【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】超電導特性を低下させること無く、超電導コイルの常電導転移（クエンチ）を良好な精度で検知可能な超電導コイル装置、及び超電導コイルの常電導転移の検出方法の提供。
【解決手段】本発明の超電導コイル装置２０は、高温超電導線材を巻回した複数のコイル１１と、導電性の冷却板１２と、ＦＢＧ（ファイバブラッググレーティング）方式の光ファイバとを備え、複数のコイル１１が同軸的に積層され、これら複数のコイル１１の積層方向に少なくとも１つのコイル１１に接するように冷却板１２が配置され、冷却板１２にコイル１１の周方向に沿って形成された収納溝に前記光ファイバが収納されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ひとつのセンシングシステムで、多様な物理量のセンサがサポートでき、且つ、複数地点での多様な物理量が同時に観測できるシステムを提供すること。
【解決手段】本発明では、ＰＮ符号で変調された出射光を、光源部から異なる光路長の地点にそれぞれ配設された複数の光ファイバセンサから構成されたセンサ群に出射し、反射応答光とＰＮ符号との相互相関処理によって複数の光ファイバセンサ毎の反射応答信号を得るように構成される光ファイバセンシングシステムにおいて、センサ群は、異なる物理量を検出し得る少なくとも１つ以上の方式に対応した光ファイバセンサを含み、光源部は、異なる遅延時間の遅延ＰＮ符号で変調され、光ファイバセンサに適合した複数種類の出射光を送出する複数の光源を備え、処理部は、センサ群からの反射応答光のデジタル信号と遅延ＰＮ符号との相互相関処理によってセンサ群の反射応答信号を得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】光路長を設定するための煩雑な操作が不要で、且つ温度測定対象物の制約が少なく、適用範囲の広い温度測定用プローブを提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光の干渉を利用した温度測定用プローブであって、温度測定対象物の表面に当接されて温度測定対象物と熱的に同化する当接部材７１と、当接部材７１に低コヒーレンス光からなる測定光７４を照射し、当接部材７１の表面からの反射光７５ａ及び裏面からの反射光７５ｂをそれぞれ受光するコリメータ７２と、当接部材７１及びコリメータ７２との間隔を所定の長さに規定すると共に、測定光７４及び反射光７５ａ、７５ｂの光路を測定対象物が置かれた雰囲気から隔離する筒状部材７３とを有する温度測定用プローブ。 （もっと読む）

【課題】簡便に温度検知を行える温度検知機構、および、その温度検知機構を搭載したガスセンサ、火災検知装置を提供する。
【解決手段】光源１から検出器１５に光を導く光路１１を設け、光路１１に、一対のＦＢＧ１２，１３を設け、光源１からの照射光を、波長幅がＦＢＧ１２，１３の通常動作温度における反射ピーク波長を含む広帯域光とし、検出器１５に導入される閾値以上の波長の光を遮断するフィルタ部Ｆを設け、検出器１５に到達した光線波長に基づき、雰囲気温度を求める処理部３を設けた。 （もっと読む）

【課題】エバネッセント光学センサが、光ファイバまたは光マイクロファイバのいずれかのコイルとして形成されること。
【解決手段】ファイバ／マイクロファイバをコイル状に巻くことによって、「直線経路」の従来技術のファイバ・センサに比較すると、センサの全体的な大きさは著しく抑えられ、さらには同程度の感度を示す。動作中、光信号が、解析すべき周囲内に浸漬されたファイバ・コイルに結合される。コイル構成の使用は、コイルを形成する湾曲したファイバ／マイクロファイバの表面から反射することによって、コイルに沿って伝搬することになる複数のウィスパリング・ギャラリ・モード（ＷＧＭ）の生成を結果的にもたらす。これらのモード間の干渉は、コイルがその中に浸漬される周囲環境の特性の関数として修正されることになる。環境的変化が、様々なモードによって「見られる」コイルの光路長の変動をもたらし、モードの干渉は、コイルの出力における透過スペクトルを考察することによって解析される。 （もっと読む）

