【課題】 測定面の傾斜角が大きい場合でも、安定した測定が可能であり、測定誤差の増加を抑制して、安定かつ高精度に形状測定することができる触針式形状測定装置とその方法を提供する。
【解決手段】 軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に対して一定角度傾斜して設置された斜軸測定プローブ１と、軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に平行に設置された直軸測定プローブ２とを備え、これらの複数の測定データをつなぎ合わせることで全体形状を求める。 （もっと読む）

【課題】位相差法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の回転精度補正方法を提供する。
【解決手段】回転機構（回転テーブル３）を有する測定機１の回転精度補正方法であって、測定機の回転機構を使って予めデータ採取位置１４の形状データが値付けされたマスターワークＭＷを回転させながら、そのマスターワークのデータ採取位置の形状を検出器７によって測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて回転機構の回転精度データを求める回転精度データ算出工程と、前記測定機の回転機構を使ってワークを回転させながら、そのワークの形状を検出器によって測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記回転精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。 （もっと読む）