【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配設でき安価に実施できるうえ、配管など被測定物の歪や温度等を長期にわたって正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、中間部を連続繊維(３)で製紐された筒状の紐体(５)内に収容してある。紐体(５)の内周長は光ファイバ(２)の外周長よりも長く、一部が光ファイバ(２)の外周面に当接され、残部が紐体(５)の内周面同士で互いに当接してある。紐体(５)の外周面に、紐体(５)の長さ方向に延びた着座面(16)が形成してある。着座面(16)を被測定物(14)の表面へ当接した状態で、固定部材(17)で光ファイバセンサ(１)を被測定物(14)側へ押圧して固定する。光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、被測定物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配置でき安価に実施できるうえ、コンクリート構造物の歪や温度等を簡単に且つ正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、長さ方向の中間部が、連続繊維(３)で製紐された紐体(５)により被覆してある。光ファイバ(２)には、紐体(５)で覆われた部位に１又は複数のＦＢＧ(９)が形成してある。光ファイバ(２)の端部をコンクリート構造物(14)の表面に取り出した状態で、コンクリート構造物(14)の内部に、光ファイバセンサ(１)の中間部を一体的に埋設する。取り出された光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、コンクリート構造物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの後方散乱光の強度から温度分布を測定する温度測定装置では、後方散乱光の強度を電気信号に変換する光電変換部で発生する波形歪みのために、正確な温度分布を測定できなかった。本発明は、簡単な構成で波形歪みを補正し、正確な温度分布を測定できる温度測定装置を提供することを目的にする。
【解決手段】光電変換部の出力信号を増幅する増幅部、あるいは光電変換部内のＩ−Ｖ変換部に、波形歪みを補正する波形整形部を内蔵するようにした。波形整形部はコンデンサあるいはインダクタと抵抗のみで構成できるので、簡単な構成で波形歪みを補正して正確な温度分布を測定できる。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】ファイバの温度分布の双方向測定を行うときに、ファイバの損失が変化したとしても、正確な温度分布の測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明のファイバ温度分布測定装置は、ラマン散乱光を利用してファイバ２の温度分布を測定するファイバ温度分布測定装置であって、ファイバ２の先端と後端とを光スイッチ３に接続して双方向ファイバとして、ファイバ２の光スイッチ３から同じ距離にファイバ２に設けられる温度が同一である同一温度区間３０と、同一温度区間３０におけるストークス光の強度Ｉｓｔとアンチストークス光の強度Ｉａｓとの強度比に基づいて、ファイバ２の温度分布を測定する演算部２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】多点計測時の異常検出を低コストで行うことを実現した物理量計測システムを提供することを目的とする。
【解決手段】温度計測システム１０は、ＦＢＧ２１〜３０が設けられた光ファイバ１１、光ファイバ１１に接続される計測装置１２、及び光ファイバ１１に入射光を出力する光源を備えている。ＦＢＧ２１〜３０は、全て同様に加工されたものであり、互いに同一となる反射帯域を有している。また、光源１４は、ＦＢＧ２１〜３０の反射帯域を含む広帯域の光を光ファイバ１１に出力する。計測装置１２は、ＦＢＧ２１〜３０からの反射光の全体的なスペクトルの総光量を検出しており、この総光量に基づいて、各ＦＢＧ２１〜３０が配置されている電池セルＶ１〜Ｖ１０の異常判別が行われる。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】必要な時に光ファイバーの補修、交換が可能な高炉の炉底耐火物の温度測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】炉底耐火物１２中に直線状の耐熱金属製の保護管１３を、保護管１３の両端が炉底耐火物１２及び鉄皮２０から突出する状態で複数本配置すること、保護管１３内には耐熱金属製のチューブ１４に収納された光ファイバー１５が挿通していること、鉄皮２０から突出した各保護管１３は鉄皮２０から突出する案内管２１、２４を通じて耐圧構造の中継箱２５内に導かれること、保護管１３に挿入された各光ファイバー１５が中継箱２５内で直列接続されていること、各光ファイバー１５は融着接合されていること、及び直列に接続された光ファイバー１５の端部には光制御部が接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】メモリサイズを増やすことなく、より遠方の温度測定を可能とする光ファイバ温度測定装置を実現する。
【解決手段】被測定対象に沿って所定長に敷設された光ファイバに、タイミング信号に同期して光パルスを入射させて得られる後方散乱光の２成分の夫々を受光した電気信号をＡ／Ｄ変換し、平均処理を実行する信号処理部を介してデータ記憶メモリに保持させ、このデータ記憶メモリから読み出される２成分のデータを演算して温度信号に変換する光ファイバ温度測定装置において、
前記タイミング信号の発生より所定の遅延時間経過まで、前記信号処理部の処理を停止させる遅延時間発生回路を備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザが温度分布を見ながら適切なＬｏｓｓ値をより容易かつ正確に設定できるような補助機能を備える光ファイバ温度分布測定装置を実現する。