【課題】温度、湿度、液体・蒸気の種類、濃度等の同一センサヘッドでの測定、複数のセンサヘッドでの同時測定が可能であり、センサヘッドが極めて小さく、耐久性が高く、且つ、安価な光ファイバセンサ装置を実現する。
【解決手段】向するテーパファイバ対１１と、非テーパ部１２と、反射器１３とを具備したセンサ部１に光を入射し、反射光を受光する。反射光はモード間干渉、結合の結果、周期的スペクトルとなり、温度、周囲物質の屈折率によりスペクトルの位相、振幅が変化する。スペクトル変化に伴い反射光量も変化するので、光量変化を検出して所望の物理量を測定する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で高精度にロータの温度を測定し、永久磁石の温度を推定することが可能な電動機のロータ温度測定装置を提供する。
【解決手段】円筒状に形成されてロータ１４の端面１４ａに密着固定され、光を透過するとともに温度変化に応じて屈折率が変化する透明リング１８と、透明リング１８の軸方向に直交するように且つ透明リング１８の外周面１８ａに所定の入射角θｉ₁で入射するようにレーザ光１を出射する発光部１９と、透明リング１８を透過したレーザ光１を受光するように配置され、レーザ光１が入射する位置に応じて異なる電気信号を出力する受光部２０と、受光部２０から出力される電気信号に基づいてロータ１４の温度を求める演算処理部２３とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてより精度良く温度を測定することができ、より精度良くかつ効率良く基板処理等を行うことのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源１１０からの光を測定光と参照光とに分けるための第１スプリッタ１２０と、参照光を反射するための参照光反射手段１４０と、参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段１５０と、参照光反射手段１４０からの反射参照光を分けるための第２スプリッタ１２１と、温度測定対象物１０からの反射測定光と反射参照光との干渉を測定するための第１光検出器１６０と、反射参照光のみの強度を測定するための第２光検出器１６１と、第１光検出器１６０の出力から第２光検出器１６１の出力を減算した後、干渉位置を算出し温度を算出するコンとローラ１７０とを具備した温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】マイクロ化学システムの温度測定などに好適な、非接触で流体の温度を測定する、応答速度の速い測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】マイクロ化学チップ１０では、透明基板１の下部１ａと上部１ｂとの間に、溶媒や反応溶液などの液体２を流す流路３を設ける。流路３にはポンプ４および加熱部５を配置し、所定の温度に加熱した液体２を、化学的処理を行う温度測定領域６へ流す。温度測定領域６には、液体２と透明基板上部１ｂとの界面１１に、所定の入射角θで入射光１２を入射させ、界面１１で反射された反射光１３の光量を測定する。この際、界面１１での反射が不完全反射から全反射に変化する現象を利用することによって、液体２の温度を鋭敏に検知することができる。また、液体２の温度と反射光の光量との関係を示す参照用データを実測しておき、この参照用データに基づいて液体２の温度を正確に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの電界と温度とを一つの測定装置により測定できるようにして、迅速かつ低コストにLSIチップ/パッケージの電気/熱設計のデータを提供できるようにする。
【解決手段】レーザ光源１００と、ファイバアンプ１０２と、偏光コントローラ１０３と、EOセンサ１０５と、検光子１１５と、光サーキュレータ１０４と、電界検出用のフォトディテクタ１１７と、温度検出用の光スペクトラムアナライザ１１９と、検光子１１５の出射光を分岐するカプラ１１６と、各素子を連結する光ファイバ１０１と、RFスペクトラムアナライザ１１８とから構成され、EOセンサ１０５の電気光学効果を電界測定に、また光共振特性を温度測定に利用する。 （もっと読む）

温度、歪み、光エネルギー強度、電解教祖、および磁界強度のような関心パラメータ（122）を測定するセンサとして使用される光ファイバ（100）が提供される。1または2以上の光格子（114-1）を有する光透過性のコア（102）の上に、第1の光クラッド層光ファイバ（104）が設置される。光格子（114-1）は、コア（102）を通って伝播する光の選択波長の伝播経路を調整する。また、光格子（114-1）は、第1の光クラッド層（104）の屈折率を変化させる。光の選定波長は、コア材料105に付与される関心パラメータ122に依存し、光格子（114-1）によって変化する、コア材料105の屈折率によって、ある程度定められる。1または2以上の検出器（410、430、450、455）を用いて、反射光および／または透過光の特性が定められる。反射光および／または透過光の特性を把握することにより、関心パラメータ（122）が定められる。
（もっと読む）

