【課題】軽量・コンパクトで、かつ、所望のインダクタンスを確保することができる基板形複層コイル及びこれを含む変位センサ装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板形複層コイル１は、導電部を渦巻状に形成して成る面状のコイル３を渦巻の中心線方向へ複層に設けた複層コイル３Ｍと、隣接するコイル間に介在する例えばフレキシブルプリント基板２からなる絶縁層と、この絶縁層に設けられ、全てのコイル３を、電流の巻き方向が同一になるよう直列接続する導電路５１〜５３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で安価に検知領域の範囲に近接等する検知対象物の位置や距離を確実に検出し、設計自由度を向上させる。
【解決手段】位置検出装置１００は、静電容量センサ部１０および検出回路部２０を備え、静電容量センサ部１０は、第１および第２検知電極１１，１２と、これらの間に配置された誘電体１９とからなる。誘電体１９は、検知面１９ａ上に検知領域の範囲Ｌを形成する。検出回路部２０は、静電容量検知回路２１，２２と、Ａ／Ｄ変換器２３，２４と、演算処理回路２５とを備え、各静電容量検知回路２１，２２は演算処理回路２５の制御により周期的に同期がとられて動作する。各検知電極１１，１２にて検知された静電容量の検出値Ｃ１，Ｃ２に基づき、演算処理回路２５によって検知領域の範囲Ｌにおける検知対象物の位置を判定して検出する。 （もっと読む）

基板上の導電層の厚さを監視する装置は、導電層を有する基板を保持する支持部と、第１の複数のコア部分を含む渦電流監視システムと、支持部と渦電流監視システムとを互いに対して動かすことにより、第１の複数のコア部分を横切って、第１の軸を画定する方向に基板を移動させるモータとを含む。少なくとも１つのコア部分が、第２の軸から、少なくとも２つの他のコア部分よりもさらに遠くに配置される。第２の軸は、第１の軸と直交する。
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【課題】渦電流探傷試験法に特有の物理現象を利用することで長さ評価精度と汎用性が高い渦電流探傷試験方法及び渦電流探傷試験装置を提供する。
【解決手段】本発明は、中心軸方向と被検査面の法線方向が一致している第１のコイル１２と、中心軸方向と被検査面の法線方向が一致しており、第１のコイル１２と所定の中心間距離ｄ１で配置される第２のコイル１３とを有するプローブ１１を用いて被検査面の欠陥１５を検出し当該欠陥長さＬを評価する渦電流探傷試験方法において、プローブ１１を走査し被検査面の欠陥に起因する出力電圧分布を取得し、出力電圧分布に現れる二つの極大値を検出し、検出された二つの極大値間の長さｄ２を算出し、算出された極大値間の長さｄ２と第１のコイル１２及び第２のコイル１３の中心間距離ｄ１を加算した結果を被検査面の欠陥長さＬと評価する。 （もっと読む）

【課題】ローラ面に養生フィルムを被覆したままでローラ形状を測定できる装置を提供すると共に、その装置を使用してオフラインでダミーによるクリアランス調整を行うことにより、ローラ面を傷つけることなく迅速にクリアランス調整を行うことができる。
【解決手段】直径が１ｍ以上の冷却ローラ１４のローラ面に樹脂製の養生フィルム３０を被覆したままで該冷却ローラの形状を測定するローラ形状測定装置４０は、金属のみに反応することによりローラ面までの距離を測定する渦電流式の変位計４２と、変位計４２をスライドバー４４にスライド自在に支持して冷却ローラ１４の幅方向に移動させる移動手段４６と、変位計４２での測定値とローラ面までの実測距離との関係を予め求めた検量線データを有し、変位計４２で測定した測定値を検量線データに基づいて補正する補正手段と、を備える。そして、このロール形状測定装置４０でオンライン測定したローラ形状結果に基づいて、冷却ローラ１４と遮風板２２とのクリアランス調整をオフラインで行う。 （もっと読む）

