【課題】被測定対象に施される遮熱コーティングの膜厚を効率良く正確に測定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、タービン翼１１に形成された遮熱コーティング膜の膜厚を測定するＥＣＴセンサ４と、遮熱コーティング膜の膜厚を測定する地点であるタービン翼１１上の測定地点を記憶している記憶手段９と、タービン翼１１の形状を測定するレーザ変位計５と、レーザ変位計５によって測定された測定されたタービン翼１１の形状と、記憶手段９に記憶されているタービン翼１１上の測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４による実際の膜厚測定に適した実測定地点を算出する測定位置算出手段８と、測定位置算出手段８によって算出された実測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４を駆動して、ＥＣＴセンサ４の測定位置を調整するアーム駆動手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ロッド状部材間および周囲に存在する媒体を測定対象とする場合に適用してロッド状部材の表面における前記媒体の状態とともに、前記ロッド状部材間および周囲に存在する媒体の状態を容易且つ的確に計測し得るインピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置を提供する。
【解決手段】 複数のロッド状部材２の間および周囲に存在する媒体を測定対象とするインピーダンス計測センサであって、励起電極４および計測電極５からなる第１の電極対３の複数個と、励起電極４の基準電位と同じ電位に保持されたグランド電極６と、励起電極４、計測電極５およびグランド電極６間を電気的に絶縁する絶縁部７とを有して励起電極４と計測電極５間に接触される媒体のインピーダンスを計測するための多点電極センサ１と、計測電極５との間の媒体のインピーダンスを計測するよう計測電極５と第２の電極対を形成して励起電極として機能させる他の電極である第１のワイヤ電極９とを有する。 （もっと読む）

【課題】空洞内の被覆を検査でき、または空洞の被覆の厚さまたは不十分にしかアクセス可能でない区域を非破壊方式で判定できる測定プローブを提供する。
【解決手段】開口部によってアクセス可能な、または曲がった表面上の、特に空洞２６内の薄い層の厚さの非破壊測定のための測定プローブ１１であって、センサ要素と前記空洞２６の検査予定の表面２７上でセンサ要素に割り当てられる接触式球状のキャップとを備える測定ヘッド１７と、前記測定プローブ１１を測定予定の表面２７上を表面２７に沿って位置決めしガイドするための掴み要素１２とを備え、それによってこの掴み要素１２に長い弾性的に曲り易いガイド・バー１６が設けられ、ガイド・バーは掴み要素１２に対向するその端部上に少なくとも１つの測定ヘッド１７をその測定ヘッドがガイド・バー１６に対して移動できる。 （もっと読む）

【課題】油膜の膜厚をより高い精度で計測することができる膜厚計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】膜厚計測装置１０は、シリンダライナＳのピストンリング摺動面Ｌに埋設された静電容量センサ１１とピストンリングＲとの隙間に形成された潤滑油の油膜の静電容量を計測する静電容量計測部１３と、ピストンリングＲが静電容量センサ１１の埋設箇所を通過する直前の複数点の計測値及び直後の複数点の計測値の少なくとも一方の計測値の平均値を求め、ピストンリングＲが静電容量センサ１１の埋設箇所を通過する際に得られる計測値からその平均値を差し引いて得られる補正計測値に基づいて油膜の膜厚を求める膜厚演算部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】渦電流センサが配置される周囲構造物の材料に影響されることなく、簡単な構成で高感度で且つ安定して導電性膜厚を検出できる渦流センサ及び該渦電流センサを提供すること。
