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Fターム[2F063BB02]の内容

電気磁気的手段を用いた長さ、角度等の測定 (19,512) | 測定対象物の性質、材質 (622) | 導電性を有するもの (179)

Fターム[2F063BB02]に分類される特許

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【課題】高精度な距離測定を安価に提供する。
【解決手段】平面状コイル1と、平面状コイル1と電気的に接続された発振回路と、平面状コイル1に近接する測定対象物WKと平面状コイル1との距離に応じて、発振回路の発振周波数が変化する様子を検出可能な周波数検出手段22と、周波数検出手段22で検出された発振周波数をデジタル信号として出力可能なデジタル出力手段24と、周波数検出手段22で発振周波数を検出する検出動作時間を制御可能な時間制御手段23と、時間制御手段23に対して、検出動作時間を指示する制御信号を送出可能な動作時間指示手段31を有するコントローラ30とを備える。周波数検出手段22で検出された発振周波数に基づいて測定対象物WKと平面状コイル1との距離変化を演算し、該演算結果をデジタル出力手段24によりデジタル値として出力可能とし、距離測定の測定精度及び距離測定結果を得るまでの応答時間に応じて、検出動作時間を可変とする。 (もっと読む)


【課題】CMP加工等において、デバイスウェーハに形成されている素子等に強い磁束を及ぼすことなく、導電性膜の膜厚を精度よく測定できる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハ102の表面に対向してコイル103を離間配置させ、ウェーハステージ101をX,Y方向及びR、θ方向へ移動させる。インピーダンスアナライザ105によって周波数を掃引させながらコイル103に交流電流を供給すると、コイル103に誘起させた磁場がウェーハ102の導電性膜に作用する。導電性膜の表皮効果に影響するパラメータ(周波数又は角度)を変化させてコイル103に与えることにより、磁場をウェーハ102の膜内へ相対的に貫通させない状態と、膜内へ相対的に貫通させる状態とを形成することができる。導電性膜の表皮効果に影響される状態変化に基づいて誘起される渦電流に対応する諸量の変化から、ウェーハ102の膜厚を精度よく測定することができる。 (もっと読む)


【課題】移動ストロークを最大限活用しながら、位置検出の精度の良い、小型の慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材1と、振動基板3と、移動手段2と、導電体からなる移動体4と、移動体4と対向する振動基板3の面に設けられた電極31、32と、移動体4と電極との間に介在する絶縁膜310と、移動手段2を往復運動させるための電圧を印加するとともに、移動体4と電極との間に静電気力を作用させることにより振動基板3と移動体4との間に生じる摩擦力を制御するための電圧を印加する駆動手段と、移動体4と電極31、32の対向部分の静電容量に基づいて振動基板3に対する移動体4の位置を検出する位置検出手段7と、移動体4側面の移動方向に対して設置され、移動体4側面と電極31、32との静電容量の影響を遮断する静電遮断手段6とを備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 軸受軌道面の溝加工現場などでも容易に適用できて、軌道面の溝曲率を作業者の測定技術に左右されることなく低コストで高精度に測定できる玉軸受の溝曲率測定方法、およびその測定方法に用いられる溝曲率測定装置を提供する。
【解決手段】 この玉軸受の溝曲率測定方法は、表面が絶縁膜5で被覆され玉軸受のボールに模した球面を有する導体4からなる球面電極3の前記球面を、前記玉軸受の軌道面2に押し当てる。この状態で、前記球面電極3と前記軌道面2の間の静電容量を測定し、その静電容量値から前記軌道面2の溝曲率を測定する。 (もっと読む)


【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 (もっと読む)


【課題】試験片の変位を検出するためには、標点と差動コイルの可動鉄芯とを機械的に接続しなければならなかった。
【解決手段】試験片TPには磁性体4を予め貼付しておく。透明なプラスチックボビン2の内側に試験片4を挿入する。2つの差動コイルCC,CDの中間部に磁性体4が位置するよう試験片4を上下に調節する。上つかみ具38および下つかみ具40により試験片TPを把持し、図示しない負荷機構により引張力を作用させる。駆動コイルCA,CBに駆動電流を流し、差動コイルCC,CDの出力から磁性体4の変位を検出する。 (もっと読む)


【課題】電磁超音波探触子と検査対象との距離によらず、超音波を用いた探傷感度が一定となり、良好な検査精度を実現することを可能とする電磁超音波探触子および電磁超音波探傷装置を得る。
【解決手段】磁界を発生させる手段3と、検査対象に渦電流を発生させるコイル2とを備え、検査対象6との間で電磁気力により超音波を送受信し、非接触で検査対象6中の欠陥部を検出するために用いられる電磁超音波探触子1において、互いに電気的に接続され、検査対象6に対向する面に所定の面積を有するように任意の間隔を隔てて配置された少なくとも2つ以上の導体4をさらに備える。 (もっと読む)


