【課題】スタイラスの変位を正確に測定すること。
【解決手段】位置測定装置に用いる表面検出装置は、測定すべきワークピースの表面を走査するためのチップ８２をもつ長いスタイラス７４を有する。スタイラスチップの横変位は、光源６６から逆反射体（ｒetroreflector）７８にスタイラスに沿って通過するライトビームによって測定される。これは、ビームを反射して、ブームスプリッタ７０を介して位置高感度検出器７６に戻す。スタイラスは、キャリッジ７２に縦変位のために設置される。その縦変位は、ビームスプリッタ７０によって、第２の位置高感度検出器８４に投光される他のライトビームによって測定される。 （もっと読む）

【課題】測定作業の効率化および測定精度の向上に資することが可能な測定マーカを提供する。
【解決手段】三次元位置測定器１０２を使用して被験者１０４の身体の各部位から位置データを取得する三次元位置測定構造１００であって、三次元位置測定器１０２のプローブ１１６の先端に設けられた球形のボール部と、プローブ１１６に取り付ける長尺なジグ部材１１０と、被験者１０４の身体の各部位に取り付けられる磁性を有するマーカ部材１０６とを備える。上記のジグ部材１１０は、一端に設けられボール部と連結してボールリンクを形成するホルダ部１１２と、他端に設けられた磁性を有する球体部１１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】サイドフェーススプラインの被動歯の形状を測定するために適切な基準を設定することができる基準設定具を提供する。
【解決手段】車両用ハブユニット１の軸方向の端面に形成され、かつ等速ジョイントの駆動歯１４に噛み合わされる被動歯の形状を測定するために使用される、サイドフェーススプライン１５の形状測定用の基準設定具５０である。この基準設定具５０は、等速ジョイントの駆動歯１４の形状を模して円環状に配列して形成された基準歯５３と、当該基準歯５３に対して所定の関係を有するとともに、当該基準歯５３を前記被動歯に噛み合わせた状態で当該被動歯の形状測定の基準位置を設定するために用いられる基準面５１，５２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品を提供する。
【解決手段】座標位置決め機械のアームに関節プローブヘッドが取り付けられたときに前記関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品１００であって、前記関節プローブヘッドを前記座標位置決め機械の前記アームに対し関節動作させることによりスキャンされることが可能な、異なる寸法の複数の輪郭１０２、１０４、１０６と、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６を、前記座標位置決め機械の異なる方向に沿って向けることができるよう、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６の向きを変えるための割り出し装置と、を備える被較正疑似品１００。 （もっと読む）

【課題】高速走査を精度と共に達成するため、測定システムの運動質量、動的誤差を最小にする関節式プローブヘッドを提供する。
【解決手段】ＣＭＭは、その直線駆動に関する回転誤差（例えばピッチ，ロールおよびヨー）のための誤差マップが作成される。走査ヘッドもまた、回転誤差のための誤差マップが作成される。測定データは、ＣＭＭおよび走査ヘッドの組み合わされた回転誤差に関して実時間に同期して誤差補正される。この同期補正ためＣＭＭおよび走査ヘッドの誤差マッピングデータを使用する。 （もっと読む）

【課題】多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測定姿勢を維持させる。
【解決手段】測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサからの空間座標値の出力を中止する。 （もっと読む）

【課題】精密なワークでも保持可能なワーク保持装置及びこのワーク保持装置を使用した３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置３は、ワークＷを保持する回転ヤトイ３１と、ベース部材３２と、回転昇降機構３３と、を有する。回転昇降機構３３は、支持部３４を上昇させ回転ヤトイ３１の背面３１Ｒと接触させ、この回転ヤトイ３１をベース部材３２から浮かせた状態で回転させる。また、支持部３４を下降させ、回転ヤトイ３１をベース部材３２に着座させた状態でワークＷの測定を行う。 （もっと読む）

【課題】高い正確度、高い信頼性および耐久性、相当な
使い易さ、ならびに低コストを有する間接式アームを提供する。
【解決手段】関節式アームＣＭＭ１は、複数の伝達部材２０と、少なくとも２つの伝達部材２０を互いに接続する複数の関節部材３０〜３６と、遠端における座標取得部材５０と、近端におけるベース１０とを備える。関節部材３０〜３６の少なくとも２つは、少なくとも１つのエンコーダを備えることが可能であり、少なくとも２つのエンコーダは、ともに、単一のモノブロックハウジング内に収容されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】マスターボールによるスタイラス先端座標の校正を行うことができる表面形状測定プローブおよびその校正方法を提供すること。
【解決手段】表面形状測定プローブ３０のスタイラス３１の近傍に校正用接触子３５を装着し、スタイラス３１の先端と校正用接触子３５とのオフセットＯＦＳを測定し、校正用接触子３５で三次元測定機の基準器であるマスターボール１７を測定して校正用接触子３５の座標位置を割り出し、校正用接触子３５の座標位置にオフセットＯＦＳを加算してスタイラス３１の先端の座標位置を割り出す。 （もっと読む）

