【課題】所望位置へ簡単に配設でき安価に実施できるうえ、配管など被測定物の歪や温度等を長期にわたって正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、中間部を連続繊維(３)で製紐された筒状の紐体(５)内に収容してある。紐体(５)の内周長は光ファイバ(２)の外周長よりも長く、一部が光ファイバ(２)の外周面に当接され、残部が紐体(５)の内周面同士で互いに当接してある。紐体(５)の外周面に、紐体(５)の長さ方向に延びた着座面(16)が形成してある。着座面(16)を被測定物(14)の表面へ当接した状態で、固定部材(17)で光ファイバセンサ(１)を被測定物(14)側へ押圧して固定する。光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、被測定物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配置でき安価に実施できるうえ、コンクリート構造物の歪や温度等を簡単に且つ正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、長さ方向の中間部が、連続繊維(３)で製紐された紐体(５)により被覆してある。光ファイバ(２)には、紐体(５)で覆われた部位に１又は複数のＦＢＧ(９)が形成してある。光ファイバ(２)の端部をコンクリート構造物(14)の表面に取り出した状態で、コンクリート構造物(14)の内部に、光ファイバセンサ(１)の中間部を一体的に埋設する。取り出された光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、コンクリート構造物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサーと測定対象物との間の接着剤の厚さを均一に保持し、接着剤の接着力を均一に保つと共に、測定対象物と接着剤の間や接着剤とセンサーの間で、熱膨張差による接着剤の剥離現象が生じるのを防止する。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１３に接着剤１４を介して取り付けられるセンサー１０であって、検知部を有するセンサー本体１１と、センサー本体１１をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２と、を備え、ブロック体１２は接着剤１４と同一のセラミック系接着剤から構成され、ブロック体１２の測定対象物１３側には接着剤１４の接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスの正確な温度測定技術を提供する。
【解決手段】温度検知要素により、正確なその場温度測定を可能にする。温度検知要素は、プロセスチャンバ３０２内に配置される。温度検知要素は、空洞３０６を有しており、空洞の開口部を覆うように透明カバー３１０が配置されている。材料３０８が、温度検知要素の空洞内に配置され、センサ３１２が、透明カバーを通して材料の相変化を検知するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】光路長を設定するための煩雑な操作が不要で、且つ温度測定対象物の制約が少なく、適用範囲の広い温度測定用プローブを提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光の干渉を利用した温度測定用プローブであって、温度測定対象物の表面に当接されて温度測定対象物と熱的に同化する当接部材７１と、当接部材７１に低コヒーレンス光からなる測定光７４を照射し、当接部材７１の表面からの反射光７５ａ及び裏面からの反射光７５ｂをそれぞれ受光するコリメータ７２と、当接部材７１及びコリメータ７２との間隔を所定の長さに規定すると共に、測定光７４及び反射光７５ａ、７５ｂの光路を測定対象物が置かれた雰囲気から隔離する筒状部材７３とを有する温度測定用プローブ。 （もっと読む）

【課題】従来の光ファイバを使用する測定装置では、保護被覆の溶融は早いので、短時間の後には光ファイバに対する適正な保護を行えなくなる。
【解決手段】測定器に直接又は間接に接続された光ファイバを支持体により支持した溶融金属温度測定装置を提供する。光ファイバの浸漬端は、溶融金属内で消耗する消耗性本体内を案内される。この消耗性の本体は、光ファイバの浸漬端が損壊する速度とほぼ同一又はそれより大きいが１０ｃｍ／分以下の消耗速度を有する。 （もっと読む）

