【課題】安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサの側長域を超える大きな変位を測定できるセンサユニットおよびこれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】検出された物理量からターゲット１１０の位置を計測するセンサユニット１００であって、可動方向ａおよびこれに垂直な方向ｂに対して傾きを有する傾斜面１１６が形成されたターゲット１１０と、傾斜面１１６との距離に対応する物理量を検出するギャップセンサ１２０とを備える。これにより、ターゲット１１０の可動方向への変位に対して傾斜面１１６のギャップセンサ１２０に対する変位は小さくなるため、安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサ１２０の側長域を超える大きな変位を測定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置検出機構の検出可能な範囲を拡大するということを目的とするものである。
【解決手段】本発明の位置検出機構は、Ｙ軸に垂直な方向の断面における磁化方向が断面位置に寄らず一定であり、Ｘ軸方向の対向する端面における磁力線の方向が互いに反対方向である磁石１５と、磁石１５とＺ軸方向で間隔を空けて配置され、ＸＹ平面に平行な方向の磁界を感知することができるＧＭＲ素子１３とを備え、磁石１５は、ＧＭＲ素子１３に対して相対的にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能であり、磁石１５のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の外形はＹ軸方向がもっとも長く、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５がＹ軸方向にΔＹ移動した際の磁石１５からの磁束密度の変化ΔＢが±５％以内となる位置に位置し、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５をＺ軸方向に投影した領域の外部に位置している。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】検出対象である操作位置の数よりも少ない個数の角度検出センサで操作位置を判別し、また、ユーザに良好な操作感を付与することができる操作位置検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、主に、第１及び第２の磁石１０ａ、１０ｂと、第１〜第６のＭＲセンサ１１〜１６と、制御部１７と、を備える。制御部１７は、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４からのＨｉ及びＬｏｗの出力と第５及び第６のＭＲセンサ１５、１６の出力Ｌｏｗとの組み合わせに基づいて第１のルート５１におけるポジションを判別し、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４からのＨｉ及びＬｏｗの出力と第５及び第６のＭＲセンサ１５、１６の出力Ｈｉとの組み合わせに基づいて第３のルート５３のポジションを判別する。 （もっと読む）

車両の位置を決定するシステムは、磁石の磁界強度を測定する複数のセンサと、複数のセンサに対する磁石の位置を決定する演算手段とからなり、複数のセンサは２次元アレイで配置されている。
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【課題】自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、簡易な構成で、複数回転する回転体の回転角度が検出可能で安価な回転角度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検出体２２の内周に雌ネジ部２２Ｃを設けると共に基体３０に雄ネジ部３２Ａを設けて、この雄ネジ部３２Ａに雌ネジ部２２Ｃを螺合させ、回転体２１の回転に連動して検出体２２を回転させると共に回転軸方向の上下方向へ移動させ、磁石２３Ａと磁気検出素子２３Ｂからなる検出手段からの検出体２２の回転及び回転軸方向への移動に伴う検出信号Ｓ１、Ｓ２によって、制御手段２９が回転体２１の回転角度を検出するように回転角度検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】検出対象である操作位置の数よりも少ない個数の磁気センサで操作位置を判別し、また、磁気センサの１つが故障しても各操作位置の検出に支障がなく、さらに、ユーザに良好な操作感を付与することができる操作位置検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、シフトレバー２２に配置された磁石１０と、磁気センサとしての第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４と、判別部としての制御部１５と、を備えて概略構成され、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４の出力の判定結果とポジションを対応させたシフトポジション情報１６０に基づいて各ポジションを判別する。 （もっと読む）

【課題】指示体の位置の誤検出を防止することができる位置検出装置および方法を提供すること。
【解決手段】位置検出装置１００は、第１の方向に配置された複数の導体からなる送信導体群１２と、第１の方向と交差する第２の方向に配置された複数の導体からなる受信導体群１４と、指示体による位置指示に基づいて送信導体群１２および受信導体群１４の少なくとも一方に生起した信号を検出する信号検出回路３４等と、送信導体選択回路２３と、受信導体選択回路３１とを備えている。送信導体群１２および受信導体群１４のそれぞれは、互いが隣接する少なくとも第１の導体群と第２の導体群とに区分けされており、第１の導体群を構成する各導体を選択する方向と第２の導体群を構成する各導体を選択する方向とが互いに異なるように導体の選択が行われる。 （もっと読む）

