【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機動性に優れ、平坦でない計測基準面でも、高い精度で位置を素早く計測できる位置計測装置を提供する
【解決手段】カメラデータ計測装置１は、紐状体２００の紐長変化量と紐状体の紐方向とを計測する位置センサ１００と、両端が位置センサ１００と撮影カメラ９００とに接続された紐状体２００と、紐長変化量及び紐方向に基づいて、撮影カメラ９００のカメラデータを計測する演算装置３００とを備え、演算装置３００が、紐長初期値Ｌ０と位置センサ１００で計測された紐長変化量ΔＬとの和を紐方向での紐全長Ｌとして求め、求めた紐方向での紐全長Ｌを３次元方向成分に分解することで、撮影カメラ９００の位置を示す３次元座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測結果の確認時に不用意に計測線にさわることなく、不要な警報の発生を抑制することができ、また、どのような設置環境においても計測結果を確認することのできる地表伸縮計測装置を提供する。
【解決手段】杭の移動量をワイヤ２２及び計測線７を介して計測部にて計測する。作業者は、ボタン４，５，６を操作して計測結果を液晶表示部３に表示し確認する。そして、作業者がそれらのグラフ或いは計測値データ等の計測結果を確認する場合には、ボタン４，５，６を操作して、液晶表示部３の表示方向を１８０°回転する。 （もっと読む）

【課題】ミス値を取得してしまったとしても、ミス値を用いることなく幾何誤差の同定を行うことにより、ミス値を用いることによる幾何誤差の同定精度の低下を防止することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】計測値（たとえばターゲット球の直径の計測値）と（Ｓ４）、設定値（予め設定されている直径）とを比較することにより（Ｓ５）、計測値が正しい計測値であるか否かを判断し、たとえミス値を取得したとしても当該ミス値を用いることなく、正しい計測にもとづく計測値のみを用いて幾何誤差の同定を行うため（Ｓ１０）、幾何誤差の同定精度を従来と比較して向上することができる。 （もっと読む）

【課題】上向スタイラスと下向スタイラスとの相互位置関係を正確に把握できる表面性状測定機の校正方法を提供する。
【解決手段】基準球の上側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸上側形状測定データを取得するとともに、基準球の下側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸下側形状測定データを取得するＸ軸形状測定データ取得工程と、この形状取得工程からから得られる中心座標Ｏ３，Ｏ４から、上向スタイラスおよび下向スタイラスのオフセット量ΔＸ，ΔＺを算出するオフセット量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】零点変動を抑え測定精度を向上したビードコアの内周長測定装置を提供する。
【解決手段】分割面を突き合わせることにより段付き円柱状体となる半割り段付き円柱状の第１、第２の測定台３，４と、前記第１の測定台３を水平に固定する固定台５と、前記第２の測定台４を分割面が互いに突き合わされる基準状態から離間方向に水平移動自在に支持するスライドレール６と、前記第２の測定台４を離間方向に付勢させる付勢手段７と、第２の測定台４の前記基準状態からの移動距離を測定する測定手段８を具える。分割面は、その一部を凹ますことにより残部を凸面部とし、基準状態において前記凸面部同士を互いに突き合わせる。 （もっと読む）

【課題】支持体が支持部の上部側に移動したときに支持体との摩擦力によって振り子運動が停止してしまうことを防止できて、支持体と支持部とがスムーズに相対変位できる変位測定装置を提供する
【解決手段】構造物に固定され凹状の湾曲面が形成された支持部２と、湾曲面に沿って振り子運動可能に支持された支持体３および球体４と、構造物又は支持部２と、支持体３との相対変位量を測定し、構造物の絶対変位量を算出する絶対変位算出部５とを備える。支持体３は、球体４を支持可能な開口部３１ａが形成された支持板部３１と、該支持板部３１に設けられ湾曲面に当接された車輪（移動輪）３２と、を備える。開口部３１ａに球体４を配置したときに、球体４は開口部３１ａ内を移動可能に構成されているとともに、球体４は湾曲面に当接されており、球体４と湾曲面との間の摩擦係数は、移動輪３２と湾曲面との間の摩擦係数よりも小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】円環状測定物の測定点における外周位置及び内周位置の各軸方向形状を正確に測定するための円環状測定物の軸方向形状測定用治具及び軸方向形状測定装置を提供すること。
【解決手段】円環状測定物８の軸方向形状測定用治具１は、円環状測定物８の測定点Ｐにおける外周位置及び内周位置の各軸方向形状をそれぞれ測定する際に用い、架台２、回動軸３、回動ベース４及び保持する複数の保持クランプ４１を備えている。複数の保持クランプ４１は、回動軸３の回動中心Ａに円環状測定物８の測定点Ｐを合わせて円環状測定物８を保持する。回動ベース４は、回動軸３の回動中心Ａを中心に回動することによって測定点Ｐを中心に回動して、測定点Ｐの外周位置を所定の測定方向に向けた第１回動位置４０１と、測定点Ｐの内周位置を所定の測定方向に向けた第２回動位置とに回動停止させる。 （もっと読む）

【課題】先端子の形状変化を簡易に測定可能にする真円度測定装置の判定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、形状が既知の基準被測定物を基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して（１０１）、基準被測定物の無偏心外形形状を測定し（１０２）、基準被測定物の円形の断面の中心を載物台の回転中心に対して所定量偏心させて（１０３）、基準被測定物の偏心外形形状を測定し（１０４）、無偏心外形形状と偏心外形形状との差から、先端子の球状からの変形量を算出し（１０５）、算出した変形量が所定の範囲を超えた時に（１０６）、不良と判定する（１０８）真円度測定装置の先端子良否判定方法。 （もっと読む）

