【課題】組立て調整時に電極パターンと接点部とを高い精度で位置決めすることができる位置検出装置と、これを具備する光学機器を提供すること。
【解決手段】少なくとも一対の接点部（１８ａ）を有するブラシ部（１８）と、前記接点部に摺動しつつ当該接点部に対して相対移動する電極パターン（１６）とを備えた位置検出装置（１０）であって、前記ブラシ部は、支持部（１８ｂ）に接続されて前記電極パターンに沿って延在する第１部分（１８ｅ）と、前記第１部分に接続されて前記電極パターン方向に凸形状で当該凸形状の頂点近傍に前記接点部を有する第２部分（１８ｆ）とを有し、前記第２部分は、前記ブラシ部を真上から見たとき、前記第１部分における前記電極パターンに沿った軸の両側の少なくとも一方に凸形状に形成されていることを特徴とする位置検出装置。 （もっと読む）

【課題】より高精度の磁界検出を可能とする磁気エンコーダを提供する。
【解決手段】この磁気エンコーダは、長手方向において所定のピッチで着磁された帯状の磁気メディアと、その磁気メディアの表面上を長手方向に沿って摺動しつつ、磁気メディアからの磁界を検出する磁気センサ１と、磁気センサ１を支持し、磁気センサ１を磁気メディアの表面に付勢するサスペンションとを備える。磁気メディアは、例えば円筒状の回転体の外面に、その長手方向が回転体の回転方向と一致するように取り付けられている。磁気センサ１は、基体２１上に設けられた磁気抵抗効果素子２２と、それを覆う第２および第３の絶縁層Ｚ２，Ｚ３とを有する。磁気メディアと対向する対向面１Ｓは、磁気メディアの長手方向に沿った断面において、磁気抵抗効果素子２２の配置された中央領域ＷＲ１が最も突出した形状を有する。 （もっと読む）

【課題】光検出手段としてフォトダイオードやフォトトランジスタを用い、光検出手段と電極間とのインピーダンスから、測定対象物の電気特定及び光特性を同時に測定する対象物検出装置を提供する。
【解決手段】測定対象物２０の方向に対して光を照射するＬＥＤ３ａと、照射した光の反射光を受光して電気的な信号に変換するフォトダイオード３ｂと、フォトダイオード３ｂに並列に接続し、所定の間隔で離隔配設される１対の電極２ａ，２ｂと、フォトダイオード３ａ及び電極２ａ，２ｂに接続する交流電源と、並列に接続されるフォトダイオード３ａ及び電極２ａ，２ｂ間のインピーダンスを測定するインピーダンス測定部４２と、測定対象物２０の電気特性及び光特性に関する情報を予め記憶する対象情報記憶部４５と、測定したインピーダンスの値と、記憶されている測定対象物２０に関する情報とから、測定対象物２０の材質及び／又は接近距離を判別する対象物判別部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】組立・調整作業が容易で良好な出力特性が得られる小型の位置検出装置およびこれを用いたレンズユニットを提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子３を保持するホルダ５は、一端に磁気抵抗素子３の感受面と略平行且つ移動方向と直交する方向に突出した凸部を有し、ベース７は、前記凸部が挿入される凹部と、光軸と平行な方向に配設され、互いに平行な２つの平面部２５を有する２つの突出部２１と、ベース７を鏡筒に取り付ける位置決め手段とを備え、シムは、突出部２１に設けられた平面部２５と前記鏡筒との間に挿入され、ベース７を前記位置決め手段によって前記鏡筒に取り付ける際に、ベース７が突出部２１を基点として湾曲することにより、磁気記録媒体と磁気抵抗素子３の間隔を調整し、前記シムは、その厚みを変更することで前記ベース７の前記鏡筒に対する距離が調整され、磁気抵抗素子３の前記磁気記録媒体に対する倒れが補正される。 （もっと読む）