【解決手段】導電性膜が形成された基体の近傍に配置されたセンサコイルを備え、該センサコイルに交流電流を通電することにより、前記導電性膜に渦電流を誘起し、該渦電流により発生する磁束変化をセンサコイルに誘起される誘起電圧により検出して前記導電性膜の膜厚を測定する渦電流センサにおいて、センサコイル２１、２２、２３はセンサヘッド２４に配置されており、センサコイル２１、２２、２３はそれぞれＡ側とＢ側の一対のコイルからなり、一対のコイルの各コイルに通電した際に、センサヘッド２４の一方のコイル周囲を周回する電流Ｉａが、他方のコイル周囲を周回する電流Ｉｂと絶対値が同じで流れの向きが逆になるように配置した。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの電極上に設けられた絶縁膜の膜厚に着目し、それを測定することで静電チャックの状態を把握できるようにした静電チャックの管理方法を提供する。
【解決手段】電極１１と、電極１１上に設けられた絶縁膜１５と、を有する静電チャック１００の管理方法であって、渦電流式膜厚測定器２００を用いて、絶縁膜１５の膜厚を測定し、測定された絶縁膜１５の膜厚値と予め設定された基準値とを比較する。このような方法によれば、静電チャック１００の状態を客観的に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】燃料集合体を解体することなく、磁性クラッドが付着した状態下でも燃料棒被覆管の酸化膜厚さ高精度で測定することができる新規な酸化膜厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の酸化膜厚さ測定方法は、渦電流センサ４と未照射燃料被覆管上に被覆した厚さの異なる模擬磁性クラッド試料と未照射燃料被覆管の肉厚変化試料を用いて、磁性クラッドに起因する位相角度と被覆管肉厚変化による位相角度が同一方向となる周波数を求める工程と、この周波数を印加した渦電流センサ４と未照射燃料被覆管からベクトル平面図上のゼロ点を求める工程と、同周波数にて渦電流センサを測定対象の被覆管表面３に接触させインピーダンス値を求める工程と、前記インピーダンス値を前記リフトオフ成分と前記同一方向の位相角度成分に分解する工程と、前記分解されたリフトオフ成分から酸化膜厚さを求める工程からなる。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムに液膜等の検出対象の厚さを測定可能とすると共に、その熱輸送量の測定を可能とするセンサ、液膜測定装置を提供する。
【解決手段】本実施の形態に係る第一のセンサ１１Ａは、筒状の本体１２と、この本体１２内に隙間を持って設けられる一対の電極１３ａ、１３ｂと、本体１２と電極１３ａ、１３ｂとの間に充填された絶縁部１８と、本体１２内に設けられた熱電対１９ａ〜１９ｃとを有する。これにより、流体の液膜Ｌの膜厚を測定すると共に、測定された液膜Ｌの膜厚に応じた温度分布を測定し、熱流束を測定することができ、液膜Ｌの厚さに応じた熱輸送量を確認することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】同軸ケーブルの交換を容易にさせると共に、膜厚検出センサ間の信号の干渉を抑制することができる膜厚検出センサの接続構造及び接続方法を提供する。
【解決手段】潤滑油の油膜の厚さを検出するセンサヘッド１と、センサヘッド１と電気的に接続される内導体２ａ及び内導体２ａの周りに絶縁体を介して配される外導体２ｂを備える同軸ケーブル２との接続構造であって、センサヘッド１には、内導体２ａと電気的に接続されるセンサ電極１ａの周りに絶縁体１ｂを介してセンサケース１ｃが設けられており、センサヘッド１と同軸ケーブル２とは、センサ電極１ａと内導体２ａとを電気的に接続させると共に、外導体２ｂとセンサケース１ｃとを電気的に接続させ、且つ、センサヘッド１と同軸ケーブル２とを着脱自在とさせる同軸コネクタ１０を介して接続されているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】 フェライトコアに巻かれた励磁コイルと交流電源の間に接続されるリード線のインダクタンス及び抵抗成分の影響を受けて、励磁コイルに供給される交流電圧を一定に保つことが出来ず測定誤差の要因となっている。
