【課題】導電性膜の膜厚を精度良く測定する。
【解決手段】渦電流センサ１は、基板６に形成された導電性膜７に対向して配置されたセンサコイル２ａ及びセンサコイル２ｂと、導電性膜７に渦電流を生じさせるための交流信号をセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに選択的に供給する交流信号源３と、導電性膜７に生じた渦電流に応じてセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに流れる電流値を検出する交流電流計４とを備え、センサコイル２ａの径とセンサコイル２ｂの径とは、導電性膜７の種類に応じて互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】干渉磁界および干渉電界に対して低感度とすることが可能であり、ロータのような回転体の位置を検出するための回転角度検出用センサシステムを提供する。
【解決手段】機械の回転体２の位置を検出するために、回転体２に取り付けられかつこの回転体２と共に移動可能であるエンコーダ構造３と、このエンコーダ構造３の対向側に配置され、かつ位置を決定し得る少なくとも１つのセンサ信号９を供給する固定センサアセンブリ４とを備え、センサアセンブリ４が第１のインダクタンス素子を備え、またインダクタンス素子が、前記エンコーダ構造３の動作に依存してインダクタンスの変化を生じさせるように、回転角度検出用センサシステムを構成する。 （もっと読む）

本発明は、検査対象の導電性基材（５０）上に形成された導電性被膜の膜厚の決定方法に関する。先ず、空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として検出される。それぞれ検査対象の基材（５０）および被膜（５２）と同じ材料からなる基材および被膜を含む複数の被覆された基準対象が準備される。基準対象は異なる既知の膜厚を有する。各基準対象についての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として渦電流センサにより検出される。引続いて、各基準対象について、周波数（ω）の関数としての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））および空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））から、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））が求められる。その後、各基準対象について、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅が形成される。これから、被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）の関数として材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅を表示する較正曲線が作成される。正規化された振幅が同じようにして検査対象についても求められるこれから、検査対象の被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）が較正曲線により決定される。
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【課題】半導体基板上に形成されるごく薄い導電性膜から比較的厚い導電性膜まで正確に膜厚等の検出を行いながら該導電性膜を研磨する研磨方法を提供する。
【解決手段】基準ウエハのインピーダンスを渦電流センサ１０で計測することで、渦電流センサ１０のインピーダンスと、センサコイルに供給すべき交流電流の周波数と、膜厚との関係を較正し、渦電流センサ１０は、センサコイルに一定周波数の交流電流を供給して研磨対象物上の導電性膜に渦電流を形成し、センサコイルの両端子から見た導電性膜を含めたインピーダンスを計測し、研磨対象物上の導電性膜を含めたインピーダンスの変化から、導電性膜の膜厚変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置を提供すること。
【解決手段】長手軸がハウジング（１４）の長手軸（１６）と平行またはその上にある少なくとも１つのセンサ要素（１７）を保持するハウジング（１４）を有する測定プローブ（１１）により、薄層の厚さを測定する方法と装置。少なくとも測定過程中に、気体媒体が測定表面（２８）で測定プローブ（１１）の供給開口（２１）に供給され、供給開口（２１）に連結された少なくとも１つの連結経路（２４）を介して、測定表面（２８）に向いている、測定プローブ（１１）の端面（２９）に設けられた１つまたは複数の出口開口（２６）に供給され、１つまたは複数の出口開口（２６）から流出する、気体媒体の少なくとも１つのマス・フローが測定表面（２８）に向いており、測定プローブ（１１）は測定過程中に測定表面（２８）に対して非接触の方法で保持される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リフトオフ時の板厚の測定精度をさらに向上することができる渦電流式非磁性金属膜厚測定方法及びそれを実施するための渦電流式非磁性金属膜厚測定装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、渦電流測定センサ４を非磁性金属と同じ仕様の較正試験体上に設置して渦電流測定センサ４へ供給する励磁電流の周波数を各較正試験体に適する値に選定する工程と、選定された周波数に基づいて励磁電流の位相角を調整して較正試験体上に設置された渦電流測定センサ４から出力される虚数部分の変動率が小さくなる位相角を選定する工程と、これら工程によって決められた周波数と位相角に基づいて非磁性金属の膜厚を測定する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 対象物のサイズや形状等に関わらず、簡素な構成でより高精度に鋼材の減肉を検出することの可能な電磁波パルスによる減肉検出方法及び減肉検出装置を提供すること。
【解決手段】 電磁波パルスの送信子及び受信子から隔たった位置に存在する鋼材に送信子から電磁波パルスを送信すると共に前記受信子で受信し、受信パルスの時間と振幅との相関により前記鋼材の減肉を検出する。送信子と受信子を各々有する一対の第一、第二センサ２，３を設ける。これら第一、第二センサ２，３は互いに逆極性となるように配置される。第一センサ２及び第二センサ３双方の近傍に位置する鋼材１０１の減肉を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート抵抗が大きくなると│V_x│はシート抵抗の逆数に比例して小さくなるはずが、測定すると、あるシート抵抗値以上では変化しなくり、│V_x│の測定値から算出できない。
【解決手段】参照コイルと検出コイルが直列に接続された回路と、２個の基準抵抗が直列に接続されたインダクタンスブリッジを用い、測定対象物の表面に形成された導電膜の近傍の所定の位置に配置可能に構成され、参照コイルよりも検出コイルを導電膜に近接した位置に配置可能であり、導電膜に対して所定の渦電流を発生させ且つ当該渦電流による磁界を検出する渦電流コイルセンサで、導電膜からの磁界を検出するとき渦電流を発生させるための直列回路に印加された電圧に対して参照信号の位相合わせをする手段を有し、導電膜のシ−ト抵抗値がマイクロメ−トルオ−ダの膜厚に対応する高抵抗値を測定できるように、ブリッジの出力の抵抗成分のみを測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】曲率の影響を考慮に入れることができる方法を開発する。
【解決手段】本発明は、ターボ機械のブレード形式の中空部品の、所定の範囲の曲率半径および厚さの少なくとも所定の曲率半径を有する点における壁の厚さを評価するための方法であって、壁へと適用された渦電流検出器（２０）によって形成される電気回路のインピーダンス値を割り出すこと、およびそれらの値をニューラルネットワークを備えるデジタル処理ユニットへと挿入することを含み、ネットワークのパラメータが、上記範囲の所定の曲率半径および厚さを有するスペーサについての学習によって、予め定められている方法に関する。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度が向上されたポケットの位置決め装置を実現する。
【解決手段】デバイス搬送ユニットによりＩＣデバイスが搬送配置されるポケットの位置決め装置において、導電性材料であって前記ポケットに配置される板状の第１の台座とこの第１の台座に設けられた円形穴を有する第１の冶具と、導電性材料であって前記第１の台座に対向して前記デバイス搬送ユニットに取付けられ前記円形穴に一端が挿入される突起部を有する第２の冶具と、前記円形穴の周面と前記突起部が接触した際に電気信号を発する検出手段と、前記円形穴に前記突起部が挿入された状態で前記第２の冶具を異なった３方向以上に移動し前記検出手段の電気信号に基づいて得られた移動距離から前記ポケットの中心位置を演算する中心位置演算手段と、演算された前記ポケットの中心位置に前記デバイス搬送ユニットによりＩＣデバイスを搬送配置するようにしたポケットの位置決め装置である。 （もっと読む）

