【課題】磁気センサでは困難な、高速な回転の検出に好適な回転検出装置を提供する。また同時に、耐環境性に優れ、低コストな装置とする。
【解決手段】本発明の回転検出装置は、ターゲット１との対向距離に反応するインダクタンス（又はキャパシタンスも可）を含む回路の共振周波数に基づく周波数の第１信号を発生する第１信号発生器９、及び、基準となる周波数の第２信号を発生する第２信号発生器１０を具備し、第１信号発生器９には電圧制御発振器２が含まれている。位相同期回路１２は、第１信号及び第２信号について、位相及び周波数が相互に一致するように、電圧制御発振器２に制御電圧を付与する。出力回路８は、制御電圧が変化している時期を捉えた矩形波信号、すなわち、ターゲットの凹部又は凸部に対応した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】切削加工で製作されるコアを組み込んだ差動トランスを用いた触針式段差計の変位雑音を小さくすることのできるコア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】差動トランスのコア６は、切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを１μｍオーダー以下にして構成される。また、触針式段差計における本発明による差動トランス用コア６の製造方法は、パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを含む。 （もっと読む）

本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なうための装置に関する。装置は、複数の処理局と、処理すべき対象を保持するための保持装置を備えている送り装置とを有している。送り装置はそれぞれの保持装置によって保持されている対象をある処理局から後続の処理局へと規則的に運搬するよう構成されている。複数の処理局の内の一つが検査局であり、該検査局は電圧源と、該電圧源と接続されている電極と、評価ユニットとを有している。評価ユニットは、電極と検査局にあるそれぞれの対象との間の電圧変化を検出するよう構成されている。更に本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう装置のために相応に構成されている検査局並びに丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう方法に関する。
（もっと読む）

【課題】装置全体の小型化を図りながら、部品点数の削減によるコストの低減化を図ることができる硬貨識別装置を提供すること。
【解決手段】投入された硬貨（Ｃ）が通過する硬貨通路（１）の近傍に配置され、硬貨通路を通過する硬貨の識別を行う硬貨識別装置において、硬貨通路に磁界を生じさせる環状励磁コイル１１と、環状励磁コイル１１の内部に配設され、かつ硬貨通路を硬貨が通過するときの磁界変化を検出する第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４と、第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４のそれぞれが検出した磁界変化に応じた信号の和により、硬貨の厚みを検出する材厚検出部３１３と、第１検出コイル１３の検出した磁界変化に応じた信号により硬貨の材質を検出する材質検出部３１２と、第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４のそれぞれが検出した磁界変化に応じた信号の差により硬貨の凹凸を検出する凹凸検出部３１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被覆の表面に凹凸を有する被覆金属線８であっても、変位センサ１７及び被覆２６の双方に衝撃、又は損傷を加えることなく、変位センサ１７を被覆金属線８に近接させて被覆厚の測定を精度よく行うことが可能となる被覆厚測定装置を提供すること。
【解決手段】一方向に移送される被覆金属線８の被覆２６に接触して配置され、この被覆２６を介して芯線２５までの距離を測定する変位センサ１７を有するセンサ部９と、このセンサ部９に対して被覆金属線８の移送方向の上流側に配置され、前記センサ部９が測定する前記被覆２６の部位において、被覆表面から所定値以上の高さを有する凸部又は所定値以上の深さを有する凹部を検出する検出部１０とを備えている。
更に、センサ部９を保持する駆動手段１１は、検出部１０が上記凸部又は凹部を検出したときにセンサ部９を被覆２６より遠ざけることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出対象物についての検出処理を行う新たなセンサ装置を提供する。
【解決手段】アレイ状に配置された複数の電極を有する電極アレイと；第１の周波数を有する第１の信号を生成し、前記電極アレイを構成する前記複数の電極に前記第１の信号を印加する信号生成部と；前記第１の信号が前記電極アレイを構成する前記複数の電極に印加され、第２の周波数を有する第２の信号が検出対象物に印加される場合において、前記電極アレイを構成する各電極と前記検出対象物の表面との距離を、各電極に印加された前記第１の信号と前記検出対象物に印加された前記第２の信号との干渉波を利用して検出する、または、前記検出対象物の表面の凹凸を、一の電極から出力された前記干渉波と他の電極から出力された前記干渉波とを利用して生成された信号を利用して検出する、検出部と；を備えることを特徴とするセンサ装置。 （もっと読む）

