【課題】傾き角度を任意の角度に変更した場合でも正確な測定ができ、メモリ容量も少なく、新たなスタイラスの使用でもユーザに対する作業負担を軽減できる表面性状測定機。
【解決手段】質量の異なる第２測定アーム２４Ｂが取り付けられた測定アーム２４の種類毎に、測定アーム全体の質量Ｍ、支点（回転軸２３）からスタイラス２６Ｂまでのアーム長Ｌ、測定アームが水平姿勢時において測定アームの水平方向重心位置Ｇｘおよび上下方向重心位置Ｇｚを記憶した測定アームテーブルと、測定アーム指定手段と、検出手段の傾斜角度θ１を検出する傾斜角度検出器と、指定された測定アームのＭ、Ｌ、ＧｘおよびＧｚを測定アームテーブルから読み出し、これらと傾斜角度検出器で検出された傾斜角度θ１とから、測定アームの水平姿勢時の測定力と測定アームの傾斜姿勢時の測定力との差を演算し、この差を補正値として測定力を調整する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定アームに最適な測定力を発生させる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機は、ブラケットに回転軸を支点として円弧運動可能に支持される測定アーム、測定アームの先端に設けられたスタイラス、及び、測定アームを円弧運動方向へ付勢するボイスコイルを備え、スタイラスに測定力を付与する測定アーム姿勢切替機構６０を備えるスタイラス変位検出手段２０と、制御部１００と、を具備し、制御部１００は、ヒステリシス誤差を取得するヒステリシス誤差取得手段１２４と、目標測定力を取得する目標測定力取得手段１２１と、目標測定力及びヒステリシス誤差に基づいて、測定力指令値を算出する指令値算出手段１２５と、測定力指令値に基づいてボイスコイルに電流を入力する駆動制御手段１２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の凹部を測定できない事態の発生を極力回避することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物設置体２１９と、筐体２１５に回転自在に設けられているスピンドル２１７とを具備したヘッド２１３と、スピンドル２１７に一体的に設置されるハウジングと測定子６１を具備するスタイラス６０とを備えハウジングがスピンドル２１７に設置されたときに測定子６１がスピンドル２１７の回転中心軸Ｃから離れているタッチプローブ６０と、を有し、スピンドル２１７に設置されている設置済みタッチプローブ６０をインデックス位置決めした状態で、筐体２１５を被測定物設置体２１９に対して相対的に移動し、被測定物設置体２１９に設置された設置済み被測定物の形状を測定するように構成されている被測定物の測定装置２０１である。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】鉛直下方に延びて、材料側面に測定子１４を接触させて該材料の位置を検出するタッチプローブ１において、柱状に形成された鉛直方向に延びるプローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端に取り付けられた測定子１４と、前記測定子１４の上部であって、プローブ本体長手方向に形成された二つの切れ込み１８ａ、１８ｂと、該二つの切れ込み１８ａ、１８ｂにより、連結部が形成され、該連結部を支点２０ａ、２０ｂとして可動する可動部分と、前記支点２０ａ、２０ｂを挟むように形成される差動変圧部とを備え、互いに直交する２方向の変位を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】改良体の出来形の測定精度の向上を図ることができる改良体測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】地盤中に硬化材を噴射させて攪拌混合することによって造成される改良体の出来形を測定する改良体測定装置１であって、未硬化改良体の中に略鉛直に配置することが可能なケーシング２と、ケーシング２内に収納された屈曲可能な長尺棒状の計測体３と、計測体３を、ケーシング２の下部に位置する送出口２９からケーシング２の外に送り出すと共に、送り出された計測体３の先端を、未硬化改良体と未改良地盤との境界面まで移動させる送り出し機構４と、計測体３の形状を検出する形状検出手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置のカバー等に型板ホルダー収納場所を設けなくても、型板ホルダーの使い勝手の良い眼鏡枠形状測定装置を提供する。
【解決手段】眼鏡フレームの左右のリムの左右方向に対して眼鏡フレーム装用時の縦方向から左右のリムを押圧して眼鏡フレームを保持する第１スライダー１０２及び第２スライダー１０３を有する眼鏡フレーム保持ユニット１００と、型板又デモレンズの測定対象物が取り付けられる型板ホルダーと、型板ホルダーに取り付けられた測定対象物のエッジに接触する測定軸を持ち、測定軸の動径方向の移動を検知して測定対象物の動径情報を得る型板測定ユニットと、を備える眼鏡枠形状測定装置において、型板ホルダーの非使用時に前記型板ホルダーを収納するための収納部を前記第１スライダー１０２又は第２スライダー１０３に設けた。 （もっと読む）

【課題】輪帯面と壁面とが交互に連続して形成された被測定面であっても、フィッティング精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】複数の点データを列毎にグループ化して複数の点列データを生成する（Ｓ１０２）。点列データ毎に走査軌跡面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０３）。複数の点データの中から各輪帯面のデータと見做せる点データを各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して輪帯面を示す輪帯面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０４）。設計データに基づいて壁面関数をそれぞれ求める（Ｓ１０５）。各面関数が交差する各々の交点データを求める（Ｓ１０６）。参照データと交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求める（Ｓ１０７）。座標変換パラメータで各点データを座標変換する（Ｓ１０８）。座標変換した点データと被測定面の設計データとの差分を求める（Ｓ１１０）。 （もっと読む）

