【課題】表面形状の設計値が複数の関数によって定義される場合にも、測定データのアライメント補正を行った上で被測定体の表面形状の設計値からのずれ量として測定することができるようにする。
【解決手段】表面形状の設計値を複数の関数で定義する形状定義工程（Ｓ１）と、表面形状の測定データを取得するデータ取得工程（Ｓ２）と、測定データを関数の定義域ごとの部分群に区画するデータ区画工程（Ｓ３）と、部分群による表面形状の設計値からのずれ量を表す移動パラメータを推定する解析工程（Ｓ４、Ｓ７、Ｓ１１）と、この移動パラメータを用いて測定データのアライメント補正を行って、補正済測定データを生成するアライメント補正工程（Ｓ５、Ｓ８、Ｓ１２）と、補正済測定データと複数の関数との偏差を形状誤差として算出する形状誤差算出工程（Ｓ１３）と、を備える形状測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 測定子と測定テーブルとの平行出し作業が不要で、特殊な測定子を用いなくて済み、被測定物の厚み寸法を高精度に測定できるとともに、測定力を調整することもできる厚み測定方法を提供する。
【解決手段】 厚み測定方法は、互いに平行な下端面３１Ａ２と上端面３１Ｂ１とを有する治具本体３１および治具本体３１に着脱可能に装着され重さが調整可能な補助ウェイト３２を有する測定治具３を準備する準備工程と、測定テーブル１５に下端面３１Ａ２を載置するとともに、上端面３１Ｂ１に測定子１８を当接させ、このときのスピンドル１７の移動量を基準位置として設定する基準位置設定工程と、測定テーブル１５にフィルム２を載置したのち、このフィルム２の上に下端面３１Ａ２を載置するとともに、上端面３１Ｂ１に測定子１８を当接させ、このときのスピンドル１７の移動量と基準位置との差からフィルム２の厚み寸法Ｔを求める測定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転テーブル座標系の登録を効率よく行えるとともに高精度が確保できる三次元測定機の校正方法および校正治具を提供すること。
【解決手段】 回転テーブル５０の座標系を登録するために、少なくとも３つの角度位置で回転テーブル５０の表面の基準点の座標位置を測定する。測定には、接触部６１として３つの同径の球体６５を有し、支持部６２として支柱６４および基台６３を有し、プローブ１７の先端球１７Ａに対して３つの接点で同時に接触する校正治具６０を用いる。測定手順として、回転テーブル５０の表面に校正治具６０を設置し、プローブ１７を校正治具６０に近接させ、プローブ１７の先端球１７Ａが３つの球体６５と同時に接触した状態での座標位置を読み取る。 （もっと読む）

【課題】高速で、振動と測定誤差の少ない座標測定システムを提供する。
【解決手段】座標測定システムの可動サポートに着脱可能に接続されるコネクタを備えるアナログ走査プローブ１２０であり、走査プローブは、測定軸６３に従って当該走査プローブに回動可能に接続される針部２８の先端の接触部３０と、前記測定軸６３についての前記接触部３０の傾き角の測定を行う位置エンコーダと、を含み、前記コネクタと前記測定軸６３との間に走査プローブ又はプローブの一部を傾けてプローブの走査を可能とする１つの関節６４が備えられる。 （もっと読む）

【課題】プレス金型にセンサを取り付けることなく、プレス成形時におけるプレス金型の動的変形を高精度で測定し得るようにする。
【解決手段】プレス金型の動的変形測定装置は、下金型１３および上金型１４を備えたプレス金型１１と、ボルスタ１６およびスライダ１７を備えたプレス機本体１０との間に着脱自在に配置される測定治具本体３３を有し、プレス成形時におけるプレス金型１１の動的変形を測定する。測定治具本体３３に両端部が滑り支持された水平棒材４１には、プレス金型１１の弾性変形量を検出するための渦電流変位センサが設けられている。測定治具本体３３に設けられた荷重受け駒３６には、プレス金型１１の圧力分布を検出するための歪みゲージが設けられている。 （もっと読む）

