【課題】測定子やロボットチャックの位置調整を行う際に、多少の位置ずれが生じていても、測定や組み付けを滞りなく行うことを可能とするフローティング装置を提供する。
【解決手段】一方の面の中央に突出した棒状の固定軸３を有する板状の取付け部材２と、固定軸３の外周に被嵌され、基部が取付け部材２に弾性部材を介して固定された円筒体４と、固定軸３の外周と円筒体４の内面間に介在して円筒体４を弾性的に保持するエアパッド５と、を有するフローティング装置１。 （もっと読む）

【課題】探針の交換を、支点を傷めずに、片手でワンタッチで行うことができる触針式表面形状測定器用の探針交換用冶具を提供する。
【解決手段】探針交換用冶具は、触針式表面形状測定器に下方から装着可能なハウジングを備え、ハウジングが測定器に装着された時に、測定器の第一支持部材２に接触して、第一支持部材２を下方から持ち上げて、支点用針５を支点支持面から離間させる押上面２６ａをハウジングに設け、ハウジングに、探針と共に測定器の第二支持部材を取り外す探針交換部材２１を上下方向に移動可能に設け、探針交換部材２１の上端に磁石２２を配置し、ハウジングを下方から測定器に装着した状態において、探針交換部材２１がハウジングに対して最上位置にある時に、磁石２２で第二支持部材の高透磁率部材１７を吸着し、そのままの状態で、探針交換部材２１を下方に下げることにより第二支持部材を第一支持部材２から取り外すように構成する。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】プローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子１４と、前記プローブ本体１２内に形成され、前記プローブ本体１２の軸方向に垂直でかつ互いに直交する２方向に変位可能に構成された変位機構と、前記２方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部２５
ａ、２５ｂと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極間に温度差が生じる場合であっても、プラズマ放電中の電極間の距離を測長治具を用いて首尾良く測定するための技術を提供すること。
【解決手段】メス部品２２０、およびメス部品２２０に嵌挿されているオス部品２１０を備えている測長治具２００をプラズマ放電のための第１の電極１１および第２の電極１２の間に配置して、プラズマ放電中の第１の電極１１および第２の電極１２の間の距離を測定する測長方法であって、プラズマ放電中、第２の電極１２は、第１の電極１１よりも高温となり、測長治具２００は、オス部品２１０が第２の電極１２に接するように配置される、測長方法。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】微小表面形状測定プローブは、被測定物１と接触する接触子を２先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するようにプローブ本体に組み込まれた圧電センサと、圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部と、荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部と、接触子２を通して被測定物１との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子２と被測定物１との接触を感知する接触感知装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】てこ式検出器に対して複数種のスタイラスを交換する作業の負担を軽減でき、複数種のスタイラスを自動で交換できるてこ式検出器、スタイラスおよびスタイラス自動交換装置を提供する。
【解決手段】スタイラスホルダにスタイラス３１を装着するため、ホルダの軸体３６の中心軸に直交する方向にスタイラス本体３３の長尺方向を合わせて、かつ軸体３６の中心軸に直交する方向にスタイラス本体３３に設けた着座板体３４を移動させた場合に、この着座板体３４に位置するスタイラス３１全体の重心（重心軸）まで軸体３６を案内する略Ｕ字状の切欠部を、当該着座板体３４に形成する。切欠部によって軸体３６が重心まで案内された状態で、板状揺動体３７が着座板体３４を着脱可能に保持する。 （もっと読む）

本発明は、座標測定装置内のワークピースの構造および／または形状を、触覚光学式の測定法によって決定するための方法であって、少なくとも１つの方向における接触型プローブ要素の位置を、光学的に横方向に測定する方法で、第１のセンサによって決定し、かつ、少なくとも１つの第２の方向における接触型プローブ要素の位置を、少なくとも１つの距離センサによって決定する方法に関する。複数のセンサによる接触型プローブ要素の誤りのない検出を可能にするために、接触型プローブ要素を保持手段に取り付けるために、第１のセンサの光路によってビーム方向に貫通される少なくとも１つの柔軟な接続要素を使用し、該接続要素は透明であり、および／または第１のセンサに対し大幅に焦点を外して設けられることが提案される。 （もっと読む）

