【課題】測定アームを交換しても、測定アームのバランスを自動的に調整し、使い勝手および作業効率の向上が期待できる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成される。測定アームを円弧運動方向へ付勢しスタイラスに測定力を付与する測定力付与手段は、測定アームを回転軸を支点として円弧運動方向へ付勢するボイスコイル６２を含んで構成される。第２測定アームの交換後に、ボイルコイルに通電する電流を調整して測定アームのバランスを調整するバランス調整手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により１つのゲージで測定対象物の内外径寸法を精度良く測定することができる寸法測定装置及び寸法測定方法を提供すること。
【解決手段】測定装置２０において、径方向寸法を測定するためのＸ軸ダイヤルゲージ２１と、内径測定子２７と、外径測定子２８と、内径測定子２７及び外径測定子２８が取り付けられた測定子取付部材２９と、測定子取付部材２９とＸ軸ダイヤルゲージ２１の測定子２１ｃとの間に配置され、内径測定子２７及び外径測定子２８の移動に連動してＸ軸ダイヤルゲージ２１の測定子２１ｃを移動させるとともに、Ｘ軸ダイヤルゲージ２１のスピンドル２１ａを押し込む方向に付勢力を付加又は解除することにより、内径測定子２７又は外径測定子２８を測定対象物に接触させた際におけるスピンドル２１ａの移動方向を切り替える切替機構３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】鉛直面及び水平面いずれについても小さい測定力による測定を可能とする。
【解決手段】三次元形状測定装置用プローブ１は、取付用部材２、揺動部３、連結機構、アーム取付部１２０、及び板バネ９Ａ，９Ｂ、及び取付用部材２を備える。アーム取付部１２０にはスタイラス１２１が下端に配置されたアーム１２２が垂下して取り付けられている。アーム取付部１２０は板バネ９Ａ，９Ｂを介して揺動部３に保持されている。揺動部３は連結機構によって水平方向に傾動可能に取付用部材２に連結されている。揺動部３の可動側磁石と取付用部材２の固定側磁石との間の磁気的吸引力によりアーム１２２が鉛直方向に延びる中立位置に揺動部３を復元させる復元力が作用する。鉛直面測定時の測定力は可動側磁石との間の固定側磁石の磁気的吸引力により得られる。水平面測定時の測定力は板バネ９Ａ，９Ｂが鉛直方向に撓むことで得られる。 （もっと読む）

【課題】先端球をステムと同一の材料で短時間で効率よく一体成形することで、スタイラスを高い信頼性で成形可能とする。
【解決手段】棒状のステム１０４と該ステム１０４の先端に設けられた先端球１０６とを備えて接触式計測用プローブに用いられるスタイラス１００の成形方法において、前記ステム１０４を位置決めする工程と、該位置決めされたステム１０４の先端部分にレーザ光１２８を照射する工程と、該レーザ光１２８を照射して該ステム１０４の先端部分を溶融後、表面張力により該溶融部分を前記先端球１０６として成形して固化するまで放置する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安価の構造で、外乱振動の影響を軽減できる形状測定機および倣いプローブ装置を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、相対移動機構のＺ軸スライダに保持されたケース体１１と、このケース体の内部に往復移動可能に設けられたプローブ本体１２と、このプローブ本体の先端に設けられた力センサ２０と、プローブ本体を往復移動させる駆動アクチュエータ１４とを含む。ケース体とプローブ本体との間にはプローブ本体の往復移動方向へ振動可能な振動素子１７が設けられている。力センサからの力検出信号を基にプローブ本体に伝わる外乱振動を相殺する振動を振動素子１７から発生させる相殺振動発生手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】水平面に近い形状を有するときにも高精度かつ低測定力で測定が可能なプローブを提供する。
【解決手段】直動部６は鉛直方向にのみ直動可能に取付部２に支持される。揺動部３は、測定物６０の被測定面６１に接触するスタイラス１２１を先端に備えるアーム１１２を有する。連結機構４は、揺動部３側の支持部材４２の尖端を直動部６側の載置台４１に形成された溝４１ａに嵌入することで、揺動部３を直動部６に対して揺動可能に連結する。揺動側磁石５１と非揺動側磁石５２との間の磁気的吸引力により、アーム１１２を鉛直方向に向ける付勢力が揺動部３に作用する。可動側磁石７１と固定側磁石７２との間の磁気力により、直動部３に鉛直方向上向きの付勢力が作用し、直動部３は取付部３に対して鉛直方向に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】接触子に加えられる負荷の方向と、負荷の大きさと、変位センサにて検出される変位との関係を容易に調整することができる変位センサの提供。
【解決手段】変位センサ５は、対象物に接触する測定子２Ａを先端部に有するスタイラス５１と、スタイラス５１を内部に収納する筒状のハウジング５２と、スタイラス５１、及びハウジング５２の間に設けられ、スタイラス５１を揺動自在に支持する２つの支持部材５３とを備える。各支持部材５３は、スタイラス５１が取り付けられる取付部と、ハウジング５２の内部に固定される固定部と、取付部、及び固定部を接続するバネ部とを備え、スタイラス５１の軸方向に離間して配置されている。 （もっと読む）