【課題】サイドフェーススプラインの被動歯の形状を測定するために適切な基準を設定することができる基準設定具を提供する。
【解決手段】車両用ハブユニット１の軸方向の端面に形成され、かつ等速ジョイントの駆動歯１４に噛み合わされる被動歯の形状を測定するために使用される、サイドフェーススプライン１５の形状測定用の基準設定具５０である。この基準設定具５０は、等速ジョイントの駆動歯１４の形状を模して円環状に配列して形成された基準歯５３と、当該基準歯５３に対して所定の関係を有するとともに、当該基準歯５３を前記被動歯に噛み合わせた状態で当該被動歯の形状測定の基準位置を設定するために用いられる基準面５１，５２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品を提供する。
【解決手段】座標位置決め機械のアームに関節プローブヘッドが取り付けられたときに前記関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品１００であって、前記関節プローブヘッドを前記座標位置決め機械の前記アームに対し関節動作させることによりスキャンされることが可能な、異なる寸法の複数の輪郭１０２、１０４、１０６と、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６を、前記座標位置決め機械の異なる方向に沿って向けることができるよう、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６の向きを変えるための割り出し装置と、を備える被較正疑似品１００。 （もっと読む）

【課題】微細な孔内の形状測定が行えるとともに屈曲部分の干渉が回避できる接触式プローブおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】直径１００μｍ未満の微細孔内の形状等を測定するために用いられる接触式プローブ１０として、棒状のステム１１と、前記ステム１１に対して交叉方向へ延びるチップ１２と、前記チップ１２と前記ステム１１とを接合する接合部１３とを設け、前記ステム１１と前記チップ１２との間の挟み角αが９０度以下であるとする。 （もっと読む）

【課題】先端の曲率半径が小さいプローブを用いても、プローブで発生する誤差を好適に検出および補正することができる形状測定方法を提供する。
【解決手段】プローブを備えた接触走査式の形状測定センサを用いて被検物の表面形状を測定するための形状測定方法は、形状測定センサにより、被検物の中心軸を通る一断面における表面形状の点列データを取得する点列データ取得工程Ｓ４０と、点列データから誤差を除去する誤差除去工程Ｓ５０とを備え、誤差除去工程において、プローブの先端と被検物の表面との接触に伴う力によるプローブ先端部の変位に関する理論モデルを点列データに当てはめてプローブ変位誤差を取得し、プローブ変位誤差を点列データから除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】常に高精度な補正パラメータを算出できる三次元測定機を提供する。
【解決手段】三次元測定機を構成する補正パラメータ算出装置１０は、測定子２１１Ａに当接する当接面６１１を有し、当接面６１１に測定子２１１Ａが当接することで測定子２１１Ａの中心を回転中心とする回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、駆動機構の動作を制御してプローブを移動させることで、当接面６１１に近接する方向に測定子２１１Ａを移動させる移動制御手段と、プローブの移動量、及び駆動機構の移動量を取得する情報取得手段と、情報取得手段にて取得されたプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量に基づいて、補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段とを備える。当接面６１１は、測定子２１１Ａが当接した際に測定子２１１Ａと１点で点接触する。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を増すことなく、最適な条件で精度の良い測定が可能な円形状特性測定方法、装置及びプログラムを提供することが可能となる。
【解決手段】円形状特性測定装置は、円形断面を有する被測定物の円形断面の輪郭形状を測定し測定データを得る形状測定機と、形状測定機で得られた測定データに対して転がり円処理及びフィルタ処理を行って得られた輪郭データに基づいて円形断面の円形状特性を算出する演算処理装置とを有する。演算処理装置は、フィルタ処理のカットオフ値、最小サンプリング点数、及び転がり円処理における円形断面の径と測定子の径の比からなる３つのパラメータのうちの１つを入力する入力装置と、３つのパラメータの関係を記憶し、入力されたパラメータから他の２つのパラメータを決定するパラメータテーブルと、最小サンプリング点数に基づいて測定データを間引き処理する間引き処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル１１上のワークの形状を測定する測定子２２の校正方法において、校正用の基準円筒３０を、軸間距離Ｌに位置するテーブル回転軸Ｃ周りに旋回可能に設け、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒ及び旋回角度α_tに基づいて、測定子２２の理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rを設定し、この理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rに位置決めした測定子２２と、旋回角度α_tに旋回させた基準円筒３０とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離Ｌ、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子２２を校正する。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良くて、より実物に近い段差部形状が得られ、かつ、変位雑音が小さい触針式段差計における測定精度の改善方法及び装置を提供する。
【解決手段】変位雑音を小さくするために遮断周波数が１５Ｈｚ程度の低域通過フィルターとして、計算処理で行うデジタルフィルターを用いて計測結果をフィルタリングし、その際の窓関数としてブラックマン窓等を用いる。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）