【課題】 ３つのホールセンサの信号出力とパルス交番信号の、合計４つの信号の値から、２相エンコーダの出力に相当する信号を生成することによって、モータ回転子の回転方向を判別することができるブラシレスＤＣモータの回転子位置検出方法とその装置を提供する。
【解決手段】 ３つのホールセンサ２_Ｕ，２_Ｖ，２_Ｗ信号の現在値と、その１つ前の値とから、前記回転子の回転方向を判別し、前記３つのホールセンサ２_Ｕ，２_Ｖ，２_Ｗのうち、いずれか１つの立ち上がりエッジまたは、立ち下がりエッジを基準位置とし、かつ、この基準位置として立ち上がりエッジを選択するか、あるいは、立ち下がりエッジを選択するかは、前記回転子の回転方向によって決定して、前記基準位置を通過する度に交番する交番信号を生成し、前記３つのホールセンサ２_Ｕ，２_Ｖ，２_Ｗの信号と、前記交番信号とから、２相エンコーダ出力相当のパルス信号を生成し、このパルス信号によって前記回転子位置を検出する方法。 （もっと読む）

【課題】研磨装置の稼働率を低下させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する研磨テーブル１上の研磨面２ａに研磨対象の基板Ｗを押圧して基板Ｗ上の導電膜ｍｆを研磨し、研磨中に研磨テーブル１に設置された渦電流センサ５０により導電膜ｍｆの厚さを監視する研磨監視方法であって、研磨中の渦電流センサ５０の出力信号を取得し、渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在しない時の出力信号を用いて渦電流センサ５０の出力調整量を算出し、出力調整量を用いて渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在する時の出力信号を補正して基板Ｗ上の導電膜ｍｆの厚さを監視する。 （もっと読む）

【課題】回路構成の簡素化に寄与することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】直列に接続される第１〜第４の二次コイル１５ａ〜１５ｄは、基板に直交する特定の軸回りに９０°間隔で設けた。そして、これら二次コイル１５ａ〜１５ｄに対して、時間的な位相を互いに９０°ずらして励磁するようにした。また、各二次コイル１５ａ〜１５ｄに発生するアナログ電圧の和である合成信号を、単一のＡ／Ｄ変換器２１で取り込むようにした。Ａ／Ｄ変換器２１の取り込みタイミングとして、特定の二次コイルに発生する電圧が最大になる第１のタイミング、および、第１のタイミングにおける前記電圧の位相が時間的に９０°ずれる第２のタイミングをそれぞれ設定した。第１および第２のタイミングでＡ／Ｄ変換器に取り込まれる合成信号のデジタル値の組み合わせに基づき、検出対象の位置を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ１ａと組み合わせて使用するセンサ１０、１０の個数を、３個のみと、少なくした状態で、前記エンコーダ１ａを外嵌固定した回転部材の５方向の変位ｘ、ｙ、ｚ及び傾きφｘ、φｚを測定できる構造を実現する。
【解決手段】前記エンコーダ１ａとして、被検出面である外周面に、複数の特性変化組み合わせ部３ａ、３ａを円周方向に等ピッチで形成したものを使用する。これら各特性変化組み合わせ部３ａ、３ａは、前記エンコーダ１ａの軸方向に対して互いに逆方向に傾斜した第一凹溝１１ａ及び第二凹溝１１ｂから成るものとする。前記エンコーダ１ａの外周面のうちで円周方向の位相が互いに異なる部分に、３個のセンサ１０、１０の検出部を対向させる。これにより、これら各センサ１０、１０の出力信号から得られる情報に基づいて、前記５方向の変位ｘ、ｙ、ｚ及び傾きφｘ、φｚを算出可能とする。 （もっと読む）