【課題】高カーブフレームのレンズ枠の形状を精度良く測定し、高カーブフレームの測定時に測定子がレンズ枠の溝から外れ難くする。
【解決手段】針状の先端形状を持つ測定子２８１の移動位置を検知してレンズ枠の動径方向（ＸＹ方向）及び動径方向に垂直な方向（Ｚ方向）の三次元形状を測定する眼鏡枠形状測定装置は、測定子２８１が取り付けられた測定子軸２８２を持ち、測定子軸２８２を測定子２８１の先端方向に傾斜可能に保持すると共に、測定子軸２８２をＺ方向に移動可能に保持する測定子保持ユニットと、Ｚ移動手段と、測定子のＺ位置を検知するＺ位置検知手段と、Ｚ移動ユニットの駆動を制御する制御手段と、測定子保持ユニットのＺ方向の位置情報及びＺ位置検知手段の検知情報に基づいてレンズ枠の動径形状に対応するＺ方向の形状を求める演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出精度及び分解能に優れて小型化可能な検出装置を低コストで提供する。
【解決手段】基準面に基づいて対象物の厚さ又は一定方向の移動量を検出する装置であって、一端が回転軸３に支持され、基準面又は対象物と当接可能な曲面を他端に有し、対象物の当接に伴って揺動するレバー部１と、前記回転軸３に支持され、レバー部１の揺動に応じて変位可能な変位量伝達部２とを備えるものにおいて、前記曲面が、想定範囲の対象物の当接に伴って揺動する間は基準面と直交する一つの直線Ｖ上にほぼ一致する点で対象物と当接するように加工されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来測定が困難であった場所でも比較的容易に測定可能なデジタル内空変位計を提供する。
【解決手段】坑道等の内部空間の長さ測定を行うデジタル内空変位計であって、比較的小形の本体部２と、本体部に接続された更に小形のセンサユニット４と、センサユニットからの測定データを表示するデジタル表示器６とを備え、本体部内部に比較的大きな径部１７ｗと比較的小さな径部１７ｎをもつ回転軸１７と、複数個の一定の引っ張り張力を発生する複数個の張力発生器１９−１〜１９−４とを有し、回転軸大径部にはＮ極及びＳ極が所定の周期で交互に着磁された磁気テープ８が巻かれており、回転軸小径部には各々の張力発生器からの帯状スプリングが巻かれており、長さ測定時には複数個の張力発生器からの一定の引っ張りトルクが前記回転軸の比較的小さな径部に加わって磁気テープは一定の張力で引っ張られる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高精度に回転体からなる被測定物に特有の測定が可能な形状測定装置、その方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】形状測定装置は、回転体からなる被測定物４を所定の回転軸を中心として回転させながら、被測定物４の各回転角における表面の変位を測定する。形状測定装置の制御部４１は、被測定物４の各回転角における表面の変位を予備測定する（Ｓ１１）。制御部４１は、予備測定によって取得された被測定物４の表面形状を示す測定値と予め記憶されている被測定物４の設計値とから測定値の設計値に対するずれ量を算出する（Ｓ１２）。制御部４１は、算出されたずれ量に基づいて被測定物４の姿勢を調整する（Ｓ１３）。制御部４１は、姿勢調整後の被測定物４を回転軸を中心として回転させながら、被測定物４の各回転角における表面の変位を本測定する（Ｓ１４）。 （もっと読む）

【課題】傘歯車の歯面に基づいて傘歯車の外部に傘歯車の測定基準を設定することが可能な歯面測定基準設定装置および歯面測定基準設定方法を提供する。
【解決手段】
傘歯車１に形成される歯溝に嵌合する嵌合部材１１１・１１１・１１１および三つの嵌合部材１１１・１１１・１１１における傘歯車１の歯溝との嵌合部位を結んだ仮想平面３０に平行な第一基準面１１５ａが形成される本体部材１１４を備える第一部材１１０と、第一部材１１０に係合しつつ第一基準面１１５ａに垂直な方向に摺動可能であり第一部材１１０に係合しているときに第一基準面１１５ａに平行な第二基準面１２３ａが形成され三つの嵌合部材１１１・１１１・１１１が互いに異なる歯溝に嵌合した傘歯車１が固定される第二部材１２０と、を具備する歯面測定基準設定装置１００により設定された第二基準面１２３ａを基準として傘歯車１の歯面６・６・・・を測定する。 （もっと読む）

【課題】ツール位置やロボットと対象物との相対位置を簡単かつ高精度に検出する。
【解決手段】ロボット２のアーム７先端のツール取付部７ｅに球面部８ａを有するツール８を取り付け、ツール取付部７ｅから球面部８ａの中心までのツールベクトルの成分に未知数を設定し、球面部８ａを平板１６に対してツール８の姿勢を変えて少なくとも未知数の数と同じ回数当接させ、その当接時のロボット２のアーム７の関節角度に基づいて当接時のツール取付部７ｅの位置をそれぞれ求め、特定の座標系において、平板１６のＺ位置と球面部８ａの曲率半径Rcとの和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置が、ツール取付部７ｅのＺ位置とツールベクトルのＺ成分との和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置に等しいことを意味する連立方程式を少なくとも未知数の数と同じ回数連立させ、その連立方程式を解くことでツールベクトルの成分を求める。 （もっと読む）