【課題】位置検出の精度の高い位置検出装置、駆動機構、及び内視鏡装置を提供すること。
【解決手段】駆動部材１５に対して直線移動する被駆動部材１７の位置を検出する位置検出装置３０であって、駆動部材１５に対して位置決めして設けられた固定子３１と、被駆動部材１７に設けられた移動子３４と、被駆動部材１７と移動子３４とを連結し、被駆動部材１７の直線移動方向における被駆動部材１７に対する移動子３４の進退移動を規制する弾性体２０と、を備え、弾性体２０は、移動子３４が固定されているとともに移動子３４を固定子３１へ向けて付勢する軸部２３を有し、軸部２３は、移動子３４を固定子３１に接触させ、且つ、駆動部材１５に対して被駆動部材１７が直線移動されたときに、固定子３１に対する移動子３４の位置を、固定子３１の外面形状に沿って追従させる。 （もっと読む）

【課題】基板に対する磁気センサと磁石の配置構成の簡素化を図るとともに、検出精度を落とすことなく、汎用的な基板および磁石を用いた場合においても、基板と磁石とのギャップを小さくして装置の小型化、薄型化、軽量化を図ること。
【解決手段】磁気センサ５３は、基板５１上に少なくとも１個以上が、磁石５２を基板５１に投影した領域外に配置され、磁気センサ５３の感磁方向が基板５１に対して垂直である。磁石５２は、基板５１に平行な平面内で、任意の一方向に移動可能で、基板５１からの最近接部の距離Ａが、磁気センサ５３の最遠隔部の距離Ｂよりも基板５１の近くに支持されるように磁気センサ５３と同じ面側に配置され、移動方向にＮ極とＳ極が並んで着磁された磁石である。 （もっと読む）

【課題】２軸に傾動可能な光偏向装置において、それぞれの軸の周りの傾動角度を正確に検出することが可能が技術を提供する。
【解決手段】本出願の光偏向装置は、基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動可能な傾動部と、前記傾動部に固定されているミラーと、前記傾動部を前記基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動させるアクチュエータを備えている。その光偏向装置は、前記傾動部に固定されている磁束源と、前記基板に固定されており、前記磁束源が発生させる磁束密度を検出する第１、第２、第３および第４磁気センサを備えている。その光偏向装置では、前記第１、第２、第３および第４磁気センサが、傾動部の第１傾動軸周りの傾動および第２傾動軸周りの傾動に対して、それぞれ異なる増減特性となる位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】温度特性のバラツキを解消し、縦方向のガタツキによる誤差をなくすようにした位置検出装置及び位置検出方法を提供すること。
【解決手段】ホール素子（２２ａ）のホール電圧Ｖｈｅ１は、Ａ・Ｋ・Ｂｈｅ１（Ａはプレアンプ（３２）の増幅率、Ｋは定数、Ｂｈｅ１はホール素子が受ける磁束密度）になったとすると、ＰＩレギュレータ（４１）はフィードバック制御によってＡ・Ｋ・Ｂｈｅ１＋Ｖｒｅｆ＝ＡＧＮＤ（＝０）になるように、ＰＩ出力のバイアス点を自動的に変化させる。増幅後のホール素子（２２ｂ）のホール電圧Ｖｈｅ２はＡ・Ｋ・Ｂｈｅ２となる。Ｋ＝−Ｖｒｅｆ／Ａ・Ｂｈｅ１であるから、ホール素子のホール電圧Ｖｈｅ２は、−Ｖｒｅｆ・Ｂｈｅ２／Ｂｈｅ１となる。ホール電圧は、磁束密度と比例するので、ホール素子（２２ａ）とホール素子（２２ｂ）の出力電圧を割り算していることと等価である。 （もっと読む）