【課題】歯車伝達装置を構成する歯車４ａの変位方向及び変位量を測定して、この歯車伝達装置が伝達するトルクの方向及び大きさを測定可能な構造を実現する。
【解決手段】１対のセンサ７ａ、７ｂの検出部を、はすば歯車であって他の歯車と噛合した前記歯車４ａの外径側端部に形成した歯５ａに対し、径方向及び軸方向に、それぞれ対向させる。この歯車４ａは、トルク伝達に伴って軸方向に変位する。そして、前記センサ７ａ、７ｂの出力信号同士の間に存在する位相差が、前記歯車伝達機構が伝達するトルクの方向及び大きさにより変化する。そこで、この位相差に基づいて、このトルクを求める。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で作業性よく、しかも確実に、鋼帯コイルの払出し側端部を検出可能な鋼帯コイルの端部位置の検出方法を提供する。
【解決手段】コイル搬送手段１０により搬送されペイオフリール１１のマンドレル１２に装着された鋼帯コイル１３の払出し側端部１４を検知して、ペイオフリール１１の上位置に配置されたマグネットコンベアに吸着させる鋼帯コイルの端部位置の検出方法であり、マンドレル１２に装着された鋼帯コイル１３を払出し方向とは逆方向に回転させながら、巻回状態の鋼帯コイル１３から剥がれた払出し側端部１４を、コイル搬送手段１０に設けられ鋼帯コイル１３とは隙間を有して配置された在荷検出用センサー１６により検知させ、検知状態が未検知状態となった角度位置を基準として、鋼帯コイル１３を予め設定した角度回転させ、鋼帯コイル１３の払出し側端部１４をマグネットコンベアに吸着させる。 （もっと読む）

【課題】工作機械の主軸が高速回転する状態での検出分解能及び測定精度の確保と、同じく低速回転する状態での応答性の確保との両立を図る。
【解決手段】演算器は、円周方向に隣り合う１対の凹溝１０ａ、１０ｂに基づいて発生する１対のパルス間の周期である部分周期δと、互いに異なる１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに対応する１対のパルス間の周期である全周期Ｌとの比であるパルス周期比δ／Ｌに基づいて、前記主軸の軸方向変位量を求める。この主軸の回転速度が所定値よりも低い場合に、（Ａ）に示す様に、前記全周期Ｌとして、円周方向に隣り合う１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに関する値Ｌ_aを採用する。これに対して、前記回転速度が前記所定値以上である場合に、（Ｂ）に示す様に、前記全周期Ｌとして、中間を飛ばして存在する１対の被検出用特性変化組み合わせ部３ａ、３ａに関する値Ｌ_bを採用する。 （もっと読む）

【課題】磁気センサでは困難な、高速な回転の検出に好適な回転検出装置を提供する。また同時に、耐環境性に優れ、低コストな装置とする。
【解決手段】本発明の回転検出装置は、ターゲット１との対向距離に反応するインダクタンス（又はキャパシタンスも可）を含む回路の共振周波数に基づく周波数の第１信号を発生する第１信号発生器９、及び、基準となる周波数の第２信号を発生する第２信号発生器１０を具備し、第１信号発生器９には電圧制御発振器２が含まれている。位相同期回路１２は、第１信号及び第２信号について、位相及び周波数が相互に一致するように、電圧制御発振器２に制御電圧を付与する。出力回路８は、制御電圧が変化している時期を捉えた矩形波信号、すなわち、ターゲットの凹部又は凸部に対応した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 工業的量産性に優れ、高い摺動性を有するセンサー基板を備える磁気センサーを製造する。
【解決手段】 Ｓｉウェハ上に形成した検出素子をフォトレジストで被覆する工程と、前記フォトレジストを加熱して稜に凸曲面を有するレジストパターンを形成する工程と、レジストパターン及びＳｉウェハをドライエッチングして前記凸曲面の少なくとも一部をＳｉウェハに転写する工程と、前記Ｓｉウェハを切断して前記凸曲面の少なくとも一部を稜に有する矩形状のセンサー基板を得る工程とを備えることを特徴とする磁気センサーの製造方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】回転角度を算出することなく、回転軸が予め定めた角度に位置することを検出することができる回転検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、シャフト３の回転に伴って磁界の向きが変わるように配置された磁石２１と、磁石２１の磁界に応じて信号を出力し、シャフト３が予め定めた回転角度にあるときに出力する信号が切り替わるように配置されるＭＲセンサと、複数のＭＲセンサ２００ａ〜２００ｄの出力する信号が切り替わる回転角度がそれぞれ異なるようにＭＲセンサ２００ａ〜２００ｄを配置し、複数のＭＲセンサ２００ａ〜２００ｄの出力する信号の組み合わせに応じてシャフト３の角度範囲を検出するシフトポジション検出手段８０１とを有する。 （もっと読む）