【課題】高精度に温度を計測する際に好適に用いられ得る光導波路型デバイスを提供する。
【解決手段】光導波路型デバイス１０は、基板１００上に光導波路１１１〜１１４が形成されていて、光導波路１１１と光導波路１１２とが光カプラ１２１および光カプラ１２２それぞれにおいて光結合されていて第１マッハツェンダ干渉計を構成し、光導波路１１３と光導波路１１４とが光カプラ１２３および光カプラ１２４それぞれにおいて光結合されていて第２マッハツェンダ干渉計を構成している。光導波路１１２の一部区間１１２Ｂのコアの屈折率の温度依存性は、光導波路１１１および光導波路１１２の他の光導波路部分１１２Ａ，１１２Ｃと異なる。光導波路１１４の一部区間１１４Ｂのコアの屈折率の温度依存性は、光導波路１１３および光導波路１１４の他の光導波路部分１１４Ａ，１１４Ｃと異なる。区間１１２Ｂの長さと区間１１４Ｂの長さとは互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】正確に温度を計測する際に好適に用いられ得る光導波路型デバイスを提供する。
【解決手段】光導波路型デバイス１０は、基板１００に光導波路１１１，１１２が形成されていて、光導波路１１１と光導波路１１２とが光カプラ１２１および光カプラ１２２それぞれにおいて光結合されていてマッハツェンダ干渉計を構成している。マッハツェンダ干渉計において第１光カプラ１２１と第２光カプラ１２２との間で、第２光導波路１１２の一部区間１１２Ｂのクラッドの屈折率の温度依存性は、第１光導波路１１１および第２光導波路１１２の他の光導波路部分１１２Ａ，１１２Ｃと異なる。 （もっと読む）

【課題】 ホログラム記録再生媒体の温度を検出する。
【解決手段】 ホログラフィを利用してホログラム記録層１３に情報を記録するホログラム記録再生媒体１０の温度検出装置において、ホログラム記録層１３に所定の入射角度θ０で入射し、ホログラム記録層１３を透過する光ビームＢＴを出射する光源Ｌと、ホログラム記録層１３を透過した光ビームを受光するフォトディテクタＤと、を備え、フォトディテクタＤで受光される光ビームＢＴの位置の変化からホログラム記録再生媒体の温度検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 装置取付けの手間を軽減し，各測定対象物に測定光を通すための孔を形成することなく，複数の測定対象物の温度又は厚さを一度に測定可能とする。
【解決手段】 各測定対象物Ｔ_１〜Ｔ_ｎを透過し反射する波長を有する光を照射する光源１１０と，光源からの光を測定光と参照光とにスプリットするためのスプリッタ１２０と，スプリッタからの参照光を反射するための参照光反射手段（例えば参照ミラー）１４０と，参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段（例えば参照ミラーを駆動する駆動手段１４２）と，スプリッタからの参照光を参照光反射手段へ向けて照射する際に参照光反射手段から反射する参照光と，スプリッタからの測定光を複数の測定対象物へ向けて各測定対象物を透過するように照射する際に各測定対象物から反射する各測定光との光の干渉を測定するための受光手段１５０とを備えた。 （もっと読む）

サンプル（２１）の温度を測定する方法であって、プロービング光ビーム（１２，２２，３２）をサンプルに当て、プロービング光ビームの少なくとも２つの部分ビームが、サンプル中の少なくとも２つの互いに異なる深さレベルから後方散乱し又は反射することによりサンプル内部の互いに異なる長さの経路を通り、後方散乱又は反射した部分ビームを分析ユニットに戻し、基準光ビームとして一方のビームを用いる干渉デバイスにより干渉モデルを作成し、作成した干渉モデルを評価ユニットで評価し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を光路長に対して求めてサンプルの温度シフト及び温度を信号強度の温度シフトから求めることを特徴とする。
（もっと読む）

本発明は、低コヒーレンス干渉法に基づくタンデム干渉計光センサシステムによって物理量を測定するための方法とシステムとを提供する。本システムは、光システムとセンシング干渉計と偏光読み出し干渉計とを備える。本発明は、単一の複屈折楔を備える偏光干渉計を提供する。本発明はまた、分散補償型光センサシステムに備えている。本発明はまた、ｘカット方位を有するＬ_iＢ₃Ｏ₅結晶内に軌道を備える温度に高感度である干渉計を提供する。
（もっと読む）