【課題】測定アームに最適な測定力を発生させる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機は、ブラケットに回転軸を支点として円弧運動可能に支持される測定アーム、測定アームの先端に設けられたスタイラス、及び、測定アームを円弧運動方向へ付勢するボイスコイルを備え、スタイラスに測定力を付与する測定アーム姿勢切替機構６０を備えるスタイラス変位検出手段２０と、制御部１００と、を具備し、制御部１００は、ヒステリシス誤差を取得するヒステリシス誤差取得手段１２４と、目標測定力を取得する目標測定力取得手段１２１と、目標測定力及びヒステリシス誤差に基づいて、測定力指令値を算出する指令値算出手段１２５と、測定力指令値に基づいてボイスコイルに電流を入力する駆動制御手段１２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機動性に優れ、平坦でない計測基準面でも、高い精度で位置を素早く計測できる位置計測装置を提供する
【解決手段】カメラデータ計測装置１は、紐状体２００の紐長変化量と紐状体の紐方向とを計測する位置センサ１００と、両端が位置センサ１００と撮影カメラ９００とに接続された紐状体２００と、紐長変化量及び紐方向に基づいて、撮影カメラ９００のカメラデータを計測する演算装置３００とを備え、演算装置３００が、紐長初期値Ｌ０と位置センサ１００で計測された紐長変化量ΔＬとの和を紐方向での紐全長Ｌとして求め、求めた紐方向での紐全長Ｌを３次元方向成分に分解することで、撮影カメラ９００の位置を示す３次元座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】被測定物の凹部を測定できない事態の発生を極力回避することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物設置体２１９と、筐体２１５に回転自在に設けられているスピンドル２１７とを具備したヘッド２１３と、スピンドル２１７に一体的に設置されるハウジングと測定子６１を具備するスタイラス６０とを備えハウジングがスピンドル２１７に設置されたときに測定子６１がスピンドル２１７の回転中心軸Ｃから離れているタッチプローブ６０と、を有し、スピンドル２１７に設置されている設置済みタッチプローブ６０をインデックス位置決めした状態で、筐体２１５を被測定物設置体２１９に対して相対的に移動し、被測定物設置体２１９に設置された設置済み被測定物の形状を測定するように構成されている被測定物の測定装置２０１である。 （もっと読む）

【課題】工作機械において、プローブの取り付けられた主軸を回転させてワークの計測を行う際の主軸の回転微振動を抑制し、計測精度を向上させる。
【解決手段】タッチプローブ１７の取り付けられる主軸３０と、主軸３０を回転駆動するモータ１５と、モータ１５の回転角度位置を検出する回転角度位置検出器１６と、制御装置２０とを含み、制御装置２０は、タッチプローブ１７によってワークの測定を行う測定モード指令が入力された際に、ｄ軸電流指令補正部４によってｄ軸電流指令値Ｉｄｃに１より小さいｄ軸電流補正係数Ｋを乗じてｄ軸電流指令値Ｉｄｃをｄ軸電流指令補正値Ｉｄｃ‘に低減する。 （もっと読む）

