【課題】本発明は、機動性に優れ、平坦でない計測基準面でも、高い精度で位置を素早く計測できる位置計測装置を提供する
【解決手段】カメラデータ計測装置１は、紐状体２００の紐長変化量と紐状体の紐方向とを計測する位置センサ１００と、両端が位置センサ１００と撮影カメラ９００とに接続された紐状体２００と、紐長変化量及び紐方向に基づいて、撮影カメラ９００のカメラデータを計測する演算装置３００とを備え、演算装置３００が、紐長初期値Ｌ０と位置センサ１００で計測された紐長変化量ΔＬとの和を紐方向での紐全長Ｌとして求め、求めた紐方向での紐全長Ｌを３次元方向成分に分解することで、撮影カメラ９００の位置を示す３次元座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測定姿勢を維持させる。
【解決手段】測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサからの空間座標値の出力を中止する。 （もっと読む）

【課題】高い正確度、高い信頼性および耐久性、相当な
使い易さ、ならびに低コストを有する間接式アームを提供する。
【解決手段】関節式アームＣＭＭ１は、複数の伝達部材２０と、少なくとも２つの伝達部材２０を互いに接続する複数の関節部材３０〜３６と、遠端における座標取得部材５０と、近端におけるベース１０とを備える。関節部材３０〜３６の少なくとも２つは、少なくとも１つのエンコーダを備えることが可能であり、少なくとも２つのエンコーダは、ともに、単一のモノブロックハウジング内に収容されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダブロック等の貫通穴の内周面を簡便に測定する内周面測定装置を提供する。
【解決手段】内周面測定装置１は、測定スピンドル２９と第１支持部５と第２支持部１７とガイドブロック４８とを有する。第１支持部５及び第２支持部１７はシリンダブロック２の両端面に着脱自在に取付られ、シリンダブロック２の貫通穴３に挿通された、測定スピンドル２９を回転自在に支持する。測定スピンドル２９は、円筒形状であり、内面３２を切欠いて回転軸３０の方向に略平行にのびるスリット３３を有する。測定スピンドル２９の内側に配置されるガイドブロック４８には、貫通穴３の内周面４を計測する変位センサ５１が固定される。ガイドブロック４８は、スリット３３に係合し回転軸３０に沿って測定スピンドル２９内を手動でスライド移動する。任意の測位位置において測定スピンドル２９を手動で回転させて、内周面４の形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】ロータリーカップリングによって下ハウジングを上ハウジングに対して連続的に回転させることを可能とするプローブヘッドを提供する。
【解決手段】測定プローブ２を支持する連結手首を有し、プローブを２つの回転軸Ａ、Ｂのまわりに回転させるプローブヘッド６であり、ヘッドは装置と接続するための上ハウジング１０と回転可能に接続し、第１モータＭＢによって上ハウジングに関して第１軸Ｂまわりに連続的に回転することができる、下ハウジング１２と測定プローブに回転可能に接続し、第２モータＭＡによって下ハウジングに関して前記第１軸を横切る第２軸Ａまわりに回転することができるキャリジ１４と、第１軸まわりの連続的な回転を可能として少なくとも第２モータのための電力経路ａを提供するロータリーカップリング９０と、を具えた。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用する環境の温度変化や、経時変化などの影響があっても適切に空間精度補正をすることができる産業機械の提供。
【解決手段】産業機械としての三次元測定機１は、ガイド部２１２と、コラム２２１とで構成され、Ｙ軸方向に沿って移動する移動機構と、コラム２２１の角度を検出する２軸角度計３２と、移動機構を制御する制御装置４とを備える。制御装置４は、角度誤差取得部４２と、パラメータ生成部４３と、補正部４４とを備える。角度誤差取得部４２は、コラム２２１を移動させたときに２軸角度計３２にて検出される角度に基づいて、コラム２２１の位置に対するコラム２２１の角度誤差を取得する。パラメータ生成部４３は、角度誤差取得部４２にて取得されるコラム２２１の角度誤差をコラム２２１の位置で積分することで真直度補正パラメータを生成する。補正部４４は、パラメータ生成部４３にて生成される真直度補正パラメータに基づいて、移動機構の運動誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】高速で、振動と測定誤差の少ない座標測定システムを提供する。
【解決手段】座標測定システムの可動サポートに着脱可能に接続されるコネクタを備えるアナログ走査プローブ１２０であり、走査プローブは、測定軸６３に従って当該走査プローブに回動可能に接続される針部２８の先端の接触部３０と、前記測定軸６３についての前記接触部３０の傾き角の測定を行う位置エンコーダと、を含み、前記コネクタと前記測定軸６３との間に走査プローブ又はプローブの一部を傾けてプローブの走査を可能とする１つの関節６４が備えられる。 （もっと読む）