【課題】出力信号の周波数と振幅とが検出する媒体の特徴に応じて変化する場合であっても、精度の高い出力結果を得ること。
【解決手段】自励発振回路から出力される検知信号を所定のサンプリング間隔でサンプリングし、所定期間においてサンプリングされたサンプリングデータを取得し、取得されたサンプリングデータのうち、前記所定期間の両端近傍においてサンプリングされたサンプリングデータの重み付けを他のサンプリングデータよりも小さくし、重み付けされた各サンプリングデータを用いて所定期間における検知信号の実効値を算出するようにした材厚／材質センサ。 （もっと読む）

【課題】 電源を供給する制御装置が故障した場合であっても、変速装置のニュートラルを表示することができる変速位置検出装置を提供する。
【解決手段】 車両の変速装置の変速位置を操作するシャフトに連動して回動する回転部材１と、回転部材１とともに回動する磁石２と、磁石２が回転することによって磁石２の磁界の強さを検出する磁気検出部３と、この磁気検出部３からの検出信号を受ける制御装置８と、を備えた変速位置検出装置Ａにおいて、磁気検出部３は、前記変速装置の変速位置を前記シャフトの位置から検出する第１の磁気検出部３１Ａと前記変速装置のニュートラルを前記シャフトの位置から検出する第２の磁気検出部３１Ｂとを備え、第２の磁気検出部３１Ｂは、制御装置８以外の他の装置から駆動電源が供給されるものである。 （もっと読む）

【課題】 あらゆる保線現場で、クレーンのブーム先端が高圧架空線から常に一定の距離に接近したことを検知できるように対応し得る接近警報装置を提供する。
【解決手段】 高圧架空線４０が発する電界を検知し、高圧架空線４０からの距離に比例する電界強度をＡ／Ｄ変換した値を無線送信する充電検知器１と、充電検知器１から無線送信された電界強度のＡ／Ｄ変換値を受信する警報器２１とからなり、警報器２１は、充電検知器１を高圧架空線４０から所望の距離に配置した時に受信したＡ／Ｄ変換値に基づいて警報開始を設定可能とする。 （もっと読む）

【課題】従来の回転角度検出の校正装置にあっては第２高調波の大きさが分かるものの、位相を考慮できていないという問題点があり、第２高調波の影響を完全に除去できないことがあった。また、ゼロ点パラメータの補正と第２高調波の補正を別々の手段で行なっているため、構造が複雑となってしまうという課題があった。
【解決手段】
互いに位相のずれた正弦波状の２相の出力信号を用いて回転角度を検出する、軸倍角がＮ（Ｎは正の整数）の回転角度検出装置であって、２相の出力信号をそれぞれEsin，Ecosとしたとき、Esin、Ecosの直流成分、およびEsin、EcosのＮ次成分を基本波成分としたときの第２高調波成分の振幅と位相に依存して発生する角度誤差Ｎ次成分（機械角360度周期の角度誤差を1次とした）を打ち消す手段として、回転角度に対して一定となる補正値を、２相の出力信号Esin、Ecosの少なくとも一方に加算する補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】故障検出を、故障検出専用の回路などを別に設けることなく行うことができる技術を提供する。
【解決手段】第２の歯車の回転角度を検出する第１の回転角度センサと、第３の歯車の回転角度を検出する第２の回転角度センサと、第１の回転角度センサが検出した第２の歯車の回転角度と第２の回転角度センサが検出した第３の歯車の回転角度との角度差に基づいて第２の回転軸の回転角度を演算する演算手段とを備える回転角度を検出する検出装置の故障を診断する故障診断装置であって、第１の回転角度センサが検出した第２の歯車の回転角度と第２の回転角度センサが検出した第３の歯車の回転角度とに基づいて、第２の歯車の回転角度と第３の歯車の回転角度との角度差が零となる交差角θＫを算出し（Ｓ９０６）、交差角θＫに基づいて故障を診断する（Ｓ９０７〜Ｓ９１０）。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】被験者に関連する生理学的情報、パフォーマンス情報および状況情報を示すシグナルを送信するための多モード通信手段を提供する。
【解決手段】例示的な実施形態において、多モード通信手段は、単一無線モードでは効果がないであろう広範囲の設定（settings）において獲得されるべき外部モニタリング機器への接続を可能にする多重無線サブシステム（またはモード）を含む。更に、本発明の多モード通信手段をリアルタイムデータ処理と組み合わせることにより、ユーザーに関係があると決定されたデータが識別された場合のみ通信の機能性に関与することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、回転角センサに関する。この回転角センサは複数のコンデンサプレートを有する少なくとも１つのコンデンサ（１４、１６）と、ディスク（６）として形成されている誘電体とを有しており、このディスク（６）は、複数のコンデンサプレートの間に配置されており、かつ、回転角度に応じて異なる大きさの面積割合をコンデンサプレートの間で占め、この回転角センサは、少なくとも１つのコンデンサ（１４、１６）のキャパシタンスの測定値に依存して回転角を特定するように構成されている。
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【課題】識別数を増やした場合にも大型化を抑え、かつ誤検出を確実に防止すること。
【解決手段】顕微鏡本体２０に配設した検出部３１と、レボルバ１０に配設した複数の被検出部４０ａ，４０ｂとを備え、検出部３１が検出した被検出部４０ａ，４０ｂの検出結果に基づいて顕微鏡本体２０に対するレボルバ１０の回転位置を判別する装置であって、検出部３１は、被検出部４０ａ，４０ｂに対する相対的な移動軌跡が共通の円弧となる位置に、相互に検出条件が異なる位置規定用検出部３１Ａ及び判別用検出部３１Ｂを配設して構成したものであり、複数の被検出部４０ａ，４０ｂは、それぞれ位置規定用検出部３１Ａが検出対象とする位置規定用被検出部と、判別用検出部３１Ｂが検出対象とする判別用被検出部とを有し、位置規定用検出部３１Ａが位置規定用被検出部を検出した際に判別用検出部３１Ｂによって検出可能となる位置に判別用被検出部を配設した。 （もっと読む）