【課題】 工業的量産性に優れ、高い摺動性を有するセンサー基板を備える磁気センサーを製造する。
【解決手段】 Ｓｉウェハ上に形成した検出素子をフォトレジストで被覆する工程と、前記フォトレジストを加熱して稜に凸曲面を有するレジストパターンを形成する工程と、レジストパターン及びＳｉウェハをドライエッチングして前記凸曲面の少なくとも一部をＳｉウェハに転写する工程と、前記Ｓｉウェハを切断して前記凸曲面の少なくとも一部を稜に有する矩形状のセンサー基板を得る工程とを備えることを特徴とする磁気センサーの製造方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１センサと第３センサ、第２センサと第４センサが、一対の光学基板２の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置され、第１〜４アクチュエータの各々が、一対の光学基板２の対向面の重心から第１〜４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置された可変分光素子であって、第１〜４センサの信号から、一対の光学基板２の対向面の重心同士の間隔ｘを算出し、第１センサの信号と第３センサの信号から、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度θを算出し、第２センサの信号と第４センサの信号から、重心を結んだ線に垂直な面と移動させる光学基板の対向面がなす第２の角度φを算出し、重心同士の間隔ｘ、第１の角度θ及び第２の角度φに基づいて第１〜４アクチュエータを駆動する制御部を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置検出機構の検出可能な範囲を拡大するということを目的とするものである。
【解決手段】本発明の位置検出機構は、Ｙ軸に垂直な方向の断面における磁化方向が断面位置に寄らず一定であり、Ｘ軸方向の対向する端面における磁力線の方向が互いに反対方向である磁石１５と、磁石１５とＺ軸方向で間隔を空けて配置され、ＸＹ平面に平行な方向の磁界を感知することができるＧＭＲ素子１３とを備え、磁石１５は、ＧＭＲ素子１３に対して相対的にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能であり、磁石１５のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の外形はＹ軸方向がもっとも長く、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５がＹ軸方向にΔＹ移動した際の磁石１５からの磁束密度の変化ΔＢが±５％以内となる位置に位置し、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５をＺ軸方向に投影した領域の外部に位置している。 （もっと読む）

１本以上の露光ビームをターゲット上に集束させるための投影レンズシステム(１３２)と、ターゲット（９）を支える可動テーブル(１３４)と、投影レンズシステムの最後の集束要素(１０４)とターゲット（９）の表面との間の距離に関連する測定を行なう静電容量感知システム(３００)と、静電容量感知システムからの信号に少なくとも部分的に基づいて、ターゲット（９）の位置を調整するために、可動テーブル（１３４）の動きを制御する制御ユニット（４００）と、を具備する、リソグラフィマシンのための統合されたセンサシステム。静電容量感知システム(３００)は、複数の静電容量センサ(３０)を具備しており、各静電容量センサ(３０)は、薄膜構造を備えている。静電容量センサと投影レンズシステムの最後の集束要素は、共通のベース（１１２）に直接にマウントされ、静電容量センサは、投影レンズシステムの最後の集束要素の縁部のすぐ近くに配置される。 （もっと読む）

ターゲットまでの距離を測定する複数センサ(３０)のセットを具備するシステムにおいて、ターゲットの表面を露光する方法。方法は、ターゲットを可動テーブル(１３４)にクランプで留め、複数センサのうちの１つ以上がターゲットの上に位置を定められる複数の位置に、ターゲットを動かし、ターゲットの上に位置を定められているセンサのうちの１つ以上から、信号を受信し、複数センサから受信した信号に基づいて、１つ以上の傾斜修正値(Ｒｘ，Ｒｙ)を計算し、１つ以上の傾斜修正値に基づいて、可動テーブルの傾斜を調整し、ターゲットを露光することを含む。 （もっと読む）