【課題】従来の電子部品が実装された基板検査は、目視検査による実装の有無及び実装状態を判定しているため、検査時間を要し負担が大きく人為ミスが発生する虞がある。
【解決手段】本発明は、基板に実装された各電子部品に対して当接する可動軸を有するリニアスケールプローブが複数配置された検査パネルを備え、検査パネルを基板に宛がい、電子部品に当接した可動軸の移動により、リニアスケールプローブ内の高周波電力が印加される励磁コイルから発する磁界中を磁性体が移動し、磁性体の磁界移動から検出コイルにより検出された電圧信号に基づき、基板に実装される電子部品の有無及びその実装状態を検査して判定する基板検査システムである。 （もっと読む）

【課題】電子放出源を備えた走査型プローブ顕微鏡用探針を提供する。
【解決手段】円錐状の針部１０１ａを備えたカンチレバー状の基部１０１と、基部１０１の上に形成された絶縁層１０２と、絶縁層１０２の上に形成された電子放出層１０３とを備える。この探針は、これらの積層構造からなる探針部１１０と片持ちの梁部１１１とから構成されている。探針部１１０は、針部１０１ａの上に設けられた絶縁層１０２及び電子放出層１０３から構成され、この先端部に行くほど細くなるように形成されている。また、探針部１１０における電子放出層１０３の針部１１０の上面（探針部１１０の先端部上面）は、平坦に形成されている。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用でもパッシベーション膜に劣化が発生し難い指紋センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に互いに間隔をおいて形成された検出電極膜４４ａ及び接地電極膜４４ｂと、層間絶縁膜４０、検出電極膜４４ａ、及び接地電極膜４４ｂのそれぞれ上に形成され、該接地電極膜４４ｂが露出する開口５１ａを備えた保護絶縁膜５１と、保護絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａと開口５１ａに重なる窓５５ａを備えたパッシベーション膜５５とを有し、窓５５ａの開口端が面取りされたことを特徴とする表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】内部処理的な手法ではなく、構造的な手法によって指紋検出性能の向上を図る。
【解決手段】筐体１２の表面１３に、指先１００の汚れを落とす第１の汚れ除去部１４と、指先１００に適度な湿気を供給する湿気供給部１５と、指紋認証用のセンサ部１６と、指先１００に付着した油分を除去する第２の汚れ除去部１７とが、指先１００をスライドさせる方向Ｘ１の上流側から、この順番で配置されている。また、筐体１２の表面１３には、第１の汚れ除去部１４、湿気供給部１５、センサ部１６、第２の汚れ除去部１７を被覆する蓋部材が配置されており、さらに、この蓋部材の下面には、センサ部１６の汚れを拭き取る拭き取り部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】水分の侵入を防止しながら、被検体の表面の凹凸を感度良く検出することが可能な表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された第１水分バリア絶縁膜４１と、第１水分バリア絶縁膜４１の上に形成された検出電極膜４４ａと、検出電極膜４４ａの上に形成された第２水分バリア絶縁膜５１と、第２水分バリア絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａの上に窓５５ａを備えた保護絶縁膜５５とを有する表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程を簡略化し、低コスト化すること。
【解決手段】認識対象物に接触して、認識対象物の表面形状を認識する本発明の表面形状認識用センサ１において、容量センサ電極５と、該容量センサ電極５を覆う容量膜２と、該容量膜２を覆う保護膜３と、該容量膜２に形成されたスルーホール７と、その開口部辺縁とを覆うように形成され、接地された電極パターンとしてのグランド電極４とを備え、該グランド電極４は、該保護膜３における認識対象物の接触面において露出し、該容量膜２の該グランド電極４に覆われた部分は、該容量膜２の該グランド電極４に覆われていない部分よりも０．１μｍ以上厚くなるよう形成されている。このため、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程の簡略化および低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたる表面凹凸をもった多種の用紙について、その表面凹凸に応じた適切なトナー付着量を制御することである。
【解決手段】同じ記録用紙を互いに異なる圧力でそれぞれ挟持する２つの金属ローラ対２１ａ，２１ｂそれぞれに電圧を印加したときに各金属ローラ対を流れる電流値を検知し、検知した各電流値の差から各金属ローラ対を通過した記録用紙の表面凹凸を特定する。そして、特定した表面凹凸に対してトナー付着量が最適になるように潜像形成用の画像データをγ補正することで、その記録用紙上のトナー像を構成するトナーの付着量を制御する。 （もっと読む）