【解決手段】所定長に敷設された光ファイバ１０の一端側から光パルスを入射し、前記光ファイバから得られる後方ラマン散乱光よりストークス光とアンチストークス光を抽出して夫々の強度を電気信号に変換した受信信号レベルと、前記一端側で測定される基準温度信号を入力する演算制御部８０により前記所定長の温度分布を演算し、前記温度分布を表示する表示手段９０と、前記温度分布を示す複数のデータに基づいて近似直線を演算して前記表示手段に表示させる近似直線生成手段１００と、前記ストークス光とアンチストークス光のファイバ伝送損失差を補正するための補正信号を入力して前記近似直線を既知の温度分布特性に一致させるための温度分布補正手段２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の処理チャンバー内の温度測定対象物の温度を同時に測定することのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を複数の測定用の光に分けるための第１光分離手段と、複数の測定用の光を夫々測定光と参照光に分けるための複数の第２光分離手段と、測定光をｎ個の第１〜第ｎ測定光に分けるための第３光分離手段と、複数の参照光を夫々反射するための参照光反射手段と、参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための１つの光路長変化手段と、温度測定対象物から反射する第１〜第ｎ測定光と、参照光反射手段から反射する複数の参照光との干渉を測定するための複数の光検出器とを備えた温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置の載置台や上部電極に孔を設けることなく、低コヒーレンス干渉計を利用して処理室内の温度測定対象物の温度を測定することができ、より精度良くかつ均一に基板のプラズマ処理を行うことのできるプラズマ処理装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源側窓の外側に光源側コリメータを配置するとともに受光側窓の外側に受光側コリメータを配置し、光源側コリメータから射出された測定光が光源側窓を透過し、温度測定対象物の表面に斜めに照射され、反射された測定光が受光側窓を透過し、受光側コリメータに入射するようにして処理室内の温度測定対象物の温度を低コヒーレンス干渉計を利用して測定可能とされたプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】超電導特性を低下させること無く、超電導コイルの常電導転移（クエンチ）を良好な精度で検知可能な超電導コイル装置、及び超電導コイルの常電導転移の検出方法の提供。
【解決手段】本発明の超電導コイル装置２０は、高温超電導線材を巻回した複数のコイル１１と、導電性の冷却板１２と、ＦＢＧ（ファイバブラッググレーティング）方式の光ファイバとを備え、複数のコイル１１が同軸的に積層され、これら複数のコイル１１の積層方向に少なくとも１つのコイル１１に接するように冷却板１２が配置され、冷却板１２にコイル１１の周方向に沿って形成された収納溝に前記光ファイバが収納されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱を利用して低価格で精度が優れ応答性が高く使いやすい光ファイバ温度分布測定装置を得る
【解決手段】光ファイバ内で発生するラマン散乱光のストークス光及びアンチストークス光に基づいて温度分布測定を行う装置において、λ１及びλ２（＞λ１）を含む連続光が光ファイバに入射されたときに、第１の波長λ１の連続光で発生する第１のストークス光の波長λ１ｓと、第２の波長λ２の連続光で発生する第２のアンチストークス光の波長λ２ａとが共に、λ１＜λ１ｓ＜λ２，λ１＜λ２ａ＜λ２を満たすとともに、λ１ｓとλ２ａとがほぼ同一となる連続光を共通のＰＮ符号でデジタル変調して光ファイバに送出し、光ファイバからラマン散乱光を含む後方散乱光をＰＮ符号でＰＮ復調して、時間領域でλ１ｓ成分とλ２ａ成分とを分離検出して第１のレベル比を算出して光ファイバの長手方向における温度分布特性を出力する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを高精度に配置でき、展開および折り畳みが容易に行える温度測定システムを提供する。
【解決手段】開口を有する固定形状の２個以上の支持部材13と、２個以上の支持部材を回動可能に連結する連結部材15aと、２個以上の支持部材に配設された光ファイバ12と、光ファイバからの後方散乱光を受信して光ファイバの温度分布を測定する温度測定部17と、を備える温度測定システム。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】
ＦＢＧセンサを用いた計測方法およびその装置において、1箇所のＦＢＧセンサに対して歪みと温度を感知するＦＢＧ部と温度のみを感知するＦＢＧ部に分けることで、歪みと温度を同時計測することができるようにする。
【解決手段】
コアに回折格子を形成した光ファイバの一部を被測定物の歪みに依存する状態で固定し、コアに回折格子を形成した光ファイバの他の部分を被測定物の歪みに依存しない状態で固定し、光ファイバの被測定物の歪みに依存する状態で固定した部分から検出された信号と光ファイバの被測定物の歪みに依存しない状態で固定した部分から検出された信号とを用いて被測定物のひずみと温度とを計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物上に薄膜が形成されている場合でも、測定対象物の温度を従来に比べて正確に測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を、基板上に薄膜が形成された測定対象物の測定ポイントまで伝送する工程と、基板の表面での反射光による第１の干渉波と、基板と薄膜との界面及び薄膜の裏面での反射光による第２の干渉波を測定する工程と、第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を算出する工程と、第２の干渉波の強度に基づいて、薄膜の膜厚を算出する工程と、算出した薄膜の膜厚に基づいて、基板の光路長と算出した光路長との光路差を算出する工程と、算出した光路差に基づいて算出した第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を補正する工程と、補正された光路長から測定ポイントにおける測定対象物の温度を算出する工程と、を備える。 （もっと読む）