【課題】構造物にある大きさの変位がどの程度発生したかまで記録できる従来の装置は構
造が複雑であり、原子力プラントのように多数の設置が求められる場合は適用が困難であ
った。
【解決手段】被計測物上に固定された変位履歴記録用部材と、この変位履歴記録用部材と
は独立して前記被計測物上に固定されており、前記変位履歴記録用部材に接する切削端を
有する切削具により、変位履歴記録用部材と切削具の固定位置間に変位が生じると、切削
具が変位履歴記録要部材を切削して記録する。 （もっと読む）

【課題】微粒子の接触体を用いて、矩形溝形状を有するマイクロマシン等の三次元形状を高精度で測定する。
【解決手段】接触体６は、可撓性の支持部材５と透明な固定部材４によってプローブ本体９に連結される。対物レンズ３にてレーザ光Ｇを集光させ、接触体６の底面に焦点を合わせて光放射圧によって接触体６を被測定物１３の表面に接触させる。レーザ光Ｇを音響光学偏向器２によって偏向させることで、接触体６を任意の方向に振動させることができる。被測定物１３が矩形溝形状を有する三次元構造体であっても、接触体６の振動方向を調整することで高精度な形状測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】より正確な測定を可能にする新規な測定プローブを得ること。
【解決手段】座標測定機に使用するための測定プローブが、座標測定機に接続された基部１、測定チップ４、および測定チップ４の第１の端部に配置された球５を有している。測定チップ４は、基部１によって支持される少なくとも３つのリジッドな支持体２を用いてその第２の端部で支持され、それにより支持体２が球形の接続部によって測定チップに接続され、支持体２をその長さ方向に沿って基部１に対して移動させることが可能になる。支持体２は、程度にかかわらず基部１の測定チップ・ホルダ３と反対の側に突出することによって基部１を貫通すること、およびその長さ方向に沿って移動させることができるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】高水準の繰返し精度を保障する測定ヘッドを提供する。
【解決手段】機械部品の長さ寸法検査のためのヘッド１であって、溝１２および長手方向の幾何学的な軸を規定するケーシング３を備えた支持構造材と、アーム２０およびフィーラ２７を備えた支持構造材に対して移動可能であるアームセットと、横断軸を中心にして支持構造材に対してアームの移動を可能にするために、アームと支持構造材との間に配置される支点３０と、検査対象の機械部品の表面に向かってフィーラを付勢するために、アームと支持構造材との間に配置されるスラスト装置６０と、支持構造材に対してアームの位置に応じた信号を供給するために、アームおよび支持構造材に連結される変換器９０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 装置自体を大型化させず、測定誤差を発生しにくくしたり、眼鏡枠の変形防止などの複合機能を備える眼鏡形状測定装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡枠の玉型形状を測定する眼鏡形状測定装置において、眼鏡枠に直交する第１軸線を中心に回転するとともに眼鏡枠に対峙したテーブル６に設けられ、接触子９ａを径方向に移動自在に支持する接触子移動機構１０とを備え、接触子移動機構は、第１軸線と直交する第２軸線を軸心とするテーブルに設置された支持軸１２と、支持軸に軸着され、第１軸線、第２軸線と直交する第３軸線の方向に揺動自在となした主動アーム１３と、主動アームに連結軸１６を介して連結され、連結軸を軸心として第３軸線の方向に揺動自在となした従動アーム１５と、従動アームに軸着され、接触子９ａをテーブル６の表面から眼鏡枠に向けて突出させる接触アーム９とを有し、接触アームを眼鏡枠に接触させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定子の位置を一定に維持しつつ、プローブのアライメント調整が可能なアライメント調整機構、および測定装置を提供する。
【解決手段】アライメント調整機構１０は、Ｘ軸方向に沿って平行な第一、第二調整端辺を有する調整板４０と、調整板４０に設けられるプローブ固定部６０と、プローブ固定部６０に固定されるプローブ８と、Ｙ軸方向の移動が規制されるとともに、Ｘ軸方向に沿って平行な第一、第二基部端辺を有する補強板３０と、調整板４０をＹ軸方向に押圧するＹ方向調整ネジ７０と、第一調整端辺および第一基部端辺、第二調整端辺および第二基部端辺を連結する調整連結部５２１と、を具備し、プローブ８の測定子８Ｃは、初期状態で、第一調整端辺および第一基部端辺を含む第一傾斜面、および第二調整端辺および第二基部端辺を含む第二傾斜面の交線上に配置される。 （もっと読む）

