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Fターム[2F061EE31]の内容

機械的手段による測長計器 (2,489) | 補正、補償、較正、調整 (30) | 較正、調整 (12)

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【課題】関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品を提供する。
【解決手段】座標位置決め機械のアームに関節プローブヘッドが取り付けられたときに前記関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品100であって、前記関節プローブヘッドを前記座標位置決め機械の前記アームに対し関節動作させることによりスキャンされることが可能な、異なる寸法の複数の輪郭102、104、106と、前記複数の輪郭102、104、106を、前記座標位置決め機械の異なる方向に沿って向けることができるよう、前記複数の輪郭102、104、106の向きを変えるための割り出し装置と、を備える被較正疑似品100。 (もっと読む)


【課題】 構造が簡単で容易に製造することができ、且つ、プローブ先端の向きによる測定誤差の検証にも使用することができる、高精度な3次元測定機検証用長尺ゲージを提供する。
【解決手段】 3次元測定機のプローブが当接する基準測定面となる基準孔1Bが、上面と下面間を貫通して長手方向に沿って複数配列されている横断面矩形状の長尺なゲージ本体1Aと、前記ゲージ本体の下面とこれに直角な一方の側面に突設された複数の支持脚1aとを備えている。これらの支持脚は、前記下面と前記一方の側面のそれぞれの長手方向両端近傍位置と中央位置に、扁平な2等辺3角形の頂点となる配置で突設され、ゲージ本体は、これらの下面または一方の側面の何れかの支持脚で3次元測定機の測定テーブル面に支持される。 (もっと読む)


スケールバー加工品は、ベースと、構造部材と、構造部材に配置されて、中心を持つ球形物体を収容するように構成される少なくとも2つのネストと、それぞれが第1部位及び第2部位を含む少なくとも3つの取り付けアセンブリとを含むことができる。各取り付けアセンブリの第2部位は、ベースに連結される。各取り付けアセンブリの第1部位は、構造部材に連結される。各取り付けアセンブリの第1部位と第2部位は、互いに接している。各取り付けアセンブリは、回転中心を有する。3つの取り付けアセンブリの回転中心は、球形物体の中心と共通の平面を共有する。
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【課題】
コンタミネーションの付着を低減する、微細な基準寸法を有する、電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材を提供する。
【解決手段】
少なくともシリコンを含み、予めピッチ寸法が求められている回折格子の配列よりなる電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材において、寸法校正用標準部材の溝パターンの表面に1nmから5nmのシリコン酸化膜を形成することによって、電子ビーム照射によって付着するコンタミネーション量を低減する。 (もっと読む)


【課題】原子スケールで制御されて作製された3次元構造を持ち、その構造が大気中でも安定であり、かつSEMやSTMでも観察可能な導電性を持つ計測標準試料を提供すると共に、計測標準試料を使用した走査型顕微鏡(AFM、STM、SEM、SLM等)の校正方法を提供する。
【解決手段】主表面{111}面又は{111}面から10度以内のオフ角の単結晶ダイタモンド基板と、該単結晶ダイタモンド基板上に形成された1ステップ高さ;0.206nmの原子的に平坦なテラス面をn段(n≧1の整数)有する三角形島構造体とを備え、三角形島構造体のテラス面のステップ段差を高さの標準とするナノメートルスケール計測を行うための計測標準資料として利用する。 (もっと読む)


本発明は、ある測定精度で測定機器を較正する複合較正/検証ゲージに関する。特に、本発明は、多機能多次元の長さ基準及び作業現場で様々な測定機器を比較するための作業基準としての作業に関する。 (もっと読む)


【課題】 使用されている現場でNC加工機の送り装置の指示誤差を簡単且つ高精度で検査することのできるNC加工機用寸法標準器を提供する。
【解決手段】 石英ガラスまたは単結晶石英によって形成されている細長い丸棒状のロッド2と、このロッド2の軸方向に所定の間隔をあけて、ロッド2外周面から同じ向きに垂直に突出するように固定された一対の取付軸3、4と、ロッド2の両端部にそれぞれ固定された、不変鋼からなる一対の基準部材5とを備え、これらの基準部材5にはそれぞれ、ロッド2の軸方向に所定間隔で対向する2つの基準測定面S1、S2が形成されている。 (もっと読む)


【課題】三次元測長系および落射照明を有する画像測定機の斜め検査において、一様かつ十分な明るさの画像データを得ることができ、校正スケールの複数点の座標値を明確に読み取ることができる画像測定機用校正スケールを提供する。
【解決手段】表面に所定のパターンで配置された光透過性の透過領域10Aと光を透過しない非透過領域10Bとを有するスケール本体10と、スケール本体10の裏面側に設けられスケール本体10の表面側から照射されスケール本体10を透過した透過光を再帰反射する再帰反射手段11と、を備える画像測定機用校正スケール1。 (もっと読む)


【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える運動誤差測定基準、運動誤差測定装置を提供する。
【解決手段】運動誤差測定基準は、例えばベースに対して所定の方向に移動可能に支持されたステージの運動誤差を求める測定装置で利用することが出来るものであり、前記母線に沿って前記原点からの距離が既知である所定点において、実際の物体面と、母線が構成すべき数学的理想面との差が、面外への微小変位と、面法線の方向の微小角変位に関して校正されており、その校正値が記憶されて演算に供しうる数値データとして付与されているものである。 (もっと読む)


【課題】迷光による校正への影響を軽減できる校正ゲージを提供する。
【解決手段】被測定物へ斜めに光を出射し、該記被測定物の測定点からの反射光を受光することにより変位を測定する変位測定装置100の高さ方向の校正を行うための校正ゲージであって、コーティングされた平面を頂面6aとし既知の高さhを有する支柱6bで構成され、少なくとも頂面6aの一角は鋭角な形状、かつ頂面6aと支柱6bの側面とは直交する形状にされた測定ゲージ部6を備え、この測定ゲージ部6の頂面6aの一角が光が出射してくる方向に向けて配置されて前記校正に用いられる構成とした。 (もっと読む)


【課題】 被計測物の長さがノギスの測長範囲を越えるものであっても、デジタルノギスの精度を維持して計測域を拡大できるようにする。
【解決手段】 ビーム本体1から張り出すサポート5a,5bに支持されたガイドビーム6が、スライダ2に形成されたムーバブルジョウ7の変位を案内すべく、ビーム本体1に対して平行に延びて設けられる。ガイドビーム6の先端にはスライダ2の変位基準点を与える基準面8が形成されると共に、その基準面部には延長ロッド9を取り付けることができる接続機構10が形成される。延長ロッド9は定寸ロッド9A,9B,9Cの連結体としておき、その定寸ロッドはミクロンオーダの精度で与えられたラウンドナンバー長としておく。被計測物の長さが大きく異なっても、簡単にその測長域に順応させることができる。 (もっと読む)


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