【課題】傾き角度を任意の角度に変更した場合でも正確な測定ができ、メモリ容量も少なく、新たなスタイラスの使用でもユーザに対する作業負担を軽減できる表面性状測定機。
【解決手段】質量の異なる第２測定アーム２４Ｂが取り付けられた測定アーム２４の種類毎に、測定アーム全体の質量Ｍ、支点（回転軸２３）からスタイラス２６Ｂまでのアーム長Ｌ、測定アームが水平姿勢時において測定アームの水平方向重心位置Ｇｘおよび上下方向重心位置Ｇｚを記憶した測定アームテーブルと、測定アーム指定手段と、検出手段の傾斜角度θ１を検出する傾斜角度検出器と、指定された測定アームのＭ、Ｌ、ＧｘおよびＧｚを測定アームテーブルから読み出し、これらと傾斜角度検出器で検出された傾斜角度θ１とから、測定アームの水平姿勢時の測定力と測定アームの傾斜姿勢時の測定力との差を演算し、この差を補正値として測定力を調整する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧延板材の板幅を高い精度で測定できる測定装置の提供。
【解決手段】熱間圧延ラインに組み込まれて進行経路を進行してきた圧延板材１０１の板幅を測定するための測定装置１である。支持板の下方にあって進行経路と垂直に延びるように敷設された単一のスライドレール３に、進行経路を挟んだ両側に位置する一対の測定部材４０が填合している。測定部材の両側にはこれを移動せしめる第１及び第２サーボモータ手段５０が位置する。この各回転は制御出段によって制御される一方、回転トルクに対応する各電流値を検出する。ここで、制御手段６０は、サーボモータ手段を駆動させて一対の測定部材を近接移動せしめ、圧延板材の一方の側端部に当接して変化する電流値に基づいて、対応するサーボモータ手段の回転を停止させ側端部のスライドレールに対する相対位置を決定する。２つのサーボモータ手段による相対位置から板幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定アームに最適な測定力を発生させる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機は、ブラケットに回転軸を支点として円弧運動可能に支持される測定アーム、測定アームの先端に設けられたスタイラス、及び、測定アームを円弧運動方向へ付勢するボイスコイルを備え、スタイラスに測定力を付与する測定アーム姿勢切替機構６０を備えるスタイラス変位検出手段２０と、制御部１００と、を具備し、制御部１００は、ヒステリシス誤差を取得するヒステリシス誤差取得手段１２４と、目標測定力を取得する目標測定力取得手段１２１と、目標測定力及びヒステリシス誤差に基づいて、測定力指令値を算出する指令値算出手段１２５と、測定力指令値に基づいてボイスコイルに電流を入力する駆動制御手段１２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機動性に優れ、平坦でない計測基準面でも、高い精度で位置を素早く計測できる位置計測装置を提供する
【解決手段】カメラデータ計測装置１は、紐状体２００の紐長変化量と紐状体の紐方向とを計測する位置センサ１００と、両端が位置センサ１００と撮影カメラ９００とに接続された紐状体２００と、紐長変化量及び紐方向に基づいて、撮影カメラ９００のカメラデータを計測する演算装置３００とを備え、演算装置３００が、紐長初期値Ｌ０と位置センサ１００で計測された紐長変化量ΔＬとの和を紐方向での紐全長Ｌとして求め、求めた紐方向での紐全長Ｌを３次元方向成分に分解することで、撮影カメラ９００の位置を示す３次元座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】鉛直下方に延びて、材料側面に測定子１４を接触させて該材料の位置を検出するタッチプローブ１において、柱状に形成された鉛直方向に延びるプローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端に取り付けられた測定子１４と、前記測定子１４の上部であって、プローブ本体長手方向に形成された二つの切れ込み１８ａ、１８ｂと、該二つの切れ込み１８ａ、１８ｂにより、連結部が形成され、該連結部を支点２０ａ、２０ｂとして可動する可動部分と、前記支点２０ａ、２０ｂを挟むように形成される差動変圧部とを備え、互いに直交する２方向の変位を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】測定機構への埃の進入を軽減する。
【解決手段】フレーム保持手段１００が、左右のリムＲＩＬ、ＲＩＲを挟み込んで保持する第１スライダー１０２及び第２スライダー１０３を有し、クランプピン２３０ａ、２３０ｂを持つ左リムクランプ機構とクランプピン２３０ａ、２３０ｂを持つ右リムクランプ機構とがそれぞれ第１スライダー１０２及び第２スライダー１０３に配置され、第１スライダーが左右のリムの上側に当接する第１面１０２１を有し、第２スライダーが左右のリムの下側に当接する第２面１０３１を有する。フレーム保持手段は、第１面と第２面との間隔が変化する方向に第１スライダー及び第２スライダーを移動可能に保持する移動手段であって、第１面と第２面とが接触される第１状態と、左右のリムを保持するために第１面と第２面とが離された第２状態と、に切換え可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】直接目盛りを当てることが難しい箇所におけるかぶり厚さをコンクリート打設前に測定することが可能な見込みかぶり厚さ測定器具を提供する。
【解決手段】所定方向に長く当該所定方向に沿って目盛りが設けられた目盛り部、及び、前記目盛り部の一方の端に設けられ、前記目盛り部とともに前記所定方向に移動して前記鉄筋に当接される鉄筋当接部、を有する移動部材と、前記所定方向に長く、前記移動部材の前記所定方向への移動をガイドするガイド部、及び、前記ガイド部の一方の端に設けられ、前記鉄筋と対向する前記型枠の内面に当接される型枠当接部、を有するガイド部材と、を備え、前記移動部材が、前記ガイド部に沿って移動されて前記鉄筋当接部が前記鉄筋に当接され、かつ、前記型枠当接部が前記内面に当接されているときの、前記ガイド部の他方の端が位置する前記目盛りにて前記見込みかぶり厚さが示される。 （もっと読む）