【課題】温度を正確に測定可能な蛍光式温度センサを提供する。
【解決手段】励起光を発する発光体２と、励起光が伝播する光導波路１５と、光導波路１５の端部１１５から放射した励起光が照射される蛍光体１と、蛍光体１及び光導波路１５の端部１１５の相対位置を調整する調整部１７と、蛍光体１の蛍光を受光し、蛍光強度を測定する蛍光測定器３と、発光体２が消灯した後の蛍光強度の減衰特性に基づき、蛍光体１の雰囲気温度を算出する温度算出部３０２と、を備える蛍光式温度センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】エバネッセント光学センサが、光ファイバまたは光マイクロファイバのいずれかのコイルとして形成されること。
【解決手段】ファイバ／マイクロファイバをコイル状に巻くことによって、「直線経路」の従来技術のファイバ・センサに比較すると、センサの全体的な大きさは著しく抑えられ、さらには同程度の感度を示す。動作中、光信号が、解析すべき周囲内に浸漬されたファイバ・コイルに結合される。コイル構成の使用は、コイルを形成する湾曲したファイバ／マイクロファイバの表面から反射することによって、コイルに沿って伝搬することになる複数のウィスパリング・ギャラリ・モード（ＷＧＭ）の生成を結果的にもたらす。これらのモード間の干渉は、コイルがその中に浸漬される周囲環境の特性の関数として修正されることになる。環境的変化が、様々なモードによって「見られる」コイルの光路長の変動をもたらし、モードの干渉は、コイルの出力における透過スペクトルを考察することによって解析される。 （もっと読む）

【課題】 ジェリーを使わなくても金属管挿入状態でマイクロベンド損失を生じず、水素の存在する高温環境において水素による伝送損失の増加を引き起こすことのない高温用途光ファイバにて温度が高精度に計測可能な光ファイバ温度計測システム及びそれに用いる温度計測用光ファイバを得る。
【解決手段】 光ファイバ温度計測システム１００において、純石英コアを有し開口数が０．１３０以上であるとともに計測波長においてシングルモードである温度計測用光ファイバ２９と、この温度計測用光ファイバ２９にパルス光を入射するとともに温度計測用光ファイバ２９からのラマン散乱光を測定する測定部１５と、測定部１５の動作を制御するとともに測定部１５からの情報を管理する制御部１７とを設けた。 （もっと読む）

【課題】異なる苛酷な環境条件に耐え得る統合型感知システムを提供する。
【解決手段】ファイバ・ブラッグ格子多点温度感知システム（４４）が、壁の内面に沿って円周方向に分配されておりファイバ感知ケーブル・パッケージを固定する複数の圧締器具（５０）を含んでいる。ファイバ感知ケーブル・パッケージは、光ファイバ（１２）と、光ファイバに書き込まれた複数のブラッグ格子（１４）と、織布層（１８）と、光ファイバを包囲する鎧装管（１６）とを含むファイバ・ブラッグ格子方式感知ケーブル（５３）を含んでいる。多点ファイバ温度感知システムは、ブラッグ格子方式感知ケーブル・パッケージに光を伝達する光源と、反射信号を受ける検出器モジュールとを含んでいる。各々の圧締器具が、放射状配置Ｔ字形器具（５４）を含んでおり、ファイバ感知ケーブルを固定する装着孔（５８）を画定している。 （もっと読む）

【課題】励起光源の発光強度を高めることなく、蛍光を効率よく検出することができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】照射された光の強度に応じた蛍光を発する蛍光体４と、励起光を蛍光体４に投光する投光部９と、蛍光体が発する蛍光を受光する受光部１０と、投光部９が発する励起光を導光する励起光送信用光ファイバ５ａと、蛍光体４が発する蛍光を導光する蛍光送信用光ファイバ５ｂとを備えた蛍光温度センサ１において、励起光送信用光ファイバ５ａと蛍光送信用光ファイバ５ｂは異なる特性を有する。 （もっと読む）

【課題】外部からの熱的影響を避け、熱的に安定した蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】少なくとも一部が開口したカバー６に収容される蛍光体４と、蛍光体４に励起光を投光する投光部８と、蛍光体４の発する蛍光を受光する受光部９と、投光部８及び受光部９と蛍光体４間の導光を行う光導波路５と、受光部９の受光量に基づき、温度を算出する処理部１０とを備えた蛍光温度センサ１において、蛍光体４はカバー６の開口部側に窪み部４ａが形成され、光導波路５は蛍光体４に形成される窪み部４ａに対向する位置に突き当てられることにより、蛍光体４と光導波部５が３点以上の点接触あるいは略線接触で接続される。 （もっと読む）