【課題】分割して測定して求めるしかなかった、連続して測定するのが困難な形状を有する測定対象の形状の公差を、１回の計算で容易に検出可能とする。
【解決手段】連続して測定するのが困難な形状を有する測定対象の形状の公差を検出する際に、設定された複数の部分測定データを抽出し、先頭の部分測定データから基準位置を設定し、該基準位置を用いて、各部分測定データを一つのデータに結合し、該結合したデータを用いて公差を計算する。 （もっと読む）

座標位置測定装置のためのエラー修正方法を開示する。この方法は、（ｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第一のデータ値を含む第一のデータセットを取得するステップと、（ｉｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第二のデータ値を含む第二のデータセットを取得するステップと、（ｉｉｉ）各々が、第一のデータセットにより説明される表面と第二のデータセットにより説明される表面の間の位置差を表す１つまたは複数のエラー値を含むエラーマップを計算するステップと、を含む。第一の物体の面法線が第一のデータ値の各々によって表される各位置において既知であり、ステップ（ｉｉｉ）は、実質的に既知の面法線の方向の位置差を判断することによって各エラー値を計算するステップを含む。加工または測定作業は、第一の物体または第一の物体と名目上同一の物体について実行され、その表面上の位置がステップ（ｉｉｉ）で計算されたエラーマップを使って修正される。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、手動で位置付けることが可能な関節アーム部と、第１の端部に装着された測定デバイスと、ＡＡＣＭＭの構造的コンポーネントであって、軸方向を有する、構造的コンポーネントと、構造的コンポーネントに結合された、それぞれが受感軸を有する少なくとも３つの歪みゲージセンサであって、各歪みゲージセンサの受感軸が、軸方向に対してほぼ平行に向きを決められ、各歪みゲージセンサが、軸方向に垂直な横断面によってほぼ横切られ、アナログ歪みゲージ信号を生成し、歪みゲージセンサが、構造的コンポーネントと横断面の両方の上に存在する任意の点の曲げ歪みを判定するのに十分なデータを提供するように配置される、歪みゲージセンサと、位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。
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基部を有する可搬型の関節アーム座標測定機が、提供される。カバーが、閉じた位置と開いた位置の間を動くように基部に回転可能なように結合される。ディスプレイが、カバー内に配置される。ディスプレイは、筐体の片側に配置された、タッチスクリーン面などのスクリーン面を含む。スクリーン面は、閉じた位置において基部に近接し、開いた位置において基部に対して斜めに配置される。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、提供される。ＡＡＣＭＭ（１００）は、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム（１０４）を含む。アーム（１０４）は、複数の接続されたアームセグメント（１０６、１０８）を含み、アームセグメント（１０６、１０８）のそれぞれは、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。測定デバイス（１１８）が、ＡＡＣＭＭ（１００）の第１の端部に装着される。トランスデューサからの位置信号を受信するための、および測定デバイス（１１８）の位置に対応するデータを提供するための電子回路（２１０）が、設けられる。光源（４０２）が、アーム（１０４）に結合され、測定デバイス（１１８）の近くに光を放射するように配置される。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能なアーム部であって、接続されたアームセグメントを含み、各アームセグメントが、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、アーム部と、ＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。可搬型のＡＡＣＭＭを実装することが、データが送信される送信経路を判定することによって、データが受信される送信元デバイスを特定するステップであって、送信元デバイスが、ＡＡＣＭＭの第１の端部に取外し可能なように装着される、ステップと、送信元デバイスの特定情報に基づいてデータのデータタイプを判定するステップと、データタイプに応じてデータに対してアクションを実行するステップと、アクションを実行した結果を送信先デバイスに出力するステップとを含む。
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可搬型の関節アーム座標測定機（１００）が、提供される。座標測定機（１００）は、アーム部（１０４）とともに基部（１１６）を含む。プローブ端（４０１）が、基部（１１６）から遠位にある、アーム部（１０４）の端部に結合される。プローブ端（４０１）は、締め具（４３８）および第１のコネクタ（４２８）を有する。デバイス（４００）が、締め具（４３８）によってプローブ端（４０１）に取り外し可能なように結合され、デバイス（４００）は、締め具（４３８）がデバイス（４００）をプローブ端（４０１）に結合するときに第１のコネクタ（４２８）に係合するように構成された第２のコネクタ（４２９）を有する。
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可搬型の関節アーム座標測定デバイスが、提供される。座標測定デバイスは、基部と、少なくとも１つのアームセグメントを有する関節アーム部とを含む。付勢部材が、基部に第１の端部で結合され、関節アーム部に第２の端部で結合される。付勢部材の第１の端部は、第１の位置と第２の位置の間を動くことができる。アジャスタが、基部と付勢部材の間に結合される。アジャスタは、付勢部材の第１の端部を第１の位置から第２の位置に動かすために結合される。
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