【解決手段】 渦電流センサの磁心に交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に電圧検出コイルを設け、渦電流発生時の電圧検出コイルの誘起電圧を検出コイルのインピーダンスに対して高入力インピーダンスである検出器で検出する。前記検出器で検出された検出電圧で励磁コイルに印加する高周波電圧を制御する。測定用渦電流センサと試料を測定しない非測定用渦電流センサを使用し、夫々の渦電流センサの磁心に励磁コイルとは別に設けた電圧検出コイルを夫々の誘起電圧が逆方向となるように直列接続し、非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と、試料測定した測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を前記直列接続した電圧検出コイルの測定端子で検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】研磨装置の運転を停止させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】基板の水研磨時、研磨パッド１０のドレッシング時、または研磨パッド１０の交換時において、渦電流センサ５０の出力信号を補正信号値として取得し、補正信号値から補正基準値を減算して補正量を算出し、導電膜を有する他の基板を研磨しているときの渦電流センサ５０の出力信号から補正量を減算して実測信号値を算出し、実測信号値の変化を監視することにより研磨中の導電膜の厚さの変化を監視する。 （もっと読む）

【課題】導電性膜内の微細な配線に強い磁束によるジュール熱損を及ぼすことなく、研磨終了時点を精度よく予測する。
【解決手段】ウェーハWの導電性膜を除去する研磨工程において、ウェーハ上の導電性膜に二次元平面のインダクタ型センサ34を近接させて、インダクタ型センサによりウェーハの導電性膜に誘起される磁束をモニタする。インダクタの形状、インダクタと導電性膜との距離、発振周波数などの条件を導電性膜に表皮効果が働く程度に適正化し、研磨終了の直前に磁束のピークが出現するように構成する。研磨終了の直前では導電性膜を磁束が殆ど貫通せず、ウェーハ内の微細配線などを損傷する虞がなくなる。 （もっと読む）

【課題】半導体素子端面の反射率を精度よく測定するとともに、測定値に基づいて該半導体素子端面の反射率をより設計値に近づけた半導体素子を得ることを可能とする半導体素子端面の誘電体薄膜膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】TiO₂膜およびSiO₂膜を備え、半導体素子の光出射端面に設けられるＨＲ膜の膜厚を、ＨＲ膜に対して半導体素子の光出射端面外部から照射された励起光によって生成された光励起電流を測定し、光励起電流の測定値に基づいて光励起電流の変動率Ｉ_phを算出し、光励起電流の変動率Ｉ_phの算出結果と、予め参考値として計算したTiO₂膜の設計膜厚と実際の膜厚のずれ及びSiO₂膜の設計膜厚と実際の膜厚のずれに対する変動率の関係とを比較し、TiO₂膜の実際の膜厚とSiO₂膜の実際の膜厚の取り得る領域（I）、（II）と（IV）を決定することによって求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】高周波磁界を励磁して導電性膜９に渦電流を励起させるコイルと、渦電流に起因する渦電流損失の影響を受けた高周波電流を出力するコイルとを有する渦電流損失測定センサ２０と、コイルが出力する高周波電流から渦電流損失測定センサ２０のインピーダンスの変化、高周波電流の電流値の変化または高周波電流の位相の変化を測定して渦電流損失量を測定するインピーダンスアナライザ４８と、導電性膜９と渦電流損失測定センサとの距離を測定する光学式変位センサ３２と、インピーダンスアナライザ４８と光学式変位センサ３２の各測定結果に基づいて導電性膜９の膜厚を算出する膜厚演算部５４を含む制御コンピュータ４２と、を備える膜厚測定装置１。 （もっと読む）

【課題】 切断刃により被覆電線の所望箇所に切り込みを設けて剥皮する剥皮装置であって、被覆電線の被覆に切断刃を切り込みする際、被覆電線上の任意箇所に近接配置した電極子と切断刃とで一対の電極を形成させ、切り込みする際に生ずる一対の電極間の電気容量の変位に基づき、被覆電線の芯線と切断刃との誤接触を検知する剥皮装置であって、検知信号が適切に得ることのできるような調整が容易に行える剥皮装置を提供すること。
【解決手段】 電気容量の変位は、電極子と切断刃とのいずれか一方に交流電流を測定信号として送ることにより他方に生ずる電流又は電圧による検知信号により認識され、
（Ａ）検知信号の電流又は電圧を誤接触検知の閾値に対応させるためにする、測定信号の電圧調整機構と、（Ｂ）測定信号の周波数調整機構と、（C）閾値の調整機構との少なくとも１が成されることを特徴とする。