【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】高カーブフレームの精度の良い測定を可能にし、型板測定においても型板トレースの精度の向上を図ることが可能な眼鏡枠形状測定装置を提供する。
【解決手段】測定子２８１が取り付けられた測定子軸２８２を傾斜可能に保持する保持ユニット２５０と、測定子軸の傾斜角度を検知する手段と、ＸＹ移動手段と、Ｚ方向の軸を中心に回転する回転手段２６５と、を有する測定ユニットを備え、型板測定モード時に、測定子軸の背面を型板のエッジに接触させるように回転手段及びＸＹ移動手段を制御する制御手段と、保持ユニットのＸＹ方向の位置情報、回転手段の回転情報及び傾斜角の検知情報とに基づいて型板の動径情報を求める演算手段と、を備え、制御手段は、型板の測定途中では、測定済み情報に基づき、測定子軸の背面が型板のエッジに接触したときに測定子軸の傾斜が垂直を維持するように、回転手段及びＸＹ移動手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】測定子を径方向とこれと垂直な方向の２方向に移動可能とすることでポケットギアも検査可能な偏心測定装置を提供する。また、歯溝の平行度を検査可能な偏心測定装置を提供する。
【解決手段】偏心測定装置５０によれば、測定子３４を径方向（Ｘ軸方向）とこれと垂直な方向（Ｚ軸方向）の２方向に移動する。これにより、歯溝の外側に外壁が形成されたポケットギアの検査も問題なく行うことができる。また、測定子３４が２方向に移動するため、歯溝の平行度の検査と偏心度の検査とを一つの測定子３４で連続して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】一台で高抵抗薄膜の抵抗値と表面凹凸を正確に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】載置板１２をポリアセタール樹脂で構成し、裏面にガード電極５２を配置する。載置板１２上に配置した基板２３の表面に、円環電極４３と円盤電極４４とを接触させ、円盤電極４４を電流計４７を介してガード電極５２に接続し、ガード電極５２を接地させて、円環電極４３と円盤電極４４の間に電圧を印加し、電流計４７の検出結果から基板２３表面の高抵抗薄膜の抵抗値が測定される。ポリアセタール樹脂の抵抗値は高く、表面は平坦なので、基板２３の表面に触針を接触させながら移動させて、触針６３の変位を測定して基板２３の表面の凹凸も正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】電動機のエアギャップ測定装置において、電動機の種類に関係なくエアギャップの偏心量および方向を精度よく計測することができるとともに、エアギャップの偏心状態のデータを基にエアギャップを調整することができる電動機のエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】あらかじめモータ主軸とロータ外径の位置関係を測定しておき、ステータ内径測定装置１０によりステータの内径を測定する。また、ロータ組み込み後の主軸軸心測定装置により主軸の軸心を測定することで、測定したステータ内径と軸心の位置関係よりエアギャップを算出する。さらに、ロータ回転時のエアギャップの変化も判定できる。 （もっと読む）

【課題】測定子やロボットチャックの位置調整を行う際に、多少の位置ずれが生じていても、測定や組み付けを滞りなく行うことを可能とするフローティング装置を提供する。
【解決手段】一方の面の中央に突出した棒状の固定軸３を有する板状の取付け部材２と、固定軸３の外周に被嵌され、基部が取付け部材２に弾性部材を介して固定された円筒体４と、固定軸３の外周と円筒体４の内面間に介在して円筒体４を弾性的に保持するエアパッド５と、を有するフローティング装置１。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化できるとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能な表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】ピックアップ１６を移動させるための駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが複数備えられた表面粗さ測定装置１０において、駆動装置１８Ａ〜１８Ｃごとに測定待ち時間が設定される。駆動装置１８Ａ〜１８Ｃの一つがデータ処理部１４に接続されると、接続された駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが特定され、その駆動装置１８Ａ〜１８Ｃに設定された測定待ち時間の情報が読み出される。測定時は、ピックアップ１６の移動直後の測定データは使用せず、測定待ち時間の経過後に得られる測定データに基づいて表面粗さの測定が行われる。 （もっと読む）