【課題】筒体内でのコイル状の導電体の偏心状態を正確で、しかも低コストで測定する。
【解決手段】直線状の金属チューブ2内にその筒長方向に沿って配設されたコイル状の発熱コイル3を備えたグロープラグ1における発熱コイル3の金属チューブ2の軸線Lに対する偏心状態を測定する測定装置Mであって、グロープラグ1に対して軸線Lを中心とした複数のラジアル方向から一定の磁界Fを印加する磁界印加部12と、発熱コイル3とコンデンサ17の並列回路18に所定の周波数の交流信号S1を印加する信号印加部13と、交流信号S1の印加時における並列回路18の両端間電圧V1を測定する電圧測定部14と、磁界印加部13によるグロープラグ1に対する磁界Fの印加状態において電圧測定部14によって測定されたラジアル方向毎の両端間電圧V1に基づいて偏心状態を測定する処理部15とを備えている。 (もっと読む)


【課題】筒体内でのコイル状の導電体の偏心状態を正確で、しかも低コストで測定し得る測定装置を提供する。
【解決手段】直線状の金属チューブ2内にその筒長方向に沿って配設されたコイル状の発熱コイル3を備えたグロープラグ1における発熱コイル3の金属チューブ2の軸線Lに対する偏心状態を測定する測定装置Mであって、グロープラグ1に対して軸線Lを中心とした複数のラジアル方向から一定の磁界Fを印加する磁界印加部12と、発熱コイル3のインピーダンスZを測定するインピーダンス測定部13と、磁界印加部12によるグロープラグ1に対する磁界Fの印加状態においてインピーダンス測定部13によって測定されたラジアル方向毎のインピーダンスZに基づいて偏心状態を測定する処理部14とを備えている。 (もっと読む)


【課題】研磨装置の運転を停止させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】基板の水研磨時、研磨パッド10のドレッシング時、または研磨パッド10の交換時において、渦電流センサ50の出力信号を補正信号値として取得し、補正信号値から補正基準値を減算して補正量を算出し、導電膜を有する他の基板を研磨しているときの渦電流センサ50の出力信号から補正量を減算して実測信号値を算出し、実測信号値の変化を監視することにより研磨中の導電膜の厚さの変化を監視する。 (もっと読む)


本発明はロータブレード12を含むロータ10と、ロータのすきまdを形成する、少なくとも部分的にロータ10またはロータブレード12を囲むロータハウジング16と、ロータのすきまdを特徴づけている測定容量値Cを測定するための、電極および対電極を有する容量型センサ・デバイス20に接続されるすきま測定システム18とからなるタービン機械に関し、ロータ10またはロータブレード12は、センサ・デバイス20の電極として接続され、ロータハウジング16の少なくとも部分22は対電極として接続される。本発明は、すきま測定システム18と、タービン機械のロータブレード12を含むロータ19と、少なくとも部分的にタービン機械のロータ10またはロータブレード12を囲むロータハウジング16との間の、ロータのすきまdを測定する方法にも関する。 (もっと読む)


【課題】渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、研磨終了時点を精度よく予測・検出し、また除去すべき残膜量及び研磨レート等をその場で精度よく算出して、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価しうる研磨終了時点の予測・検出方法とその装置並びにリアルタイム膜厚モニタ方法とその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、所定の導電性膜28に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタ36を近接させ、該インダクタ36で形成される磁束により所定の導電性膜28に誘起される磁束変化をモニタし、研磨中の膜厚が所定の導電性膜28の材質を一因子として決まる表皮深さに対応する膜厚になった場合の磁束変化を基に研磨終了時点を予測するための磁束変化部分を検出し、該磁束変化部分から研磨終了時点を予測し、またその場で研磨レート及び除去すべき残りの膜厚量を算出する方法を提供するものである。 (もっと読む)


【課題】使用中の導電材料製構造物に生じる損傷を非破壊的に、しかも装置等の操業を停止することなく、簡便に検出できる、導電材料製構造物の損傷検出方法を提供する。
【解決手段】複数の電位差測定用端子を所定の間隔で隔離して、構造物の被測定領域を囲んで配置し、複数の電位差測定用端子を挟んで設けられた一対の電極を介して構造物の特定方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第一の工程と、前記一対の電極とは別に複数の電位差測定用端子を挟んで設けられる他の一対の電極を介し、構造物の特定方向とは異なる方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する各電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第二の工程とを順次行い、各電位差測定用端子間の電位差を測定する。得られた異なる二方向の各電位差測定用端子間の電位差から、被測定領域における電位差分布、電位差変化率分布を求め、被測定領域における損傷状態を評価する。 (もっと読む)