【課題】基準電圧に起因する位置検出誤差をなくし、より高精度な位置検出結果を得ることができる位置検出回路及びぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】バイアス出力生成部203a、203bは、ホール素子201a、201bから出力された信号に対して、基準電圧生成部202が生成する基準電圧に基づくバイアスをかけた信号を出力する。位置演算部200は、バイアス出力生成部203a、203bから出力された信号に基づいて、磁界発生部とホール素子201a、201bとの相対的な位置関係を示す信号であって、基準電圧に由来する成分を除去した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成でレンズの絶対位置を高精度に検出することができ、比較的大きな移動量にも対応した広い検出範囲を実現することができるレンズ位置検出装置及びこれを適用したレンズ装置を提供する。
【解決手段】鏡胴本体(112)の内部にカム筒(130)が配置され、カム筒(130)の内部において光軸方向に移動可能に構成されるレンズ(116)の位置を検出するレンズ位置検出装置であって、レンズ枠(122)に第１のシートコイル(171)を設けるとともに、鏡胴本体(112)の第１のシートコイル(171)の対面する位置に第２のシートコイル(172)を設け、レンズ枠(122)の移動に伴い第１のシートコイル(171)が第２のシートコイル(172)との対面距離を保って移動することにより、当該移動位置に応じて検出コイルから出力される電気信号に基づきレンズ(116)の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバに損傷を与えず、かつ生産性を高くでき、しかも適用範囲が広く、光ファイバの空孔径を精度よく測定できる空孔付き光ファイバの空孔径の測定方法および装置を提供する。
【解決手段】空孔付き光ファイバ母材を加熱し溶融させて線引きして得られた空孔付き光ファイバ２２を、対向配置された一対の電極板１４Ａ、１４Ｂ間に通過させる際に静電容量を測定し、この測定値に基づいて、予め実測により得られた静電容量と空孔径との相関関係を用いて空孔付き光ファイバ２２の空孔径を算出する。 （もっと読む）

【課題】構成部品を汎用品や入手が容易な部品等により構成した場合においても、簡易な構成で小型化を実現することができると共に広範囲な距離を高精度に検出することが可能な位置検出装置を提供すること。
【解決手段】感磁方向が、配置された基板に対して垂直な磁気センサ２個を１組とした磁気検出手段を備え、この磁気センサ２個の中心を結ぶ直線および基板に平行に移動可能に支持し、この基板に対して垂直にＮ極とＳ極が着磁された磁石を配置した位置検出機構において、２個の磁気センサの出力をＶａおよびＶｂとした場合に、磁石と２個の磁気センサの位置関係により、（Ｖａ−Ｖｂ）、（Ｖａ＋Ｖｂ）、（Ｖａ−Ｖｂ）／（Ｖａ＋Ｖｂ）を用いて位置検出を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容易に小型化ができる位置検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の位置検出装置は、移動可能に配設されたレンズ１と、このレンズ１とともに移動するように設けられた磁気シート２と、前記レンズ１の位置を検出するように前記磁気シート２と対向する位置に固定された磁気抵抗効果素子３とを備え、前記磁気シート２を基材とこの基材の上面に着磁された磁性層とで構成したものである。 （もっと読む）

【課題】長距離の位置検出を可能とし、起動時のイニシャライズも不要とする磁気利用の位置検出方法及び位置検出センサを提供する。
【解決手段】位置検出方法は、所定の離隔距離で磁極対向させた一対の磁石の磁界内に、磁気検知手段をその感磁方向と該磁石の中心磁界方向と一致する直線上に移動可能に配置し、磁界強度変化を検出して相対位置情報を得るものである。また、直線上に基準位置を設定すると共に、磁界強度と磁気検知手段の移動位置との相関を予め特定して磁石間における磁気検知手段の絶対位置情報を得ても良い。位置検出センサは、所定の離隔距離をもって一対の磁石を磁極対向させて保持した磁石ベース体と、磁石間を結ぶ直線上にその中心磁界方向と感磁方向とを一致させて配置した磁気検知手段とから成り、磁気検知手段を取り付けた被検出対象物が直線上を移動するように構成する。 （もっと読む）