダミー１２０にはそれぞれ同一極性の電極を接続し、被処理体２の周囲に配置されている放電用導体物５１には、被処理体２に接続される電極に対して反対極性の電極を接続した。また、ダミー１２０の温度を測定する温度計１２１と、温度計１２１を被覆する温度計被覆体１２２を設けた。ダミー１２０は、温度計被覆体１２２によって温度計１２１及び放電用導体物５１から電気的に絶縁されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】高温における耐久性に優れ、長時間使用することができ、かつ、低コストである保護管を備えており、焼成炉の測温に好適に用いることができる熱電対を提供する。
【解決手段】中空筒形状の保護管２内に、２本の素線がそれぞれ筒状の磁製管３により被覆されて配置されている焼成炉用熱電対１において、前記保護管２および磁製管３を、純度９９．９％以上、平均結晶粒径４０μｍ以上５０μｍ以下のイットリアセラミックスにより構成する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の発電性能を悪化させることを防止すると共に検出精度の向上を図る。
【解決手段】熱電対式温度センサ５０は、熱電対素線５１，５２を接合し、全体を被覆層５４にて被覆したものである。被覆層５４は、熱電対素線５１，５２の外周を被覆する第１の被覆層５４ａと、第１の被覆層５４ａの外周をさらに被覆する第２の被覆層５４ｂとから構成される。第１の被覆層５４ａは、ポリイミド膜により形成されており、絶縁性を有するとともに、固体高分子型である燃料電池１０の動作温度下で３．０ＭＰａの応力を受けても損傷しない程度の機械的強度を維持する構成となっている。第２の被覆層５４ｂは、ガス不透過な緻密部材によって形成されており、Ｃｒ（クロム）膜により形成されている。 （もっと読む）