提供されねばならないのは位置を判定するための可動電気機械用の安価な検出システムであって、検出信号が零通過を備えていなければならない。これは例えば、Ｕ形ヨーク（３）と磁気量を検出するためにヨーク（３）の内部／表面に配置されるセンサ（１０）とを有する検出装置（１）によって達成される。ヨーク（３）の一方の自由端に２つの逆向きの磁石または方向性磁石（６〜９）が配置されている。機械構成部品（２）の磁極歯（１１、１２、１３）の１つに対する磁石（６〜９）の位置に依存して、センサ（１０）によって検出可能な逆向きの磁束をヨーク（３）内で発生することができる。そのことから、複数の測定センサを利用する必要もなしに、例えばリニアモータを制御するために概ね正弦波状のセンサ信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体素子と配線基板との接続部が保護された接触型センサ内蔵半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】接触型センサ内蔵半導体装置は、回路形成面に形成されたセンサ領域１ｂと、センサ領域１ｂ以外の領域に設けられた接続用電極１ｃとを有する接触型センサ内蔵半導体素子１と、端面が回路形成面上に位置するように、半導体素子１の接続用電極１ｃに接続された配線基板１２Ａとを有する。半導体素子１の回路形成面上に位置する配線基板１２Ａの端面６ａは傾斜面である。 （もっと読む）

【課題】残留指紋の発生、及び視認性の高いキズの発生を抑制することができる表面形状認識用センサを提供する。
【解決手段】本発明の表面形状認識用センサは、半導体基板上に各々が絶縁分離されて配置された複数のセンサ電極と、前記センサ電極を覆う絶縁膜とを備え、前記絶縁膜は、前記絶縁膜に共有結合する有機シラン薄膜によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】表面引っ掻きに対する強度が高められた表面形状認識用センサを提供する
【解決手段】本発明の表面形状認識用センサは、半導体基板上に電源供給配線を有する下地回路層と、下地回路層上に下層絶縁膜と、下層絶縁膜上にセンサ電極及びアース下部電極と、センサ電極及びアース下部電極を覆うパシベーション膜と、表面が露出するようにパシベーション膜に埋め込まれたアース上部電極と、アース下部電極とアース上部電極とを電気的に接続する接続電極とを備え、アース下部電極は、平面的に見たときに電源供給配線に重ならないように配置され、アース上部電極は、表面が平坦であることを特徴とする。 （もっと読む）

像感知装置は、対象物、例えば指、の予想運動方向に関してほぼ直角に配置される像ピックアップ・プレートと、像ピックアップ・プレートに対して離隔配置された多数の像駆動プレートと、イメージピックアップ・プレートに対して実質的にほぼ平行に配置された基準プレートとを有し、前記複数の像駆動プレートは、各像駆動プレートと像ビックアップ・プレート間にセンサー・ギャップを画定するように、像ピックアップ・プレートから離隔配置されている。基準プレートは、共通モード・ノイズと結合が打ち消されるように像ピックアップ・プレートから隔てられていて、且つ像ピックアップ・プレートと基準プレート間に差動像信号が作りだされるように像駆動プレートから隔てられている。像ピックアップ・プレートに接続された差動増幅器と基準プレートとにより、ノイズが打ち消される。前記装置は更に、基準プレートから隔てられ、且つ例えば接地電位のような基準電位に連結された、櫛状プレートを有している。 （もっと読む）

【課題】 電極チップ整形監視装置を簡素化でき、ロボットのティーチングが不要で、且つサイクルタイムに影響を与えないようにする。
【解決手段】 スポット溶接ロボットに設けた各軸回りに電極チップを回動させるためのサーボモータ２４における回転軸の回転位置、回転軸の回転速度及びモータ電流をそれぞれフィードバック制御するサーボモータ制御部７０Ａのフィードバック量（即ち、検出電流Ｉｆ、位置情報Ｐｆ、速度情報Ｖｆのうちの少なくとも一つ）と、このフィードバック量に対応させて予め設定した設定値幅とを比較することにより、電極チップの整形状態及びチップドレッサの作動状態を監視する。 （もっと読む）

【課題】 検出感度を向上させつつ、静電容量検出装置を静電破壊から保護できるようにする。
【解決手段】 補助電極３１がマトリクス状に配置されるとともに、行方向に延伸された静電気保護電極３２が補助電極３１間に形成された静電容量検出装置において、静電気保護電極３２上に配置された突出電極３３を設ける。 （もっと読む）