【課題】熟練が全く要らず、まるで外径測定を行う感覚でシリンダゲージのゼロ合わせをすることができ、かつ製造コストも安価で保守も簡単なシリンダゲージ用ゼロ合わせ装置を提供する。
【解決手段】ベース体と、測定子面受け部と、ガイドレールと、前記測定子面受け部と同一軸線上かつ昇降自在に設けられ、前記シリンダゲージの換えロッドを軸心上に受けるための換えロッド受け部を有し、前記ガイドレールに摺動可能に設置された換えロッド軸心上受け部材と、前記測定子面受け部と相対向して同一軸線上に設けられ、先端に前記換えロッドの先端面を受けるための換えロッド面受け部を有するスピンドル部と、前記スピンドル部が設けられたマイクロメータヘッドと、を含むようにした。 （もっと読む）

【課題】 ある点の測定後のスタイラス（測定ヘッド）のセンター（原位置）への復帰を瞬時に自動的に正確に行える三次元測定装置を提供すること。
【解決手段】 スタイラス（測定ヘッド）を原位置に復帰せしめるべくプローブユニット内に配設される、スタイラスと同軸上に延在するセンターピンと同一部材から製造されるとともにセンターピンと平行に延在する一対のストッパーピンを挟持して前記センターピンの外径と同一間隔を規定する、相対向し水平移動する一対のリミッタと、該リミッタをその背面から押圧付勢する圧縮ばねからなるセンターピンＸ方向復帰機構およびＹ方向復帰機構をＺ軸方向に二層に配設したセンターピン復帰機構を有してなる三次元測定装置。 （もっと読む）

【課題】円滑にかつ正確に偏心量を測定できる測定器を提供すること。
【解決手段】測定器３０は、軸体に取り付けられる本体３１、軸体から筒体の内周面までの間隔寸法を測定する測定手段３４、先端から入力される操作駆動力を測定手段３４に伝達する操作手段３２を備える。測定手段３４は、中心軸の周囲に所定角度の間隔で配置された４つのスピンドル４１、スピンドル４１を長軸方向に沿って付勢する付勢部、スピンドル４１が付勢によって前進しないように保持するリングを有する。リングが回転すると、スピンドル４１の保持を解除される。本体３１を筒体に挿入した状態で、リングを回転させてスピンドル４１を前進させ、その先端が筒体の内周面に当接した状態にする。そしてスピンドル４１の位置から間隔寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】強い振動環境下においても長期にわたって高い測定精度を維持しうる接触センサの提供。
【解決手段】ハウジング４２と、プローブ４４と、プローブ４４に固定され、ハウジング４２の内部に配置される接続子４８と、接続子４８と当接することにより導通する端子４９と、接続子４８が端子４９に当接するようにプローブ４４を付勢する第一付勢手段５３と、第一付勢手段５３による端子４９への接続子４８の当接を解除する解除手段４５と、ハウジング４２の内部であって、少なくとも端子４９と接続子４８との周囲を満たす絶縁性を備えるオイル８０と、オイル８０をハウジング４２内部に留める封止手段７０と、端子４９と接続子４８との当接の解除状態において、ハウジング４２に設けられる保持孔６２と係合し、プローブ４４をハウジング４２に対して固定する固定部材６０と
を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送される記録材に接触して回転する回転体の回転から記録材の長さを測定する技術に係り、回転軸と揺動軸とを結ぶ線と、搬送面とが平行でない場合に比較して、回転軸の記録材の面に垂直な方向における位置の変化による測定誤差の影響を低減する。
【解決手段】測長ロール１０１を揺動可能な状態で支持する揺動アーム１０３を用紙１１２の搬送面に平行とし、測長ロール１０１の軸位置の上下動に起因する用紙１１２の搬送方向における長さの測定誤差を低減する。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）