【課題】ミス値を取得してしまったとしても、ミス値を用いることなく幾何誤差の同定を行うことにより、ミス値を用いることによる幾何誤差の同定精度の低下を防止することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】計測値（たとえばターゲット球の直径の計測値）と（Ｓ４）、設定値（予め設定されている直径）とを比較することにより（Ｓ５）、計測値が正しい計測値であるか否かを判断し、たとえミス値を取得したとしても当該ミス値を用いることなく、正しい計測にもとづく計測値のみを用いて幾何誤差の同定を行うため（Ｓ１０）、幾何誤差の同定精度を従来と比較して向上することができる。 （もっと読む）

【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部（２０）と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部（静止判定部５８）と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部（座標算出部５３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】プローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子１４と、前記プローブ本体１２内に形成され、前記プローブ本体１２の軸方向に垂直でかつ互いに直交する２方向に変位可能に構成された変位機構と、前記２方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部２５
ａ、２５ｂと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置を用いて一連のワークピースを測定して検査するに際し、迅速かつ高速度に測定を実施しつつも、正確な測定結果を得ることを可能にする。
【解決手段】座標測定装置上で較正済み加工品を高速測定する工程（２８）と、較正済み加工品と測定された加工品との間の差に対応する誤差マップを生成する工程（３０）と、続くワークピースを同じ高速度で測定する工程（３４）と、当該続くワークピースの測定値を誤差マップを用いて補正する工程（３６）と、を実行するよう座標測定装置を構成する。加工品とは、ワークピースの一つであってもよい。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによって、垂直に近いような急傾斜面であっても、安定して接触力を制御し、高精度な形状計測を行う。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面の傾斜を推定し、垂直に近い状態であると判断するとプローブ支持手段の移動方向に交差する方向にプローブ支持手段を移動させる。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供する。
【解決手段】駆動制御回路３は、測定子を変位させる駆動機構２５を駆動制御し、駆動機構２５に流れる電流を検出する電流検出センサ２７と、駆動機構２５を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御部３２と、目標電流および電流検出センサ２７により検出された検出電流の電流偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動機構２５に出力する出力電流を設定する電流制御部３３と、を具備し、電流制御部３３は、駆動機構２５の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替える。 （もっと読む）

【課題】 プローブによって、垂直へ切り立った壁面や穴の内面であっても、安定して接触力を制御し、高速な形状計測を行うこと。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面と移動手段の方向の関係を推定する。その結果、被測定面と垂直に近い状態であると判断された方向の移動手段のみによって、プローブの接触力制御を行うこと。 （もっと読む）

【課題】 回折光学素子のように段差を有する光学素子であっても、高精度に面形状を測定することができる接触式形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定面を安定して倣い走査している状態のプローブ速度である目標速度と、目標速度とプローブ速度の差であるプローブ速度エラーに基づいて、プローブに作用力を加える。これにより、安定して倣い走査している状態のプローブ速度を目標にして、プローブに作用力を加えるため、不安定な測定区間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】計測精度の向上を実現したうえで、寸法計測から計測後の検査記録作成までの作業コストの低減及び作業時間の短縮を実現でき、平坦度や捻れ等の三次元データをも得ることが可能であるワーク寸法計測装置及びワーク寸法計測方法を提供する。
【解決手段】セグメントＷの寸法を計測するワーク寸法計測装置１であって、多関節アーム１２を具備して、アーム１２の先端に有する探触子１１をセグメントＷに接触させることで三次元座標値を得る複数の測定機１０と、複数の測定機１０の相対位置関係を校正する作業及び該複数の測定機１０で得られた各三次元座標値に基づいてセグメントＷの寸法を自動算出する作業を行う校正演算手段２１と、校正演算手段２１からの校正結果及び演算結果に基づいてセグメントＷの寸法計測結果を評価する計測評価手段２２と、計測評価手段２２からの計測結果を検査記録にまとめて出力するデータ管理手段３１を備えている。 （もっと読む）