【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの後方散乱光の強度から温度分布を測定する温度測定装置では、後方散乱光の強度を電気信号に変換する光電変換部で発生する波形歪みのために、正確な温度分布を測定できなかった。本発明は、簡単な構成で波形歪みを補正し、正確な温度分布を測定できる温度測定装置を提供することを目的にする。
【解決手段】光電変換部の出力信号を増幅する増幅部、あるいは光電変換部内のＩ−Ｖ変換部に、波形歪みを補正する波形整形部を内蔵するようにした。波形整形部はコンデンサあるいはインダクタと抵抗のみで構成できるので、簡単な構成で波形歪みを補正して正確な温度分布を測定できる。 （もっと読む）

【課題】ファイバの温度分布の双方向測定を行うときに、ファイバの損失が変化したとしても、正確な温度分布の測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明のファイバ温度分布測定装置は、ラマン散乱光を利用してファイバ２の温度分布を測定するファイバ温度分布測定装置であって、ファイバ２の先端と後端とを光スイッチ３に接続して双方向ファイバとして、ファイバ２の光スイッチ３から同じ距離にファイバ２に設けられる温度が同一である同一温度区間３０と、同一温度区間３０におけるストークス光の強度Ｉｓｔとアンチストークス光の強度Ｉａｓとの強度比に基づいて、ファイバ２の温度分布を測定する演算部２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】多点計測時の異常検出を低コストで行うことを実現した物理量計測システムを提供することを目的とする。
【解決手段】温度計測システム１０は、ＦＢＧ２１〜３０が設けられた光ファイバ１１、光ファイバ１１に接続される計測装置１２、及び光ファイバ１１に入射光を出力する光源を備えている。ＦＢＧ２１〜３０は、全て同様に加工されたものであり、互いに同一となる反射帯域を有している。また、光源１４は、ＦＢＧ２１〜３０の反射帯域を含む広帯域の光を光ファイバ１１に出力する。計測装置１２は、ＦＢＧ２１〜３０からの反射光の全体的なスペクトルの総光量を検出しており、この総光量に基づいて、各ＦＢＧ２１〜３０が配置されている電池セルＶ１〜Ｖ１０の異常判別が行われる。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して温度を適切に測定することができる温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測システム１は、光源１０、分光器１４、光伝達機構１１，１２、光路長算出部１６及び温度算出部２０を備える。光源１０は、測定光を発生させる。光伝達機構１１，１２は、測定対象物１３の表面１３ａ及び裏面１３ｂからの反射光を分光器１４へ出射する。分光器１４は、反射光の強度分布である干渉強度分布を測定する。光路長算出部１６は、フーリエ変換し光路長を算出する。温度算出部２０は、光路長と温度との関係に基づいて測定対象物１３の温度を算出する。光源１０は、分光器１４の波長スパンΔｗに基づいた条件を満たす半値半幅Δλの光源スペクトルを有する。分光器１４は、波長スパンΔｗと計測最大厚さｄとに基づいた条件を満たすサンプリング数Ｎ_ｃで強度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】ユーザが温度分布を見ながら適切なＬｏｓｓ値をより容易かつ正確に設定できるような補助機能を備える光ファイバ温度分布測定装置を実現する。
【解決手段】所定長に敷設された光ファイバ１０の一端側から光パルスを入射し、前記光ファイバから得られる後方ラマン散乱光よりストークス光とアンチストークス光を抽出して夫々の強度を電気信号に変換した受信信号レベルと、前記一端側で測定される基準温度信号を入力する演算制御部８０により前記所定長の温度分布を演算し、前記温度分布を表示する表示手段９０と、前記温度分布を示す複数のデータに基づいて近似直線を演算して前記表示手段に表示させる近似直線生成手段１００と、前記ストークス光とアンチストークス光のファイバ伝送損失差を補正するための補正信号を入力して前記近似直線を既知の温度分布特性に一致させるための温度分布補正手段２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサーと測定対象物との間の接着剤の厚さを均一に保持し、接着剤の接着力を均一に保つと共に、測定対象物と接着剤の間や接着剤とセンサーの間で、熱膨張差による接着剤の剥離現象が生じるのを防止する。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１３に接着剤１４を介して取り付けられるセンサー１０であって、検知部を有するセンサー本体１１と、センサー本体１１をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２と、を備え、ブロック体１２は接着剤１４と同一のセラミック系接着剤から構成され、ブロック体１２の測定対象物１３側には接着剤１４の接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エージングのための設備の設置スペースや設置数の削減を図り、容易且つ確実にエージングを行うことができ、計測精度の向上を図ると共に信頼性を高める。