ターゲットまでの距離を測定する複数センサ(３０)のセットを具備するシステムにおいて、ターゲットの表面を露光する方法。方法は、ターゲットを可動テーブル(１３４)にクランプで留め、複数センサのうちの１つ以上がターゲットの上に位置を定められる複数の位置に、ターゲットを動かし、ターゲットの上に位置を定められているセンサのうちの１つ以上から、信号を受信し、複数センサから受信した信号に基づいて、１つ以上の傾斜修正値(Ｒｘ，Ｒｙ)を計算し、１つ以上の傾斜修正値に基づいて、可動テーブルの傾斜を調整し、ターゲットを露光することを含む。 （もっと読む）

１本以上の露光ビームをターゲット上に集束させるための投影レンズシステム(１３２)と、ターゲット（９）を支える可動テーブル(１３４)と、投影レンズシステムの最後の集束要素(１０４)とターゲット（９）の表面との間の距離に関連する測定を行なう静電容量感知システム(３００)と、静電容量感知システムからの信号に少なくとも部分的に基づいて、ターゲット（９）の位置を調整するために、可動テーブル（１３４）の動きを制御する制御ユニット（４００）と、を具備する、リソグラフィマシンのための統合されたセンサシステム。静電容量感知システム(３００)は、複数の静電容量センサ(３０)を具備しており、各静電容量センサ(３０)は、薄膜構造を備えている。静電容量センサと投影レンズシステムの最後の集束要素は、共通のベース（１１２）に直接にマウントされ、静電容量センサは、投影レンズシステムの最後の集束要素の縁部のすぐ近くに配置される。 （もっと読む）

２つ以上の静電容量センサ(３０ａ、３０ｂ)と、静電容量センサにエネルギを与える１つ以上のＡＣ電力源（３０６ａ、３０６ｂ）と、静電容量センサからの信号を処理する信号処理回路とを具備する、静電容量感知システム。センサは、ペアで配置されている。１つ以上のＡＣ電力源は、センサのペアのうちの第１のセンサに、センサのペアのうちの第２のセンサの電流又は電圧に対して位相が１８０度ずれている交流電流（３０７）又は電圧で、エネルギを与えるように構成されている。センサのペアは、１つの測定距離値に対する測定ユニットを備えている。信号処理回路は、ペアのうちの各センサから出力信号を受信し、ペアのセンサとターゲット（９）との間の平均の距離に関係する測定値を生成する。 （もっと読む）