【課題】高さの測定作業を連続して行えず、硬さの測定作業と別々に行うので、作業性が低い。
【解決手段】 所定面積を有する表面が平坦なプレート３に対して検出装置４の振動体５を相対的に移動させ、プレート３に装着した被測定体１の表面に振動させた前記振動体５を振動数が変化するまで接近させ、該振動体５の振動数が変化した位置を、振動体５が被測定体１に接触した接触位置と出力し、被測定体１に振動体５が接触した位置とプレート３の表面位置とを対比して被測定体１の厚さを測定する測定方法。 （もっと読む）

【課題】スタイラスと測定対象との間に生じる摩擦やスティックスリップの影響を低減して走査法により形状測定を行うことができる接触式変位センサを提供する。
【解決手段】被測定物１００の変位を感知する接触式変位センサ１は、被測定物１００に対して進退可能に取り付けられる可動軸３と、可動軸３の先端に取り付けられ、被測定物１００の表面を走査されるスタイラス４と、スタイラス４と可動軸３との間に取り付けられる振動子５とを備え、振動子５は、振動子５のばね定数、振動子５とスタイラス４の取り付け部におけるばね定数と粘性係数、振動子５と可動軸３の取り付け部におけるばね定数と粘性係数、振動子５の等価質量、可動軸３の質量、及びスタイラス４の質量に基づいて決定される好適周波数帯域内の周波数で振動され、スタイラス４は所定の振幅で軸線方向に振動され、かつ可動軸３はほとんど振動しないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周囲温度によって変化するスタイラスの長さ変化を、簡易にかつ短時間で求めることができ、これを基に測定値を補正できる表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】スタイラス、加振素子４、検出素子５を有するセンサ１と、これを被測定物に対して相対移動させる駆動用アクチュエータ１１と、センサによる被測定物の測定位置を測定位置情報として出力する検出器１２と、設定周波数の加振信号を発振し加振素子に与える発振器３４と、制御手段３１とを備える。制御手段は、検出素子からの検出信号の振幅が最大となる周波数に発振器の設定周波数を補正する周波数補正手段と、この周波数補正手段によって補正された設定周波数を共振周波数としてスタイラスの長さ情報を取得するスタイラス長さ情報取得手段と、このスタイラス長さ情報取得手段によって取得されたスタイラス長さ情報を補正値として測定位置情報を補正する測定位置情報補正手段とを備える。 （もっと読む）

被加工物の表面を測定するための装置が説明される。装置は、座標位置決め機械のような機械（２６）の可動アームに取り付けられ、そして、第１回転軸（１Ａ）および第２回転軸（２Ａ）まわりに回転でき、それら軸がそれぞれ第１モーター（Ｍ１）および第２モーター（Ｍ２）によって駆動される、支持体（７）を備える。装置は、付加的に、第３回転軸（４Ａ）まわりに回転できる、被加工物の表面を感知するための表面感知デバイス（４）を備える。この第３回転軸（４Ａ）は、第１回転軸（１Ａ）に合わさることができ、合わされた場合、表面感知デバイス（４）に対する支持体（７）の回転は、表面感知デバイス（４）がホルダー（７０）によって動かないように保持されるとき、第１モーター（Ｍ１）によって作動可能である。被加工物の表面を測定するための装置を使用するための方法は、また説明される。
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【課題】簡単な構成で容易にかつより再現性よく力センサを位置決め可能な接触式倣いプローブシステムの提供。
【解決手段】プローブ本体２００に、コネクタ正面部２６１Ａに立設する中間閉塞部２５０と、雄ねじ部１１０が螺着される雌ねじ部２６１Ｄとを設けている。センサモジュール３００に、コネクタ正面部２６１Ａに摺接される摺接部３２２と、中間閉塞部２５０に押圧される押圧部３２１と、挿通孔部３２５とを設けている。挿通孔部３２５に、ねじ孔形成先端面部３２４側の開口における押圧部３２１側が摺接部３２２側にしたがって押圧部３２１から離れる状態に傾斜する拡開部３２５Ｂを設けている。挿通孔部３２５を、雄ねじ部１１０の太さよりも大きい孔幅に形成している。 （もっと読む）