【課題】複数の不可逆性示温ラベルを使用する場合において、ＵＶ光をあてることにより発色温度や発色色調を判別することができる不可逆性示温ラベルの提供。
【解決手段】第一の不可逆性示温ラベルは、赤色の基材１の上に第一の温度で融解するワックス２−１を塗工して基材１を遮蔽し、そのうえにＵＶ発色塗料３−１を積層する。その後表面に透明フィルム４を被覆して不可逆性示温ラベルとする。同様に、緑色基材１と第二の温度で融解するワックス２−１によって第二の不可逆性示温ラベルを得る。ワックスが融解しない温度では、第一と第二の示温ワベルは区別出来ないが、ブラックライトでＵＶ光をあてるとそれぞれ赤色と緑色に発色するので区別することができる。 （もっと読む）

【課題】 送信電力の大きいアンテナからの送信電波を透過する多層レドームについて、電波透過性能を損なわずにレドーム内部温度を測定することを目的とする。
【解決手段】 内側誘電体スキンと外側誘電体スキンの間にコア材を挟んで内層誘電体スキンを配置し、内層誘電体スキンにおけるアンテナからの電波の通過領域に誘電体から成る光ファイバ温度センサを設け、光ファイバ温度センサに光ファイバを接続して内層誘電体スキンに沿って光ファイバを配線する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも測定感度が高い、導波音響波型ブリユアン散乱光を用いた光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】試験光を出力する光源と、石英系ガラスからなり、コア部と該コア部の外周に形成された外径が９０μｍ以下のクラッド部とを有し、前記試験光を少なくとも一方の端部において受け付け、前記試験光によって発生する導波音響波型ブリユアン散乱光を他方の端部から出力する少なくとも１つの測定用光ファイバと、前記測定用光ファイバから出力する前記導波音響波型ブリユアン散乱光を受け付け、該導波音響波型ブリユアン散乱光の周波数スペクトル上のピーク周波数を測定し、該測定したピーク周波数に基づいて前記測定用光ファイバの周囲温度または該測定用光ファイバにかかる応力を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバケーブルを効率良く地中管路内の電力ケーブルに布設できるとともに、電力ケーブルの温度を低コストで測定することができる電力ケーブル温度測定用光ファイバケーブルの取付方法を提供する。
【解決手段】地中管路４に布設される電力ケーブル１は、その外表面に温度センサとして用いられる光ファイバケーブル２が長手方向に沿って直線状に設けられ、この状態で電力ケーブル１及び光ファイバケーブル２に所定のピッチ巻き付けＰで粘着テープ３が螺旋状に巻き付けられることにより、光ファイバケーブル２が電力ケーブル１に密着固定される。これにより、布設作業を続けながら光ファイバケーブル２を電力ケーブル１に取り付けることができるとともに、布設コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度センサによる重量増加を抑えつつ、ヒートパイプの温度をより正確に計測することができるヒートパイプ埋め込みパネル及びその製造方法を得ることを目的とするものである。
【解決手段】ヒートパイプ４の側面には、ヒートパイプ４の温度を検出する光ファイバ温度センサ５が接着されている。光ファイバ温度センサ５は、光ファイバ６と、光ファイバ６に互いに間隔をおいて設けられた複数のセンサ部７とを有している。センサ部７は、光ファイバ６により直列に接続されている。各センサ部７は、光ファイバ６に形成されたファイバ・ブラッグ・グレーティング（Fiber Bragg Grating）部と、平板状の基材と、ＦＢＧ部を基材に接着する接着剤とを有している。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ確実に蛍光材料の緩和時間を算出することができ、測定精度を維持しつつ応答性を高めることができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】蛍光温度センサは、光励起された蛍光材料１が発する蛍光を受光するフォトダイオード４と、フォトダイオード４の出力信号を第１のサンプリング周期でサンプリングした第１のデジタルデータに対して、該第１のデジタルデータを第１のサンプリング周期以上の第２のサンプリング周期でリサンプリングした第２のデジタルデータから蛍光材料１の緩和時間τを算出する緩和時間算出手段５３と、算出された緩和時間τに対応した温度信号を生成する温度信号生成手段５４とを備える。 （もっと読む）