【課題】高ＳＮ比で渦電流計測を行う厚さ計を提供する。
【解決手段】渦電流モニタリングシステムは、細長いコア２０５を含んでおり、１つ以上のコイルを、ウェハ上の１つ以上の導電性領域２３０に結合できる振動磁界を発生するために、該細長いコア２０５に結合することができる。該コア２０５は、改善された分解能を実現できると共に、十分な信号強度を維持するように、該ウェハに対して移動させることができる。渦電流モニタリングシステムは、共振周波数で振動磁界を発生するＤＣ結合マージナル発振器を含んでもよく、この場合、該共振周波数は、１つ以上の導電性領域に対する変化の結果として変化させてもよい。渦電流モニタリングシステムは、リアルタイム・プロファイル制御を可能にするために用いることができる。 （もっと読む）

【課題】局所的な液体の存在量を高精度の空間分布で計測するとともに、液体が薄い液膜の場合でも適切に高精度に計測することができるインピーダンス計測センサを提供する。
【解決手段】一方の電極である励起電極２１及び他方の電極である計測電極２２からなる電極対２５の複数個と、励起電極２１の基準電位と同じ電位に保持したグランド領域２３と、励起電極２１、計測電極２２及びグランド領域２３間を電気的に絶縁する絶縁部２４とを有するインピーダンス計測センサであって、絶縁部２４は、周囲をグランド領域２３に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、各電極対２５のうち同一電極対における励起電極２１と計測電極２２との間には絶縁領域のみが形成されている。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工ノズルとワークの間の状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを精度良く検出できる状態検出装置などを提供する。
【解決手段】状態検出装置１は、レーザ加工ノズルに設けられた測定電極とワークＷの間に参照信号を供給する信号発生回路１０と、測定電極とワークＷの間の状態に応じて変化する電気信号を測定するバッファ回路２０およびＡ／Ｄコンバータ２１と、レーザ加工ノズルとワークＷの間に発生するプラズマＰを抵抗成分と静電容量成分の並列回路としてモデル化し、測定電極とワークＷの間のギャップを静電容量成分としてモデル化して、該抵抗成分と、プラズマＰに起因した該静電容量成分およびギャップに起因した該静電容量成分の和である合成静電容量とを入力変数とし、検出対象である前記状態を出力変数とする関数モデルを有し、測定データに基づいて、前記状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを演算するための演算回路４０などで構成される。 （もっと読む）

【課題】弦楽器の弦高を精度よく測定し数値化する。
【解決手段】被測定弦楽器に電気伝導体の計測弦を張り、絶縁体で作った楔形測定子の上部斜面に膜状で且つ一様な抵抗体を張り、抵抗体の両端に電圧を掛けながら測定したい楽器ネック部の弦に接触するまで挿入する。
抵抗体と計測弦が接触した時の計測弦の電圧を計測する事によって、楔測定子のどの位置に計測弦が接したかを知り、楽器のネックと弦の距離である弦高を測定する。 （もっと読む）

【課題】出力信号の周波数と振幅とが検出する媒体の特徴に応じて変化する場合であっても、精度の高い出力結果を得ること。
【解決手段】自励発振回路から出力される検知信号を所定のサンプリング間隔でサンプリングし、所定期間においてサンプリングされたサンプリングデータを取得し、取得されたサンプリングデータのうち、前記所定期間の両端近傍においてサンプリングされたサンプリングデータの重み付けを他のサンプリングデータよりも小さくし、重み付けされた各サンプリングデータを用いて所定期間における検知信号の実効値を算出するようにした材厚／材質センサ。 （もっと読む）

【課題】セラミック金属インターロック部品並びにその製造及び使用方法を提供すること。
【解決手段】複合素子が提供される。複合素子は、第１の端部及び第２の端部を有するキャビティを画成するセラミック部品と、ヘッド及び本体を含む金属部品とを含む。金属部品の本体の少なくとも一部がキャビティ内に配置され、金属部品のヘッドが、キャビティの第１の端部上に配置される。本体の一部の断面積は第１の端部の面積よりも大きい。加えて、セラミック部品と金属部品がインターロックされる。複合素子を製造する方法及びクリアランスセンサ部品を製造する方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】渦電流センサが配置される周囲構造物の材料に影響されることなく、簡単な構成で高感度で且つ安定して導電性膜厚を検出できる渦流センサ及び該渦電流センサを提供すること。
【解決手段】導電性膜が形成された基体の近傍に配置されたセンサコイルを備え、該センサコイルに交流電流を通電することにより、前記導電性膜に渦電流を誘起し、該渦電流により発生する磁束変化をセンサコイルに誘起される誘起電圧により検出して前記導電性膜の膜厚を測定する渦電流センサにおいて、センサコイル２１、２２、２３はセンサヘッド２４に配置されており、センサコイル２１、２２、２３はそれぞれＡ側とＢ側の一対のコイルからなり、一対のコイルの各コイルに通電した際に、センサヘッド２４の一方のコイル周囲を周回する電流Ｉａが、他方のコイル周囲を周回する電流Ｉｂと絶対値が同じで流れの向きが逆になるように配置した。 （もっと読む）