【課題】交換時期を容易且つ正確に判断することのできるマリンホースを提供する。
【解決手段】コントロールユニット40の変形量検出部44はホース本体10の各軸方向所定範囲AR1,AR2,AR3における曲率(ホース曲げ方向の変形量)をそれぞれ検出可能であり、コントロールユニット40の換算処理部46は変形量検出部44によって検出された各軸方向所定範囲AR1,AR2,AR3の曲率をそれぞれ耐久性影響数値に換算処理可能であることから、ホース本体10の各軸方向所定範囲AR1,AR2,AR3にそれぞれ複数回の曲げ方向の変形が生じ、各変形の大きさが様々である場合でも、各変形ごとに耐久性影響数値が得られる。即ち、各変形ごとに得られた耐久性影響数値を累積した累積結果に基づき、マリンホースの交換時期を判断することができる。 (もっと読む)


【課題】導電性膜内の微細な配線に強い磁束によるジュール熱損を及ぼすことなく、研磨終了時点を精度よく予測する。
【解決手段】ウェーハWの導電性膜を除去する研磨工程において、ウェーハ上の導電性膜に二次元平面のインダクタ型センサ34を近接させて、インダクタ型センサによりウェーハの導電性膜に誘起される磁束をモニタする。インダクタの形状、インダクタと導電性膜との距離、発振周波数などの条件を導電性膜に表皮効果が働く程度に適正化し、研磨終了の直前に磁束のピークが出現するように構成する。研磨終了の直前では導電性膜を磁束が殆ど貫通せず、ウェーハ内の微細配線などを損傷する虞がなくなる。 (もっと読む)


【課題】配線数を減少させることでコストを削減し、信頼性を向上させ、さらには検出領域以外の余分な領域を減らすことが可能な電磁結合を利用する圧力分布検出装置を提供する。
【解決手段】圧力分布検出装置は、複数の駆動側ループ状配線20と、これに直交する方向に配置される複数の検出側ループ状配線30と、これらがそれぞれ電磁結合するように構成される複数の電磁結合部36と、複数の駆動側ループ状配線を駆動する駆動部40と、電磁結合部36の電磁結合の度合いの変化を複数の検出側ループ状配線30から検出する検出部50とからなる。そして、複数の駆動側ループ状配線20及び複数の検出側ループ状配線30が、隣り合うループ状配線間の隣り合う線をグラウンド線として共通化する共通グラウンド線25,35を有する。 (もっと読む)


【課題】攪拌乾燥機の攪拌羽根と乾燥機胴体との間隔を正確に把握し、攪拌乾燥機の異常を確実に検出する方法を提供することにある。
【解決手段】内部に攪拌羽根を有する攪拌乾燥機の乾燥機胴体の外周部に渦電流センサを設け、攪拌羽根と乾燥機胴体との間隔を測定し、異常を検出することを特徴とする、すなわち攪拌羽根と乾燥機胴体との間隔を直接、非接触で測定することによって、攪拌軸や攪拌羽根等の異常による攪拌羽根と乾燥機胴体の異常接近を確実に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】スクリューフィーダーのスクリュー翼とスクリューケースとの間隔を正確に把握し、スクリューフィーダーの異常を確実に検出する方法を提供することにある。
【解決手段】スクリューフィーダーの内部にスクリュー翼を有する部位のスクリューケースの外周部に渦電流センサを設け、スクリュー翼とスクリューケース内面との間隔を測定し、異常を検出することを特徴とする、すなわちスクリュー翼とスクリューケースとの間隔を直接、非接触で測定することによって、スクリュー翼等の異常によるスクリュー翼とスクリューケースの異常接近を確実に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】高周波磁界を励磁して導電性膜9に渦電流を励起させるコイルと、渦電流に起因する渦電流損失の影響を受けた高周波電流を出力するコイルとを有する渦電流損失測定センサ20と、コイルが出力する高周波電流から渦電流損失測定センサ20のインピーダンスの変化、高周波電流の電流値の変化または高周波電流の位相の変化を測定して渦電流損失量を測定するインピーダンスアナライザ48と、導電性膜9と渦電流損失測定センサとの距離を測定する光学式変位センサ32と、インピーダンスアナライザ48と光学式変位センサ32の各測定結果に基づいて導電性膜9の膜厚を算出する膜厚演算部54を含む制御コンピュータ42と、を備える膜厚測定装置1。 (もっと読む)


【課題】変位体の変位に対する出力信号の直線性を向上させる。
【解決手段】発振回路3が、変位検出用コイル1のインダクタンス(L)に対応した周波数を有する発振信号を出力する。発振周期計測回路4が、発振回路3から出力された発振信号の周期を計測し、計測された周期に対応する信号を出力する。二乗回路5が、発振周期計測回路4から出力された信号の二乗値を演算出力する。発振信号の周期の二乗値を演算出力することにより、インダクタンス(L)成分と容量(C)成分の平方根成分がなくなり、出力信号は変位体の変位に対し直線的な関係で変化する信号となる。 (もっと読む)


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