【課題】高カーブフレームの精度の良い測定を可能にし、型板測定においても型板トレースの精度の向上を図ることが可能な眼鏡枠形状測定装置を提供する。
【解決手段】測定子２８１が取り付けられた測定子軸２８２を傾斜可能に保持する保持ユニット２５０と、測定子軸の傾斜角度を検知する手段と、ＸＹ移動手段と、Ｚ方向の軸を中心に回転する回転手段２６５と、を有する測定ユニットを備え、型板測定モード時に、測定子軸の背面を型板のエッジに接触させるように回転手段及びＸＹ移動手段を制御する制御手段と、保持ユニットのＸＹ方向の位置情報、回転手段の回転情報及び傾斜角の検知情報とに基づいて型板の動径情報を求める演算手段と、を備え、制御手段は、型板の測定途中では、測定済み情報に基づき、測定子軸の背面が型板のエッジに接触したときに測定子軸の傾斜が垂直を維持するように、回転手段及びＸＹ移動手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】測定子を径方向とこれと垂直な方向の２方向に移動可能とすることでポケットギアも検査可能な偏心測定装置を提供する。また、歯溝の平行度を検査可能な偏心測定装置を提供する。
【解決手段】偏心測定装置５０によれば、測定子３４を径方向（Ｘ軸方向）とこれと垂直な方向（Ｚ軸方向）の２方向に移動する。これにより、歯溝の外側に外壁が形成されたポケットギアの検査も問題なく行うことができる。また、測定子３４が２方向に移動するため、歯溝の平行度の検査と偏心度の検査とを一つの測定子３４で連続して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】測定作業の効率化および測定精度の向上に資することが可能な測定マーカを提供する。
【解決手段】三次元位置測定器１０２を使用して被験者１０４の身体の各部位から位置データを取得する三次元位置測定構造１００であって、三次元位置測定器１０２のプローブ１１６の先端に設けられた球形のボール部と、プローブ１１６に取り付ける長尺なジグ部材１１０と、被験者１０４の身体の各部位に取り付けられる磁性を有するマーカ部材１０６とを備える。上記のジグ部材１１０は、一端に設けられボール部と連結してボールリンクを形成するホルダ部１１２と、他端に設けられた磁性を有する球体部１１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】プローブの接触要素に作用する力に対して非常に敏感であって、プローブに対する損傷を妨げるために、適度に頑丈であるプローブを提供する。
【解決手段】位置決定装置用のプローブは、プローブ本体１８および加工対象物に接触するスタイラス１４を有する。ひずみ感受性構造体は、プローブ本体１８およびスタイラス１４を接続し、そして、曲げられる部材３０を含む。曲げられる部材３０は、例えば長方形の横断面を有する。曲げられる部材３０の曲げに基づく信号を提供するように、一対のひずみ検出要素３３が曲げられる部材の反対側に位置する側部に取り付けられる。これは、ひずみ感受性構造体に、頑丈さと、曲げに対して感度が良いことの両方を可能にする。 （もっと読む）

【課題】種々の範囲の内径を直接測定することができる高精度且つコンパクトな内径測定装置を提供する。
【解決手段】孔の内径を測定する内径測定装置において、前記孔に挿入するヘッドを、従来技術に係る内径測定装置のようにテーパ部材の軸方向における進退移動によらず、ガイド溝を備える回転部材３の回転によって前記孔の直径方向に移動可能な複数のガイドによって構成し、これら複数のガイドの少なくとも一部の前記孔の内壁に対向する側の端部に接触子１を配設し、且つ前記複数のガイドの変位及び前記接触子１の変位から前記孔の内径を求める。 （もっと読む）

【課題】エッチングを行うことなく膜厚を簡易に測定することができる膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、基板Ｓ上に形成された膜Ｓ１の膜面の一部を切削して基板面を露出させる切削部１と、露出された基板面と膜面との段差を測定して前記膜の膜厚を測定する測定部とを備えた膜厚測定装置であって、切削部は、膜面を切削する刃２１が設置された刃部２０と、前記刃部２０を移動させる移動手段と、前記刃２１を基板側に押圧する押圧手段とを備え、該押圧手段により刃２１が基板Ｓ側に押圧された状態で該刃部２０を移動させて膜面の一部を切削する。 （もっと読む）

【課題】押圧専用バネを廃止することにより、軌道検測装置を移動させるに必要な力（移動搬力）を小さくする。
【解決手段】永久磁石のマグネット押圧力と軌間測定用センサ１１に設けられたセンサ押圧用バネ１１Ｆの反作用（バネ押圧力）を利用して固定アーム３に設けられたサイドローラ７を第１レールＲ１の側面に押圧する。これにより、軌道検測装置１の単純構造化及び軽量化が可能となるともに、押圧専用バネを廃止してバネによる押圧力を小さくすることができるので、移動搬力を小さくすることができる。延いては、移動（退避）時に、大きな衝撃力が軌道検測装置１に作用してしまうことを未然に防止できるので、移動時に軌道検測装置１が損傷してしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化するとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能とする表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】まず、ピックアップ１６で所定の試験片８０を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ１６の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ１６が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）