【課題】基準球などを用いることなく、被測定物の表裏面を高精度にかつ効率的に測定できる被測定物の表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の第１測定面（表面）がプローブによって測定可能な姿勢に被測定物を設置する設置工程ＳＴ１と、この姿勢において、被測定物の輪郭形状および第１測定面を測定する第１輪郭形状測定工程ＳＴ２および第１測定面測定工程ＳＴ３と、被測定物を反転する反転工程ＳＴ４と、反転された姿勢において、被測定物の輪郭形状を測定する第２輪郭形状測定工程ＳＴ５と、第１，第２輪郭形状測定工程で得られた輪郭形状データを比較し、第２測定面において、第１測定面測定工程で測定した第１測定面の測定位置に対応する測定位置を求める測定位置算出工程ＳＴ６と、測定位置算出工程で求められた測定位置に沿って第２測定面の形状を測定する第２測定面測定工程ＳＴ７とを備える。 （もっと読む）