【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】ファイバの温度分布の双方向測定を行うときに、ファイバの損失が変化したとしても、正確な温度分布の測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明のファイバ温度分布測定装置は、ラマン散乱光を利用してファイバ２の温度分布を測定するファイバ温度分布測定装置であって、ファイバ２の先端と後端とを光スイッチ３に接続して双方向ファイバとして、ファイバ２の光スイッチ３から同じ距離にファイバ２に設けられる温度が同一である同一温度区間３０と、同一温度区間３０におけるストークス光の強度Ｉｓｔとアンチストークス光の強度Ｉａｓとの強度比に基づいて、ファイバ２の温度分布を測定する演算部２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】多点計測時の異常検出を低コストで行うことを実現した物理量計測システムを提供することを目的とする。
【解決手段】温度計測システム１０は、ＦＢＧ２１〜３０が設けられた光ファイバ１１、光ファイバ１１に接続される計測装置１２、及び光ファイバ１１に入射光を出力する光源を備えている。ＦＢＧ２１〜３０は、全て同様に加工されたものであり、互いに同一となる反射帯域を有している。また、光源１４は、ＦＢＧ２１〜３０の反射帯域を含む広帯域の光を光ファイバ１１に出力する。計測装置１２は、ＦＢＧ２１〜３０からの反射光の全体的なスペクトルの総光量を検出しており、この総光量に基づいて、各ＦＢＧ２１〜３０が配置されている電池セルＶ１〜Ｖ１０の異常判別が行われる。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】メモリサイズを増やすことなく、より遠方の温度測定を可能とする光ファイバ温度測定装置を実現する。
【解決手段】被測定対象に沿って所定長に敷設された光ファイバに、タイミング信号に同期して光パルスを入射させて得られる後方散乱光の２成分の夫々を受光した電気信号をＡ／Ｄ変換し、平均処理を実行する信号処理部を介してデータ記憶メモリに保持させ、このデータ記憶メモリから読み出される２成分のデータを演算して温度信号に変換する光ファイバ温度測定装置において、
前記タイミング信号の発生より所定の遅延時間経過まで、前記信号処理部の処理を停止させる遅延時間発生回路を備える。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の処理チャンバー内の温度測定対象物の温度を同時に測定することのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を複数の測定用の光に分けるための第１光分離手段と、複数の測定用の光を夫々測定光と参照光に分けるための複数の第２光分離手段と、測定光をｎ個の第１〜第ｎ測定光に分けるための第３光分離手段と、複数の参照光を夫々反射するための参照光反射手段と、参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための１つの光路長変化手段と、温度測定対象物から反射する第１〜第ｎ測定光と、参照光反射手段から反射する複数の参照光との干渉を測定するための複数の光検出器とを備えた温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置の載置台や上部電極に孔を設けることなく、低コヒーレンス干渉計を利用して処理室内の温度測定対象物の温度を測定することができ、より精度良くかつ均一に基板のプラズマ処理を行うことのできるプラズマ処理装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源側窓の外側に光源側コリメータを配置するとともに受光側窓の外側に受光側コリメータを配置し、光源側コリメータから射出された測定光が光源側窓を透過し、温度測定対象物の表面に斜めに照射され、反射された測定光が受光側窓を透過し、受光側コリメータに入射するようにして処理室内の温度測定対象物の温度を低コヒーレンス干渉計を利用して測定可能とされたプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱を利用して低価格で精度が優れ応答性が高く使いやすい光ファイバ温度分布測定装置を得る