【課題】連結部の段差の発生による検出位置の誤差を補正可能な管端連結部検出装置の提供。
【解決手段】樹脂被覆後の管端連結部４を渦電流を用いて検出する渦流検出器１と、管端連結部４前後に発生する管端の段差量５を計測する段差量計測器２と、前記段差量５の計測結果が一定量以上の場合にのみ前記管端連結部４の検出位置信号に補正を加える補正演算器８とを有する、樹脂被覆管３の管端連結位置検出装置とした。 （もっと読む）

本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なうための装置に関する。装置は、複数の処理局と、処理すべき対象を保持するための保持装置を備えている送り装置とを有している。送り装置はそれぞれの保持装置によって保持されている対象をある処理局から後続の処理局へと規則的に運搬するよう構成されている。複数の処理局の内の一つが検査局であり、該検査局は電圧源と、該電圧源と接続されている電極と、評価ユニットとを有している。評価ユニットは、電極と検査局にあるそれぞれの対象との間の電圧変化を検出するよう構成されている。更に本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう装置のために相応に構成されている検査局並びに丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう方法に関する。
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【課題】検出電極からの発生するノイズによる他の電子機器の影響を抑制することができる静電容量センサ及びそれを用いた車両用近接センサを提供する。
【解決手段】本静電容量センサ１は、人体が近接又は接触する導電体であり、且つ静電容量を充電する充電信号が繰り返し供給される複数の検出電極３ａ…と、各検出電極に対して、他の各検出電極と異なる時刻に充電信号を供給する充放電手段５と、各検出電極の静電容量の変化を検出する容量検出手段２２と、容量検出手段の結果を基に人体の近接又は接触の判定を行う近接判定手段２４と、を備え、各検出電極から放射される高周波ノイズが平均化されていることを特徴とする。これにより、複数の検出電極に同時に充電信号を供給させずに、充電信号が重複する期間を減少させることによって、充電信号により検出電極から生じる高周波ノイズの強度変動をより低減させて平均化させることができる。 （もっと読む）

【課題】内径が小さな計測対象物の内径計測をすることが可能であり、また、内径計測を高精度で行うことが可能な内径計測装置を提供する。
【解決手段】内径計測装置１は、内径計測対象となる計測対象物２を外導体として組み付けることにより同軸伝送路が形成される同軸伝送路装置３と、この同軸伝送路装置３の両端にそれぞれ接続される二つの同軸ケーブル４と、同軸ケーブル４を介して同軸伝送路装置３に接続される内径演算出力手段５とを備えて構成されている。内径演算出力手段５は、同軸伝送路の特性インピーダンス値を計測し、この計測値に基づいて計測対象物２の内径Ｄ１を得るための演算をし、この演算結果を出力することができるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】長尺状構造物における長手方向の広い範囲を検知領域にできる、設置が容易な変位検知装置を提供する。
【解決手段】配管１の表面に、溶接熱影響部２を挟んで互いに平行に配される左右のパルス波伝送ラインからなるセンサ部１０と、各伝送ラインの一端からそれぞれ電気パルス波を入射し、その反射波を検知するＥＴＤＲ１１と、センサ部１０のインピーダンスを計測するインピーダンス計測装置１２とを有する。左右の波伝送ラインは、配管１の表面に接着される長尺状の誘電板材１６と、誘電板材１６上にライン状に積層される金属電極１７とを有し、クロストークが生じる間隔で配されている。そして、配管１が周方向に変位したとき、これに伴い両伝送ライン間の距離が変化することで電界分布が変化して、インピーダンス変化として検知されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定及び回転部品間の最小クリアランスを判定する過渡クリアランス測定装置を提供する。
【解決手段】本装置は、固定部品（２２、２４）に固定されかつ回転部品（１２）の表面に向かって突出した少なくとも１つの摩擦ピン（３６）を含む。少なくとも１つの摩擦ピン（３６）は、電気回路を完成した１以上の埋込みワイヤ（５４）を有していて、使用中に、回転部品の表面が該少なくとも１つの摩擦ピンに摩擦した時に、電気回路が破断される。 （もっと読む）