表面測定プローブのドリフトを判定する装置および方法。この表面測定プローブは、ハウジングと、表面接触スタイラスと、スタイラスを振動させる振動発生器と、スタイラスの振動の変化に関係したパラメータを決定する感知デバイスと、パラメータとしきい値との関係を判定する比較器とを有する。スタイラスが表面と接触していないときにパラメータの読みが読み取られ、表面に触れたときの遷移時間よりも有意に長い時間ｔにわたってこのパラメータの読みが平均される。このパラメータの読みの平均が基準パラメータと比較される。この比較が、パラメータの有意のドリフトがあったかどうかを判定するために使用される。このようにして、温度変化に起因したドリフトが補正される。
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【課題】周囲温度の変化に対しても、設定した一定の測定力で測定を行うことができ、その結果、高精度化、使い勝手向上および信頼性向上が図れる表面性状測定装置および表面性状測定方法を提供。
【解決手段】スタイラス、加振素子４、検出素子５を有するセンサ１と、これを被測定物に対して相対移動させる駆動用アクチュエータ１１と、設定周波数の加振信号を発振し出力する発振器３４と、発振器からの加振信号の振幅を設定ゲインに応じて補正してセンサの加振素子に与える第１可変アンプ３５と、制御手段３１とを備える。制御手段は、検出素子からの検出信号を検出し、検出信号の振幅が最大となる周波数に発振器の設定周波数を補正する周波数補正手段と、この周波数補正手段によって新たに設定された新設定周波数と旧設定周波数との差に応じて第１可変アンプ３５の設定ゲインを調整する加振用ゲイン調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物表面に対する負荷が小さい接触プローブを提供する。
【解決手段】被測定物表面に当接する接触部３１２を先端に有する測定子３１０と、測定子３１０の変位を検出する検出センサと、測定子３１０の軸方向とは略直交して配置された弾性体のプレートであって測定子３１０の基端側を支持する支持プレート４２０と、測定子３１０を変位させるスタイラス変位手段４４０と、を備える。スタイラス変位手段４４０は、支持プレート４２０に応力を付与してそれぞれの点における支持プレート４２０の弾性変形量を変化させるアクチュエータ４４１〜４４３を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であって、測定子の変位を高精度に検出する変位センサを提供する。
【解決手段】測定子２００と、測定子２００を支持するセンサ本体部３００と、を備える。センサ本体部３００は、光源４２１と、受光光学系４３０と、光束シフト手段６００と、を備える。受光光学系４３０は、光を受光して受光信号を出力する光センサ４４０と、光センサ４４０の前段に配設されたスリットプレート４５０と、を備える。光束シフト手段６００は、測定子とともに変位する反射ミラー４１０と、反射ミラー４１０と受光光学系４３０との間に配設された集光レンズ４２３と、を備える。スリットプレート４５０は、４本のスリット４５１〜４５４を有する。光センサ４４０は、４つの受光部４４１〜４４４に分割され、受光部４４１〜４４４ごとに各スリット４５１〜４５４を通過した光を受光して受光信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】測定圧が低く、広い測定角度のタッチプローブの接触検出方法及び装置を提供。
【解決手段】一定の励起周波数（ｆ）で正弦波振動させられた触針部５ａと、触針部の振動波形を測定出力するセンサユニット７を有するタッチプローブの接触検出方法であって、センサユニットによって出力された振動波形を周波数分布に変換し、励起周波数の整数（ｎ）倍の所定の高調波（ｎ×ｆ）の値があらかじめ定められた閾値以上となった時に、タッチプローブが被測定対象物に接触したと判定する。また、所定の高調波は励起周波数（ｆ）の二倍の高調波（２×ｆ）である。さらには、励起周波数（ｆ）は触針部の固有振動数とは異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】 測定面の傾斜角が大きい場合でも、安定した測定が可能であり、測定誤差の増加を抑制して、安定かつ高精度に形状測定することができる触針式形状測定装置とその方法を提供する。
【解決手段】 軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に対して一定角度傾斜して設置された斜軸測定プローブ１と、軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に平行に設置された直軸測定プローブ２とを備え、これらの複数の測定データをつなぎ合わせることで全体形状を求める。 （もっと読む）