【課題】回転センサの検出精度を向上し、また装置全体を小型軽量化する。
【解決手段】クラッチ３２を周囲に配置した回転軸３２Ａの端部側に回転センサ３５を設ける。また、回転センサ３５は、磁気抵抗素子３５Ｃｃ（異方性磁気抵抗素子）を電磁クラッチが生じる磁束に対して交差する永久磁石３５Ｂｄの磁束を検出する位置に固定してある。このため、異方性磁気抵抗素子は、クラッチ３２が励磁されたときの磁界の影響を受けない。この結果、回転センサ３５の検出精度を向上できる。さらに、モータベース３６の外部に回転軸３２Ａの一端部を延出して回転センサ３５を設けることで、金属製のモータベース３６を小型軽量化できる。 （もっと読む）

【課題】磁性検出体の偏心量を小さく構成し、回転時の不具合の低減を図ることができる回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】磁性検出体１１は、円盤状をなし、径方向内側部分には外周面１１ｃからの磁性部分１１ｄの長さｄを回転方向に徐々に変化させる溝部１１ｂを備えてなる。そして、回転方向においてのその磁性部分１１ｄの長さｄの変化に基づく交番磁界の変化が磁気センサ１２にて検出され、該検出により磁性検出体１１の絶対角θ１の検出が行われる。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増大を抑制し、必要な精度を有する回転角検出装置を提供すること。
【解決手段】ハウジングに回転軸の回転に連動して軸方向に変位しつつ回転自在に支承される磁石ホルダと、磁石ホルダ端面に磁石ホルダ回転軸に対し径方向にオフセットして配置された磁石と、磁石ホルダ回転軸の軸心延長線上に磁石と対向して設置される磁気検出器と、磁気検出器の出力信号を処理して前記回転体の回転角を検出する回転角度演算部とを備える構成とすることで、磁石および磁気検出器がそれぞれひとつであっても、回転体の３６０度以下或いは３６０度超の回転角を検出することのできる簡単な構成で安価な回転角検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 寿命の延長が可能なロータリセンサを提供する。
【解決手段】 ロータリセンサ１は、車体Ｂに対して固定されるハウジング２と、導電材料からなりスタンドＳに対して固定されるロータ４と、ハウジング２に保持され車体に対するスタンドＳの回転に伴ってロータ４との間の距離を変化させるコイル３１と、コイル３１のインピーダンスに基いて車体Ｂに対するスタンドＳの向きを検出する検出回路とを備える。ロータリスイッチを用いる場合に比べ、可動接点と固定接点とのように互いに同じ空間に配置するべき部品がハウジング２とロータ４との間に存在しないので、上記のような空間を密封するためのオイルシールが不要となるから、接点の磨耗やオイルシールの磨耗が発生しないことで寿命の延長が可能となる。また、オイルシールが不要となることで部品点数が減少し、製造コストの低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価に回転体の基準回転角度を補正することを可能とする。
【解決手段】回転体の回転に応じて、カムの傾斜部においてオンとオフとが切り替わるスイッチを用いて、前記回転体の角度を補正するための基準回転角度誤差補正方法において、前記回転体を、前記スイッチのオンとオフとが切り替わるまで、一方の方向に回転させる第１ステップと、前記回転体を、前記スイッチのオンとオフとが逆に切り替わるまで、他方の方向に回転させる第２ステップと、を備え、前記第２ステップが終了した時点での前記回転体の回転角度を基準回転角度とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性を高めることができ、かつより静寂にすることができる技術を提供する。