【課題】対象物のチャッキングとチャッキング解除動作が不要となって、作業性の向上を図ることが可能な外径測定装置及びころ軸受の製造方法を提供する。
【解決手段】被測定物１０を横倒し状として下方から受体１１にて受けられ、軸心方向の移動及び軸心廻りの回転を許容する。駆動手段１２にて、受体１１にて受けられている被測定物１０をその軸心廻りに回転させてその軸心方向の一方に移動させる。被測定物１０は、軸方向の移動が受部材１３にて規制される。外径寸法測定手段１４にて、受部材１３にて軸心方向の移動が規制されている被測定物１０がその軸心廻りに回転している状態で被測定物１０の外径寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】通行支障にならない限定箇所で、微細な荷重変位を正確に測定する、簡単で安価な構成の装置、及びそれを用いて行う劣化コンクリート日常点検方法を提供する。
【解決手段】被測定物側に動滑車を配置し測定装置側に定滑車を配置する、荷重付加時のたわみ量Ｈ２は、張設ワイヤーにＳＬ２として表現される。この微量の長さを、滑車を用いて増幅し測定装置側面の点検窓に、その箇所の構造物崩壊推定危険度として、青、黄、赤に数値を併記した図柄で表される。 （もっと読む）

【課題】 構造物乃至部材の変形規模、トンネルなど壁面のひび割れの変化を簡易な構成で表示する歪感応表示体とナットの締付けトルクを目視で確認できるトルク感応表示体を得ること。
【解決手段】 構造物乃至部材の変形規模を脆性破壊する歪感応表示体の破断又はひび割れで表示し、又は塗料として所定形状に塗布乾燥させて形成し、また着色した着色歪感応表示体と異色の対比表示層を設け、また破壊点を変更可能な略Ｖ字状の切欠部又は溝部を設け、また破壊点が相違する複数枚の歪感応表示体を並設し、また導電性を有する導電性歪感応表示体とし、またトンネルなど壁面のひび割れに横断して設け、またＵボルトなど取付保持金具のナットによる締付けトルクを検知するトルク感応表示体とし、また側面側に設けるとし、それら各歪感応表示体で構造物又は該部材が変形する有無と規模を表示する、脆性破壊する歪感応表示体。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、金属屋根８の馳部（馳締部）の溝幅を簡易且つ正確に測定すること。
【構成】測定主板１と、金属屋根８の馳部８１の背面基準線８１ａを支持する被押圧部２と、金属屋根８の馳部８１の溝部８１ｃ箇所の所定の高さ位置の溝幅の正常幅に相当する間隔を有しつつ、正常値を超えたときに後退するように弾性を有する押圧棒状部３１とからなること。被押圧部２と押圧棒状部３１とが測定主板１の下方に設けられていること。測定時において前記溝幅が正常値を超えたときに警報信号が検出されるように警報手段Ｘが備えられてなること。 （もっと読む）

【課題】建造物の変位を高精度に測定することができる。
【解決手段】構造物に設けられて、構造物の変位を測定する変位測定装置１であって、構造物に取り付けられる支持部２と、支持部２によって水平方向に移動可能に支持される支持体３と、支持体３に設けられたアノトペン（絶対変位算出部）５と、支持部２に設けられた基準板（絶対変位算出部）６とを備える。支持部２には支持体３の移動方向に延びて粘性体３２が収容された溝部３１が形成されていて、支持体３には溝部３１の粘性体３２内に挿入された減衰部材３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】配管のフランジ部等を形成するのに用いられる、外縁が円形状をなしている板状部材の表面の歪みの状態を正確に計測する。
【解決手段】歪み計測装置１０１は、複数の長尺の支持用アーム１０２を備える。各支持用アームは、その端部を基部１０３に保持され、計測対象面２０１ａに平行な平面内に放射状に延びでいる。各計測対象面２０１ａには、計測対象面２０１ａの縁部分を保持する保持部１０４が設けられる。計測用アーム１０５は、計測対象面２０１ａと平行に延び、長さ方向に伸縮自在である。ダイアルゲージ１０６は、計測用アーム１０５に設けられ、計測対象面の歪みを計測する。連結部１０７は、ダイアルゲージ１０６が計測対象面２０１ａと平行な平面内で回転自在となるよう、基部１０３と計測用アーム１０５とを連結する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが小さく、低い設備コストで精度よく薄膜の傾きを測定できる薄膜の傾き測定装置等を提供する。
【解決手段】円形基材Ｃの円形平面上に位置する薄膜Ｆの円形平面に対する傾きφを測定する装置１であって、円形平面が所定の面に倣うように円形基材を挟持する挟持手段１７、１８、２７、３１と、挟持手段によって挟持された円形基材を、所定の面に対して平行な一方向に所定の距離移動させて基準位置からの変位を測定する変位測定手段１３、５０と、変位測定手段によって測定された変位に基づいて、円形基材を所定の位置に位置決めする位置決め手段１３と、位置決め手段によって位置決めされた円形基材の円形平面上に位置する薄膜表面上の複数の点の、円形平面からの高さを測定する高さ測定手段４２、４３、４４と、高さ測定手段による測定値に基づいて、薄膜の円形平面に対する傾きを算出する傾き算出手段とを備える薄膜の傾き測定装置等。 （もっと読む）