【課題】測定環境の影響を受けることなく、簡易かつ迅速に、導電性膜の膜厚測定等を行うことができる渦電流センサを提供する。
【解決手段】導電性膜または導電性膜が形成される基板の近傍に配置されるセンサコイルと、該センサコイルに交流信号を供給して上記導電性膜に渦電流を形成する信号源と、上記導電性膜に形成された渦電流を上記センサコイルから見たインピーダンスとして検出する検出回路と、を備えた渦電流センサであって、上記インピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分とを直交座標軸上に表示し、上記インピーダンスの座標と指定された中心点の座標とを結ぶ直線の成す角度から上記導電性膜の膜厚を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】長尺帯状や長大な検査試料に対して簡単な構成で容易に且つ正確に膜厚を測定する。
【解決手段】ポリエステルフィルム１１に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置である。ローラ検査部２に、前記ポリエステルフィルム１１の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で支持される検査ヘッド１０と、前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間に介在した状態でローラ検査部２の外周に設けられると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間隔を設定間隔に支持する隔離膜１４とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】き裂長さの影響を受けにくく、残存肉厚の評価を高精度に行うことができる渦電流探傷を利用した方法及び装置を提供する。
【解決手段】残存する肉厚が異なる複数のスリットを設けた対比試験体に対して複数の試験周波数による渦電流探傷を実施し、各スリットについての２つの異なる試験周波数間のＥＣＴ信号の位相差と残存する肉厚との相関を示す校正曲線群を得る。また、被検査体に対して前記複数の試験周波数による渦電流探傷を実施して前記２つの異なる試験周波数間のＥＣＴ信号の位相差を算出する。算出された位相差と前記校正曲線群の位相差とを対比することにより被検査体の検査面から内部き裂までの残存する肉厚を評価する。 （もっと読む）