【課題】 寿命の延長が可能なロータリセンサを提供する。
【解決手段】 ロータリセンサ１は、車体Ｂに対して固定されるハウジング２と、導電材料からなりスタンドＳに対して固定されるロータ４と、ハウジング２に保持され車体に対するスタンドＳの回転に伴ってロータ４との間の距離を変化させるコイル３１と、コイル３１のインピーダンスに基いて車体Ｂに対するスタンドＳの向きを検出する検出回路とを備える。ロータリスイッチを用いる場合に比べ、可動接点と固定接点とのように互いに同じ空間に配置するべき部品がハウジング２とロータ４との間に存在しないので、上記のような空間を密封するためのオイルシールが不要となるから、接点の磨耗やオイルシールの磨耗が発生しないことで寿命の延長が可能となる。また、オイルシールが不要となることで部品点数が減少し、製造コストの低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】寿命の延長が可能なロータリセンサを提供する。
【解決手段】ロータリセンサ１は、車体Ｂに連結されるハウジング２と、ハウジング２に対して回転可能に取り付けられ車体Ｂに対するスタンドＳの回転に伴ってハウジング２に対して回転するロータ３と、導電材料からなりロータ３に保持された被検出体３６と、
ハウジング２に保持されハウジング２に対するロータ３の回転に伴って被検出体３６との間の距離を変化させるコイル８１と、コイル８１のインピーダンスに基いて車体Ｂに対するスタンドＳの向きを検出する検出回路８２とを備える。コイル８１と被検出体３６とは互いに接触しないことにより、接点のような磨耗による劣化が発生しないので、接点を用いる場合に比べて寿命の延長が可能となる。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】開閉体を有する開口部における障害物の存在及び開閉体の位置を良好に検出可能な静電容量式障害物センサを提供する。
【解決手段】異なる周波数の交流信号を出力する複数の交流信号源１５，１６と、開閉体端部と枠体端部との何れか一方に設けられて開閉体端部と枠体端部との間に存在する障害物９との間の静電容量Ｃｓを検出する検出電極５と、開閉体端部及び枠体端部の他方に設けられた遮蔽電極７と、検出電極５及び遮蔽電極７に印加される交流成分ｆ１，Ｖ１に基づいて、検出電極５と障害物９との間の静電容量Ｃｓを求め、障害物９が存在するか否かを判定すると共に、遮蔽電極７に印加されず検出電極５に印加される交流成分ｆ２，Ｖ２に基づいて、検出電極５と遮蔽電極７との間の静電容量を求め、開閉体端部と枠体端部との距離を判定する制御部２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

本発明は、金属製の物体（１）上に設けられた金属層（２）の厚さを測定するための方法および装置に関する。金属層は、金属製の物体の抵抗率（ρ２）とは異なる抵抗率（ρ１）を有している。本装置は、金属層の近傍に磁界を生じさせ、金属層の表面に電流が誘導されるように磁界に変動を生じさせるように構成される第１のデバイス（４、７）と、誘導電流が金属層を伝搬するのに要する時間よりも長い期間にわたって、誘導電流に起因する金属層外部の磁界の変化を測定するように構成される第２のデバイス（５、８）と、測定される磁界の変化を受信し、金属層の厚さと磁界の変化の測定値との間の数学的関係にもとづいて、金属層の厚さ（ｄ）を割り出すように構成される演算ユニット（９）とを備える。
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【課題】フレキシブルプリント基板を使用する変位センサ装置において、正確かつ迅速に、基板を支持部に固定することができる構造を提供する。
【解決手段】検出対象物（主軸部１０２ａ）に近接して設けられる支持部２１と、この支持部２１に沿って支持されたフレキシブルプリント基板２２と、このフレキシブルプリント基板２２に設けられ、検出対象物と対向する渦巻状のコイルを含むセンサ回路要素とを備えた変位センサ装置２０において、フレキシブルプリント基板２２を止め具２３によって支持部２１に固定する構造とし、フレキシブルプリント基板２２は、センサ回路要素を含む基板本体２２ａ、及び、当該基板本体２２ａから延伸して形成され、止め具２３による固定の用に供する止め代部２２ｂを有するものとする。 （もっと読む）