【解決手段】回転軸１１０に設けられる第１の磁石１０と、第１の磁石１０と所定のクリアランスを介して配置され、第１の磁石１０との間に生じる磁力により第１の磁石１０の回転に連動して回転する第２の磁石２０と、第２の磁石２０の回転角度を検出し、その検出結果に基づいて回転軸１１０の回転角度を検出する回転角度検出手段と、を備える。回転角度検出手段は、例えば、第２の磁石２０を支持し回転可能に支持される磁石支持部材４０の回転中心軸方向の一方の端部に支持された第３の磁石３０と、第３の磁石３０から発生される磁界に基づいて第３の磁石３０の回転角度を検知する磁気検出素子５０とを有し、磁気検出素子５０の検知結果に基づいて第２の磁石２０の回転角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】主に自動車のステアリングの回転角度や回転トルクの検出等に用いられる回転角度・トルク検出装置に関し、誤差がなく、高精度で確実な回転トルクの検出が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】回転トルク検出部に加え、回転歯車２３や第一の検出歯車２４、第二の検出歯車２５、及びこれらの回転角度を検出する回転角度検出手段２６や２７から形成された回転角度検出部を設けると共に、回転トルク検出手段２２と回転角度検出手段２６や２７に接続された制御手段２０が、回転角度に応じて回転トルクの誤差を補正することによって、誤差がなく、高精度で確実な回転トルクの検出が行えると共に、装置全体の小型化も容易に図ることが可能な回転角度・トルク検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント基板を使用する変位センサ装置において、正確かつ迅速に、基板を支持部に固定することができる構造を提供する。
【解決手段】検出対象物（主軸部１０２ａ）に近接して設けられる支持部２１と、この支持部２１に沿って支持されたフレキシブルプリント基板２２と、このフレキシブルプリント基板２２に設けられ、検出対象物と対向する渦巻状のコイルを含むセンサ回路要素とを備えた変位センサ装置２０において、フレキシブルプリント基板２２を止め具２３によって支持部２１に固定する構造とし、フレキシブルプリント基板２２は、センサ回路要素を含む基板本体２２ａ、及び、当該基板本体２２ａから延伸して形成され、止め具２３による固定の用に供する止め代部２２ｂを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】偏心量の測定精度の向上を図ることができる回転体の偏心量測定装置を得る。
【解決手段】回転軸７と対向配置される渦電流変位センサ１９からの電気信号Ｖｉｎに、回転軸の材質的不均一や傷により電気信号Ｖｉｎの波形が受ける影響を補償するランナウト補償信号設定回路１５からの補償信号Ｖｃを加算器１６にて加えて、補償電気信号を出力する。第１のサンプルホールド回路５ａは補償電気信号の波形の振幅値Ｖｄを保持し、第２のサンプルホールド回路９ａはサンプルホールド信号発生器８からサンプルホールド信号を受けたときにサンプルホールド回路５ａに保持されている電気信号の波形の振幅値を保持する。低位選択回路１４は、第１及び第２のサンプルホールド回路５ａ，９ａの保持する振幅値のうち小さい方を選んで出力し、この小さい方の値に基づき回転軸の偏心量を求める。ランナウト補償信号設定回路１５を設けたので測定精度の向上が可能である。 （もっと読む）

【課題】 角度位置センサを提供されるハンドルコントロールを提供することである。
【解決手段】 ハンドルコントロール（１）は、中央貫通穴を提供されて、ハンドルバー（２）を中心に嵌合されるように適合され、このハンドルバー（２）にしっかりと固定される支持本体（３）と；管状の形状を有し、前記支持本体（３）によって回転式に運ばれて、前記ハンドルバー（２）に対して回転するために前記ハンドルバー（２）を中心に嵌合されるために中央にせん孔されているツイストグリップ（１１）と；前記ツイストグリップ（１１）の角度位置を読み込むように適合される角度位置センサ（１６）とを具備する。この角度位置センサ（１６）は、少なくとも１つのローター（１７）と、少なくとも１つのリーダ（１８）とを備える。 （もっと読む）