【課題】先端の曲率半径が小さいプローブを用いても、プローブで発生する誤差を好適に検出および補正することができる形状測定方法を提供する。
【解決手段】プローブを備えた接触走査式の形状測定センサを用いて被検物の表面形状を測定するための形状測定方法は、形状測定センサにより、被検物の中心軸を通る一断面における表面形状の点列データを取得する点列データ取得工程Ｓ４０と、点列データから誤差を除去する誤差除去工程Ｓ５０とを備え、誤差除去工程において、プローブの先端と被検物の表面との接触に伴う力によるプローブ先端部の変位に関する理論モデルを点列データに当てはめてプローブ変位誤差を取得し、プローブ変位誤差を点列データから除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】常に高精度な補正パラメータを算出できる三次元測定機を提供する。
【解決手段】三次元測定機を構成する補正パラメータ算出装置１０は、測定子２１１Ａに当接する当接面６１１を有し、当接面６１１に測定子２１１Ａが当接することで測定子２１１Ａの中心を回転中心とする回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、駆動機構の動作を制御してプローブを移動させることで、当接面６１１に近接する方向に測定子２１１Ａを移動させる移動制御手段と、プローブの移動量、及び駆動機構の移動量を取得する情報取得手段と、情報取得手段にて取得されたプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量に基づいて、補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段とを備える。当接面６１１は、測定子２１１Ａが当接した際に測定子２１１Ａと１点で点接触する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル１１上のワークの形状を測定する測定子２２の校正方法において、校正用の基準円筒３０を、軸間距離Ｌに位置するテーブル回転軸Ｃ周りに旋回可能に設け、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒ及び旋回角度α_tに基づいて、測定子２２の理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rを設定し、この理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rに位置決めした測定子２２と、旋回角度α_tに旋回させた基準円筒３０とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離Ｌ、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子２２を校正する。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化するとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能とする表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】まず、ピックアップ１６で所定の試験片８０を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ１６の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ１６が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。 （もっと読む）

【課題】計測結果の確認時に不用意に計測線にさわることなく、不要な警報の発生を抑制することができ、また、どのような設置環境においても計測結果を確認することのできる地表伸縮計測装置を提供する。
【解決手段】杭の移動量をワイヤ２２及び計測線７を介して計測部にて計測する。作業者は、ボタン４，５，６を操作して計測結果を液晶表示部３に表示し確認する。そして、作業者がそれらのグラフ或いは計測値データ等の計測結果を確認する場合には、ボタン４，５，６を操作して、液晶表示部３の表示方向を１８０°回転する。 （もっと読む）

【課題】マスターボールによるスタイラス先端座標の校正を行うことができる表面形状測定プローブおよびその校正方法を提供すること。
【解決手段】表面形状測定プローブ３０のスタイラス３１の近傍に校正用接触子３５を装着し、スタイラス３１の先端と校正用接触子３５とのオフセットＯＦＳを測定し、校正用接触子３５で三次元測定機の基準器であるマスターボール１７を測定して校正用接触子３５の座標位置を割り出し、校正用接触子３５の座標位置にオフセットＯＦＳを加算してスタイラス３１の先端の座標位置を割り出す。 （もっと読む）

【課題】再現性の高い高精度の測定を、短時間で行える生産性に優れたボールねじ軸の累積リード誤差測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被測定ボールねじ軸Ｗを回転不動に固定する固定支持台１と、前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ溝に当接させるボール接触子５と、ボール接触子５を被測定ボールねじ軸Ｗの軸心Ｌｚに対し直交方向に往復移動させるとともにボール接触子５を所定の押し込み力で前記ねじ溝に当接させるボール接触子スライド手段と、ボール接触子スライド手段を軸心Ｌｚと平行に水平往復移動する位置検出スライド手段と、位置検出スライド手段を前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ部間で往復移動させる位置決め往復スライド手段２と、ボール接触子５の軸心Ｌｚ方向における位置を検出するリード位置測定手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミス値を取得してしまったとしても、ミス値を用いることなく幾何誤差の同定を行うことにより、ミス値を用いることによる幾何誤差の同定精度の低下を防止することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】計測値（たとえばターゲット球の直径の計測値）と（Ｓ４）、設定値（予め設定されている直径）とを比較することにより（Ｓ５）、計測値が正しい計測値であるか否かを判断し、たとえミス値を取得したとしても当該ミス値を用いることなく、正しい計測にもとづく計測値のみを用いて幾何誤差の同定を行うため（Ｓ１０）、幾何誤差の同定精度を従来と比較して向上することができる。 （もっと読む）