【課題】円筒状基体上に設けられた塗膜又は被膜の厚みを測定する際に、測定によって前記基体にかかる負荷を少なくし、個々の測定値を極めて正確にする。
【解決手段】円筒状基体外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記円筒状基体外表面の軸に対して直交する前記円筒状基体外表面の断面円内に設定した基準点に対する前記断面円の円周上に定められた３つ以上の点の距離の前記円筒状基体の回転による変化に基づいて、前記基準点と前記円周上の点との距離を算出して前記円筒状基体外表面の断面円の形状、円中心、真円度、外径値を特定し、且つ、前記塗膜又は被膜外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記３つ以上の点とは別の、前記断面円と同一の断面上且つ前記塗膜又は被膜の外表面上の１つ以上の点と前記基準点との距離を算出し、前記円筒状基体外表面の断面円の形状をもとに前記塗膜又は被膜の厚みを測定する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】オフラインで断裁される金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直角度を簡便に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直線上に２本以上の導電性のガイドピンをスライドガイドとして配置し、かつ該直線に直交する直線上に２本以上の可動性かつ導電性の押当てピンを配置した台上で、該シート形状物を該スライドガイドに沿わせてスライドさせ、該可動性押当てピンに接触させて、該ガイドピンと押当てピンの全てのピンで電気的導通が取れたときの可動性押当てピンの移動量から直角度を検出することを特徴とするシート形状測定方法。 （もっと読む）

【課題】渦流探傷により検出する欠陥深さの評価精度を向上させることができる渦流探傷信号の評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】渦流探傷信号における波形特徴を入力として教師あり学習により推定した欠陥の評価深さと、異なる波形特徴を入力として推定した評価深さを比較することにより推定結果を検証し、最適な評価結果を採用するようにした。 （もっと読む）

【課題】 レンズを有するとともに、該レンズを駆動するためのアクチュエータと、該レンズの基準位置を検出する基準位置検出手段を有するカメラモジュールに関し、特に小型、低消費電力で、安価な基準位置検出手段を実現する駆動装置を有するカメラモジュールに関する。
【解決手段】 そこで、上記課題を解決する為に本発明のカメラモジュールは、相互に平行な一対の導電性を有する棒状部材と、棒状部材に沿って移動可能に案内された移動体と、移動体が移動するための駆動力を伝える移動体駆動機構と、駆動力を発生するアクチュエータと、を備えた駆動装置であって、棒状部材のうち一方の棒状部材には絶縁面が形成され、移動体には二つの棒状部材間を連結する導電部が形成され、二つの棒状部材間に、移動体が絶縁面上に位置するか導電面上に位置するかを検出する基準位置検出手段を設けたことを特徴とする駆動装置を有する。 （もっと読む）

【課題】温度以外の環境要因の影響を受け、測定回路内で変化する寄生容量を原因とするセンサ出力信号のドリフトを減少させ、渦電流センサの測定精度を向上させる。
【解決手段】ヘッド部分を持つセンサ回路を有する渦電流センサにおいて、センサ回路は、センサ・コイル、ベース部分、ヘッド部分をベース部分に接続する通信ケーブルを含む。センサ・コイルは、内部導体とケーブルの外側シールドとの間に接続される。ベース部分は、ケーブルの線路容量をセンサ・コイルから分離し中心導体の電圧を緩衝し、３軸ケーブルの内側シールドに印加する電圧フォロワを備える。 （もっと読む）

【課題】検出面の肉厚を厚くし、かつ、鉄などの磁性金属により構成される取付金属に埋込んで設置しても検出感度の低下を防ぐことが可能な近接センサを提供する。
【解決手段】検出コイル６から側面部２４への磁束ＦＬ１は取付金属の方向に誘導され、磁束ＦＬ１の一部が磁束ＦＬ３として取付金属５１に達する。また、側面部２４では磁束ＦＬ１により渦電流が生じ、その渦電流によって検出コイル６の方向に磁束ＦＬ２が発生するとともに、取付金属５１に向けて磁束ＦＬ４が発生する。磁束ＦＬ２，ＦＬ４によって取付金属５１では渦電流による損失が発生する。側面部２４では磁束が通過しやすくなっているので側面部２４での渦電流による損失は減少するものの取付金属５１では損失が増加する。発振周波数ωを調整することで漏洩磁束による損失を取付金属５１の有無に拘らず変化しないように調整することができる。 （もっと読む）

【課題】従来タイプの測定装置をさらに発展させて、測定プローブ素子の、摩擦を低減させた配置によって、測定プローブによる測定精度の増加を可能にすること。
【解決手段】本発明は、ハウジング（１４）の縦軸（１６）に沿って、前記ハウジングに対して、少なくともわずかに、可動的に受け入れられている少なくとも１つのセンサ素子（１７）を有する前記ハウジング（１４）を備えた、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブであって、前記測定プローブ（１１）を測定物体の面上にセットするために、前記少なくとも１つのセンサ素子（１７）に割り当てられたコンタクト球状キャップ（２１）を備えた測定プローブにおいて、前記少なくとも１つのセンサ素子（１７）が、弾性的にばね荷重状態に設計され、そして、前記ハウジング（１４）上に固着された保持要素（１８）によって、−前記ハウジング（１４）の前記縦軸（１６）に沿って−、受け入れられている測定プローブに関するものである。 （もっと読む）