【課題】導体で形成された配線パターンが積層されてなる多層配線板において、測定対象パターンの位置を精度良く計測できる計測装置を提供する。
【解決手段】計測対象パターン２が配置された多層配線板１の微小領域に交番磁場を印加する磁気ヘッド５０と、交番磁場によって誘起された起電力の電圧値を検出する検出電極５２と、電圧値及び位置データが少なくとも記録される情報記録部７と、磁気ヘッド５１と、情報記録部６とを制御する制御部Ｃｏｎｔとを備え、制御部Ｃｏｎｔは位置データと電圧値とを用いて、計測対象パターン２の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】導体で形成された配線パターンが積層されてなる多層配線板において、前記多層配線板に精度孔あけ加工を行う。
【解決手段】多層配線板の微小領域に交番磁場を印加し計測対象パターン２で誘起された起電力の電圧値を検出する計測部５と、多層配線板１に孔あけ加工を行う孔あけ加工部６と、孔あけ加工部６を制御する制御部Ｃｏｎｔを備え、制御部Ｃｏｎｔが電圧値及び位置データより取得した多層配線板１の位置情報をもとに、孔あけ位置を決定し、孔あけ加工部６を駆動して多層配線板１に孔あけ加工を行う多層配線板の孔あけ加工装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車を備えた減速装置において、遊星歯車を回転自在に支持する転がり軸受の軸方向移動を抑止する固定プレートの異常摩耗を防止する。
【解決手段】回転軸の回転を該回転軸に取り付けられた太陽歯車から遊星歯車を介し減速して回転伝達機構に伝達し、該遊星歯車を転がり軸受１３を介してキャリア又は固定部材１１の円筒軸１２に嵌合固定してなる減速装置において、円筒軸１２の端面１２ａに押え部材１６を固定し、該押え部材を転がり軸受端面に当てて転がり軸受１３の軸方向移動を係止し、該押え部材の内部に摩耗検知回路に接続された電極２１を転がり軸受端面との間に設定寸法の空隙を介在させて配置し、該押え部材の転がり軸受１３に対する摺接面が摩耗して該電極と転がり軸受端面とが接触した時に摩耗検知回路を作動させて該押え部材の摩耗を検知するようにした。 （もっと読む）

本発明は、乗物における乗物ボディのボディスキン要素（１）に取り付けられる補強要素（２）の分離を検出するための方法に関し、ボディスキン要素（１）及び補強要素（２）は、中間の接着層（３）を伴って共に電気コンデンサ（４）を構成し、前記コンデンサは、補強要素（２）からのボディスキン要素（１）の少なくとも部分的な分離がある場合に変化する静電容量（Ｃ）を有し、補強要素（２）の分離を検出するために、コンデンサ（４）の静電容量（Ｃ）又はコンデンサ（４）の静電容量における変化が測定される。 （もっと読む）

【課題】磁気センサ駆動用のクロック信号を所定値まで増幅して各磁気センサのコイルにそれぞれ出力する場合に、時間の短縮を図り、効率よく磁気センサ駆動用のクロック信号を所定値まで増幅することができる衝突判断装置を提供する。
【解決手段】レジスタ部に入力された各磁気センサ（コイル）に対する各磁気センサ駆動用のクロック信号をそれぞれ所定値まで増幅するときに、各磁気センサ駆動用のクロック信号を所定の切り替え間隔時間毎に交互に切り替えて、各磁気センサ駆動用のクロック信号を所定の増幅間隔時間毎にそれぞれ大きくなるように増幅させる。 （もっと読む）

【課題】 必要な構成要素を一体化することによって装置の小型化を実現し、また、性能が均一で量産性に優れた金属接近検出装置を提供する。
【解決手段】 磁気抵抗素子１１と、この磁気抵抗素子１１にバイアス磁界を供給する磁石と、磁気抵抗素子１１による検出情報を外部に出力するＬＥＤ４とを一体化して構成し、磁気抵抗素子１１を内蔵する集積回路１０とＬＥＤ４とを配設した多数の回路基板１ａが格子状に縦横に配置されて一体化している第１の集合基板１と、磁石を有する第２の集合基板である集合磁気シート２とを接合して積層集合体を構成し、該積層集合体は製品領域の境界線Ｘ、Ｙに沿って切断されることにより、各小片が製品とされる構成とした。 （もっと読む）

【課題】被検体からの静電気放電による回路破壊を抑制し、静電気放電耐性を改善する。
【解決手段】互いに隣接配置された複数の検出素子１Ｂからなり、センサアレイ４の中央部Ｐ以外の領域に分散配置した複数のインピーダンス検出領域４Ｂと、互いに隣接配置された複数の検出素子１Ｃからなり、各インピーダンス検出領域４Ｂの外周部をそれぞれ全周にわたって囲うように設けられた離間領域４Ｃと、互いに隣接配置された複数の検出素子１Ａからなり、各離間領域４Ｃの外周部をそれぞれ全周にわたって囲うように設けられた容量検出領域４Ａとから、センサアレイ４を構成する。 （もっと読む）

【課題】基準信号の整数倍次の高調波に起因して位相検波処理で生じるドリフトを抑制できる基板観察装置を提供する。
【解決手段】基板観察装置３１は、方形波の基準信号を出力する基準信号源６１と、基準信号源からの方形波を正弦波に変換するための第１のフィルタ回路６３と、第１のフィルタ回路を経た正弦波を基板に対して出力する励磁部４１と、基板からの検出信号を受ける検出部４３と、基準信号と基板からの検出信号とを掛け合わせる位相検波回路７７と、位相研磨回路の後段に接続された第２のフィルタ回路７９と、検出部４３と位相検波回路７７との間に設けられ、検出信号から、基準信号の整数倍次の高調波を除去する第３のフィルタ回路７３とを備える。第３のフィルタ回路７３は、基準信号の３次の高調波を除去してよい。 （もっと読む）