【課題】 測定アームのパラメータの校正作業に要する手間や時間を削減することのできる多関節型座標測定装置のパラメータ校正方法を提供する。
【解決手段】 まず、二つの小球２２を有する標準器２０Ａを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をそれらの小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の各々の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて一次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。つぎに、一つの小球２２を有する標準器２０Ｃを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をその小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて二次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】運動誤差の補正を高精度に行える方法を提供する。
【解決手段】予め基準ワーク32を形状測定して得ておいた校正値信号を用いて測定ワーク40を形状測定して得られた測定値信号から運動部26の運動誤差による測定誤差を除去する方法において、該校正値信号は固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該基準ワーク32を形状測定した際の検出器36出力信号から該基準ワーク形状成分を除去したものであり、該測定値信号は該固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該測定ワーク40を形状測定した際の該検出器36出力信号から該測定ワーク形状成分を除去したものであり、該校正値信号を用いて該測定値信号に含まれる成分のうち該校正値信号と最も形状相関の高い成分を運動誤差成分として適応的に除去する工程(S10)を備えたことを特徴とする誤差補正方法。 （もっと読む）

表面測定プローブのドリフトを判定する装置および方法。この表面測定プローブは、ハウジングと、表面接触スタイラスと、スタイラスを振動させる振動発生器と、スタイラスの振動の変化に関係したパラメータを決定する感知デバイスと、パラメータとしきい値との関係を判定する比較器とを有する。スタイラスが表面と接触していないときにパラメータの読みが読み取られ、表面に触れたときの遷移時間よりも有意に長い時間ｔにわたってこのパラメータの読みが平均される。このパラメータの読みの平均が基準パラメータと比較される。この比較が、パラメータの有意のドリフトがあったかどうかを判定するために使用される。このようにして、温度変化に起因したドリフトが補正される。
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機械に装架された計測プローブ（１０）を較正する方法が記述される。計測プローブ（１０）は、ワークピースに接触する先端（１６）を備えたスタイラス（１４）を有する。方法は、プローブアウトプット（ａ、ｂ、ｃ）を機械座標系（ｘ、ｙ、ｚ）に関連づけるプローブ較正マトリクスを決定することを含む。方法は、第一の機械データを得るために第一のプローブ偏位（ｄ_１）を用い、第二の機械データを得るために第二のプローブ偏位（ｄ_２）を用いて、較正アーティファクト（１８）を走査する工程を含む。第一および第二の機械データは、いかなる機械誤差も実質的に除去される完全なプローブ較正マトリクスを得るために用いられる。有利には、方法は、第一および第二の機械位置データの差は既知であるとの仮定に基づいて、完全なプローブマトリクスを数学的に決定する。
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本発明は、部材（７）上の各測定値を、偏向可能な接触探知ピン（６）を備えた測定接触探知ヘッド（５）を有する座標測定装置を用いて測定するための方法であり、その際、座標測定装置により、各パラメータ（Ａ）を用いて、測定接触探知ヘッド（５）によって検出された単数乃至複数の偏向信号を、当該座標測定装置の座標系（Ｘ_Ｍ，Ｙ_Ｍ，Ｚ_Ｍ）内でリニア又は非リニアに写像（変換）することができる。方法を、任意に測定する接触探知ヘッド、殊に、接触探知ピンが座標方向に可動に案内されない接触探知ヘッドにも使用することができるようにするために、各パラメータの少なくとも一部分（Ａ_ａｎｔｉ）を用いて、接触点において、部材の表面に対して接線方向に位置している、接触探知ピン偏向の各成分を記述する。
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ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。

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【課題】 多種多様な曲率に対応した個々の球面原器を用いることなく簡易球面計の基準高さ合わせを可能にし、従来と同様に球面形状や曲率の測定を行うことを可能にする簡易球面計の基準高さ合わせ方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 リング４が接する対リング基準面１１を固定的に配設するとともに測定子３が接する対測定子基準面１２をマイクロメータ１３によって対リング基準面１１に対して相対的に上下方向に移動しうるように配設した基準高さ合わせ装置１０を用い、計算により求められる基準となる球面の頂点から弦までの高さに基づいて、マイクロメータ１３によって対測定子基準面１２の上下方向の位置を設定する。これらの対リング基準面１１と対測定子基準面１２に簡易球面計１のリング４および測定子３をそれぞれ当接させて、球面原器を使用することなく簡易球面計１の基準高さ合わせを行う。 （もっと読む）