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１４に接着剤１５を介して取り付けられるエージング機能付きセンサー１０であって、センサー本体１１と、センサー本体１１に近接して配設される電熱ヒーター１３と、をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２を備え、ブロック体１２の測定対象物１４側には接着剤１５が塗布される接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空調改善システムにおいて空調の効率を改善すること。
【解決手段】温度測定エリア１内に敷設された光ファイバ２４に接続されて温度測定エリア１内の実温度分布Tを測定する光ファイバ式温度測定部３０と、温度測定エリア１内に設置された空調機３のルーバ７の向きの補正量（Δx_n、Δy_m）を算出する算出部４１とを備え、算出部４１が、ルーバ７の向きを補正する前と比較して、温度測定エリア１の目標温度分布T0と実温度分布TとのずれSが小さくなるように補正量（Δx_n、Δy_m）を算出することを特徴とする空調改善システムによる。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中のプローブ光のみを反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】比較的安価な構成で光ファイバの線路損失を測定でき、常に正確な温度分布を測定できる装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバをセンサとして用い、ラマン後方散乱光を利用して前記光ファイバに沿った温度分布を測定するように構成された光ファイバ温度分布測定装置において、
波長λ_STのストークス光が受ける光ファイバの線路損失と波長λ_ASのアンチストークス光が受ける光ファイバの線路損失を測定するための出力波長λ_STと出力波長λ_ASを含む広帯域光源を設け、
これら光ファイバの線路損失測定結果に基づき、前記光ファイバに沿った温度分布の測定結果に含まれる前記光ファイバの線路損失の変動を補正することを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスの正確な温度測定技術を提供する。
【解決手段】温度検知要素により、正確なその場温度測定を可能にする。温度検知要素は、プロセスチャンバ３０２内に配置される。温度検知要素は、空洞３０６を有しており、空洞の開口部を覆うように透明カバー３１０が配置されている。材料３０８が、温度検知要素の空洞内に配置され、センサ３１２が、透明カバーを通して材料の相変化を検知するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で且つ高周波数分解能を有する分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、空間分解能に基づく第１パルス光ｆ_１と周波数分解能の逆数に基づく第２パルス光ｆ_２とを位相差θを設けて合成した検査光ｆを光ファイバ１２の一端部１２ａに射出する検査光生成部２６，２７と、一端部１２ａから射出されるブリルアン散乱現象に係る光からスペクトルＶを検出する検出部３０と、ブリルアン周波数シフト量を計測する計測部４０と、を備え、検査光生成部２６，２７は、位相差θが異なる複数の検査光ｆを生成し、検出部３０は、ブリルアン散乱現象に係る光から各検査光ｆに対応するスペクトルＶをそれぞれ求める検波部３１と、スペクトルＶ同士を合成する合成部３６と、を有し、計測部４０は、合成スペクトルＶ_Ｓに基づいて前記周波数シフト量を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱のスペクトラムの広がりに起因する温度誤差を小さくできる光ファイバ温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバをセンサとして用い、ラマン後方散乱光を利用して前記光ファイバに沿った温度分布を測定するように構成された光ファイバ温度分布測定装置において、
前記センサとして用いる光ファイバの近傍に設けた基準温度測定手段と、この基準温度測定手段の温度測定データをパラメータとする補正式を用いて測定温度を補正する基準温度利用温度補正手段と、ラマン散乱スペクトラムの広がりによる温度計算誤差を補正するスペクトラム広がり分布補正手段と、前記基準温度利用温度補正手段で補正された温度値に対し、前記スペクトラム広がり分布補正手段によりあらかじめ求めておいたスペクトラム分布の広がりによる補正値による補正を行う温度誤差補正手段、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）