【課題】光軸上に置かれた被測定物までの当該光軸に沿った距離を高精度に測定できる距離測定装置を提供すること。
【解決手段】距離測定装置は、レーザ干渉計１の測定光Ｌ_１の光軸上において導電性の被測定物２に対向配置された透明電極４４と、透明電極４４および被測定物２の間の静電容量を検出する静電容量検出手段としての信号処理回路５２とを備える。そして、距離測定装置は、検出した静電容量に基づいて透明電極４４と被測定物２との間の光軸に沿った距離Ｄを算出する。 （もっと読む）

【課題】二点接触における位置検出が可能な座標検出装置を提供する。
【解決手段】絶縁体からなる四角形状の基板上に形成された抵抗膜と、抵抗膜に電圧を印加するための電源と、電源と接続されている四隅の抵抗膜上に設けられた４個の電極と、電源と各々の電極との間に設けられた４個のスイッチと、各々の電極に流れる電流を測定するための４個の電流測定器と、抵抗膜と接触させることにより抵抗膜における接触位置座標を検出するため接地されている導電膜を有し、スイッチの開閉を行うことにより、４個の電極に順次電圧を印加し、抵抗膜と前記導電膜と接触させ、電極に接続されている４個の電流測定器により順次各々の電流値を測定し、各々の電流値に基づき得られた抵抗値により、各々の電極と抵抗膜と導電膜との接触位置を検出することを特徴とする座標検出装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】広範囲の衝突検出を可能とし、省スペース化、および、配置の容易化を図ることができる車両用側突検出装置を提供する。
【解決手段】側面ドア１は、外板１１と、内板１２と、ステー３１と、位置センサ３２と、補強部材１３を備えている。内板１２と外板１１との間はドアガラス３０とドアガラス３０の下辺に取り付けられたステー３１の移動空間である。コイル２は補強部材１３に配置され、内板１２側に磁界を発生している。コイル２は磁性体である内板１２を内板側部材として、内板１２との離隔距離の変化を磁束の変化として検出する。そして、この検出値に基づいて判定手段は、位置センサ３２が検出したステーの車両上下方向（垂直方向）の位置により判定方法を選択して、車両と物体とが衝突したことを判定する。 （もっと読む）

【課題】ノズルとワークとの接触による測定系の発熱を抑制しつつ、ノズルとワークとの間のギャップをその間の静電容量の値から検出すること。
【解決手段】静電容量測定部２１は、ノズル１５側の中心電極とワークＷとの間に形成される静電容量を測定し、ギャップ算出部２２は、静電容量測定部２１にて測定された静電容量に基づいて、ノズル１５とワークＷとの間のギャップｄを算出し、接触判定部２３は、ノズル１５とワークＷとの接触状態を判定し、追従信号印加部２４は、ノズル１５とワークＷとの接触状態の判定結果に基づいて、ノズル１５側の中心電極の電位に追従する追従信号をケーブルＣｂの外被Ｃｂ２に印加する。 （もっと読む）

【課題】プローブと測定試料との間にミクロンオーダーの距離を保持しつつ、試料の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ移動機構３によりプローブ２をＸＹ平面方向に走査させ、走査に伴う複数位置において、プローブ移動機構３によるプローブ２のＺ軸方向の位置又は電圧印加機構による印加電圧を変化させてプローブ２と試料表面との間に絶縁破壊を発生させ、絶縁破壊が生じたときの位置測定機構４又は電圧測定機構６の測定結果に基づいて試料の表面形状を得る。 （もっと読む）

【解決手段】鉄製目標物の近接度を検出するために利用されるセンサ構成と方法が提供され、そのセンサ構成は、磁界源及びホール効果機器を含むセンサ本体を備えており、その磁界源は、電磁ソレノイドである。本発明は、限定されるわけではないが、燃料噴射ポンプの分野で特別な利用性がある。その分野では、機関の動作に影響を与えることなく、機関のシリンダーに分配される燃料の量を決定することが必要である。 （もっと読む）

【課題】製品の座面の面としての精度の測定を可能とする製品測定装置を提供する。
【解決手段】導電性の製品を固定する導電性の基台２０と、製品１００の測定箇所の理想形状に対応する形状の電気抵抗体１２０が表面に配置され、測定箇所に接触される測定子１０と、基台２０および測定子１０に接続され、電流を流し、測定子１０と製品１００との接触面積により電気抵抗値を測定する抵抗測定器３０と、を有する製品測定装置。 （もっと読む）