【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）