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【課題】 回転側輪や転動体に対して非接触の状態で、転がり軸受における潤滑膜の状態を推定できると共に、スリップリング等の電気接点を用いることなく、油膜厚さ等の測定を簡単に行うことができ、装置全体の組立を簡単に行うことができる軸受状態検査装置および軸受状態検査方法を提供する。
【解決手段】 内輪３に取付けられこの内輪３に対して電気的に導通した導電性の回転リング８と、外輪２に取付けられた固定側ユニット１３とを備え、この固定側ユニット１３は、回転リング８に静電容量発生用の隙間を介して対向し外輪２に対して電気的に非導通の固定リング９と、この固定リング９に対して電気的に絶縁されかつ外輪２に対して電気的に導通した金属部材１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】電磁膜厚計でメッセンジャーワイヤーの膜厚値を簡便且つ正確に計測する。
【解決手段】膜厚計測装置４は、メッセンジャーワイヤー１を挟持する挟持部２８と、電磁膜厚計５のプローブ８が挿入される挿入口２５ａを有し、この挿入口２５ａから挿入されたプローブ８の検出部１０ａを素線２の表面２ａに正対させた状態を保持したまま表面２ａに向けて案内し、検出部１０ａを表面２ａあるいは亜鉛めっき３に垂直に当接させる案内部２５とを備えた治具６と、第１の計測値から第２の計測値を減算し、ここで得られた減算結果を、複数の膜厚値と、これらの膜厚値からなるプラスチック製の膜がそれぞれ被覆されている複数の素線２を電磁膜厚計５の計測対象にして計測して得た各計測値から第２の計測値を減算した減算結果との相関関係から導出した較正用データ１８ａに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の膜厚を精度良く測定する。
【解決手段】渦電流センサ１は、基板６に形成された導電性膜７に対向して配置されたセンサコイル２ａ及びセンサコイル２ｂと、導電性膜７に渦電流を生じさせるための交流信号をセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに選択的に供給する交流信号源３と、導電性膜７に生じた渦電流に応じてセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに流れる電流値を検出する交流電流計４とを備え、センサコイル２ａの径とセンサコイル２ｂの径とは、導電性膜７の種類に応じて互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置を提供すること。
【解決手段】長手軸がハウジング（１４）の長手軸（１６）と平行またはその上にある少なくとも１つのセンサ要素（１７）を保持するハウジング（１４）を有する測定プローブ（１１）により、薄層の厚さを測定する方法と装置。少なくとも測定過程中に、気体媒体が測定表面（２８）で測定プローブ（１１）の供給開口（２１）に供給され、供給開口（２１）に連結された少なくとも１つの連結経路（２４）を介して、測定表面（２８）に向いている、測定プローブ（１１）の端面（２９）に設けられた１つまたは複数の出口開口（２６）に供給され、１つまたは複数の出口開口（２６）から流出する、気体媒体の少なくとも１つのマス・フローが測定表面（２８）に向いており、測定プローブ（１１）は測定過程中に測定表面（２８）に対して非接触の方法で保持される。 （もっと読む）

【課題】シート抵抗が大きくなると│V_x│はシート抵抗の逆数に比例して小さくなるはずが、測定すると、あるシート抵抗値以上では変化しなくり、│V_x│の測定値から算出できない。
【解決手段】参照コイルと検出コイルが直列に接続された回路と、２個の基準抵抗が直列に接続されたインダクタンスブリッジを用い、測定対象物の表面に形成された導電膜の近傍の所定の位置に配置可能に構成され、参照コイルよりも検出コイルを導電膜に近接した位置に配置可能であり、導電膜に対して所定の渦電流を発生させ且つ当該渦電流による磁界を検出する渦電流コイルセンサで、導電膜からの磁界を検出するとき渦電流を発生させるための直列回路に印加された電圧に対して参照信号の位相合わせをする手段を有し、導電膜のシ−ト抵抗値がマイクロメ−トルオ−ダの膜厚に対応する高抵抗値を測定できるように、ブリッジの出力の抵抗成分のみを測定するようにした。 （もっと読む）