【解決手段】光ファイバ内で発生するラマン散乱光のストークス光及びアンチストークス光に基づいて温度分布測定を行う装置において、λ１及びλ２（＞λ１）を含む連続光が光ファイバに入射されたときに、第１の波長λ１の連続光で発生する第１のストークス光の波長λ１ｓと、第２の波長λ２の連続光で発生する第２のアンチストークス光の波長λ２ａとが共に、λ１＜λ１ｓ＜λ２，λ１＜λ２ａ＜λ２を満たすとともに、λ１ｓとλ２ａとがほぼ同一となる連続光を共通のＰＮ符号でデジタル変調して光ファイバに送出し、光ファイバからラマン散乱光を含む後方散乱光をＰＮ符号でＰＮ復調して、時間領域でλ１ｓ成分とλ２ａ成分とを分離検出して第１のレベル比を算出して光ファイバの長手方向における温度分布特性を出力する。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中のプローブ光のみを反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物上に薄膜が形成されている場合でも、測定対象物の温度を従来に比べて正確に測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を、基板上に薄膜が形成された測定対象物の測定ポイントまで伝送する工程と、基板の表面での反射光による第１の干渉波と、基板と薄膜との界面及び薄膜の裏面での反射光による第２の干渉波を測定する工程と、第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を算出する工程と、第２の干渉波の強度に基づいて、薄膜の膜厚を算出する工程と、算出した薄膜の膜厚に基づいて、基板の光路長と算出した光路長との光路差を算出する工程と、算出した光路差に基づいて算出した第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を補正する工程と、補正された光路長から測定ポイントにおける測定対象物の温度を算出する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で且つ高周波数分解能を有する分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、空間分解能に基づく第１パルス光ｆ_１と周波数分解能の逆数に基づく第２パルス光ｆ_２とを位相差θを設けて合成した検査光ｆを光ファイバ１２の一端部１２ａに射出する検査光生成部２６，２７と、一端部１２ａから射出されるブリルアン散乱現象に係る光からスペクトルＶを検出する検出部３０と、ブリルアン周波数シフト量を計測する計測部４０と、を備え、検査光生成部２６，２７は、位相差θが異なる複数の検査光ｆを生成し、検出部３０は、ブリルアン散乱現象に係る光から各検査光ｆに対応するスペクトルＶをそれぞれ求める検波部３１と、スペクトルＶ同士を合成する合成部３６と、を有し、計測部４０は、合成スペクトルＶ_Ｓに基づいて前記周波数シフト量を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱のスペクトラムの広がりに起因する温度誤差を小さくできる光ファイバ温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバをセンサとして用い、ラマン後方散乱光を利用して前記光ファイバに沿った温度分布を測定するように構成された光ファイバ温度分布測定装置において、
前記センサとして用いる光ファイバの近傍に設けた基準温度測定手段と、この基準温度測定手段の温度測定データをパラメータとする補正式を用いて測定温度を補正する基準温度利用温度補正手段と、ラマン散乱スペクトラムの広がりによる温度計算誤差を補正するスペクトラム広がり分布補正手段と、前記基準温度利用温度補正手段で補正された温度値に対し、前記スペクトラム広がり分布補正手段によりあらかじめ求めておいたスペクトラム分布の広がりによる補正値による補正を行う温度誤差補正手段、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】ひとつのセンシングシステムで、多様な物理量のセンサがサポートでき、且つ、複数地点での多様な物理量が同時に観測できるシステムを提供すること。
【解決手段】本発明では、ＰＮ符号で変調された出射光を、光源部から異なる光路長の地点にそれぞれ配設された複数の光ファイバセンサから構成されたセンサ群に出射し、反射応答光とＰＮ符号との相互相関処理によって複数の光ファイバセンサ毎の反射応答信号を得るように構成される光ファイバセンシングシステムにおいて、センサ群は、異なる物理量を検出し得る少なくとも１つ以上の方式に対応した光ファイバセンサを含み、光源部は、異なる遅延時間の遅延ＰＮ符号で変調され、光ファイバセンサに適合した複数種類の出射光を送出する複数の光源を備え、処理部は、センサ群からの反射応答光のデジタル信号と遅延ＰＮ符号との相互相関処理によってセンサ群の反射応答信号を得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】 材料の熱伝導率が高くＦＢＧ部までの伝熱が確保しやすく、熱伸縮が良好な極低温特性を向上させた光ファイバ温度センサおよびその固定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の光ファイバ温度センサは、ＦＢＧ部２を有する光ファイバ１と、この光ファイバ１上に塗布される樹脂コーティング層３と、この樹脂コーティング３上に形成される金属材料のコーティング層４とを具備する。 （もっと読む）