【課題】ＩＣパッケージの回路面に電荷が帯電するのを防止可能な物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ＩＣパッケージ２０は、弁軸１２の回転角の変化に応じた信号を出力する磁気検出素子２１、当該磁気検出素子２１を覆う封止体２２、および、磁気検出素子２１に電気的に接続するとともに封止体２２から突出するよう設けられる端子３１、３２、３３を有している。カバー部材４０は、磁気検出素子２１が前記信号を出力可能なようＩＣパッケージ２０を収容している。ターミナル部材７０は、導電性を有する材料により形成されている。ターミナル部材７０は、ＩＣパッケージ２０のグランド用の端子３２に電気的に接続するとともに封止体２２に当接するようカバー部材４０に設けられている。ターミナル部材７０は、磁気検出素子２１に電力を供給する電源の負極側に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】素子の変形により電気的変化を生じるセンサであって、時間が経過しても感度が低下しないセンサを提供する。
【解決手段】電歪素子の変形により静電容量変化を生じる電歪センサ（４０）において、第１の電歪材料層（１）およびその両面に各々配置された一対の電極（３ａ、３ｂ）より構成される第１の電歪素子（１０）と、第２の電歪材料層（１１）およびその両面に各々配置された一対の電極（１３ａ、１３ｂ）より構成される第２の電歪素子（２０）と、これら電歪素子間に挟持された基材（２５）とを含む受感部（３０）を設ける。受感部（３０）は、外力の作用を受けることにより変形である。第１および第２の電歪材料層（１、１１）の静電容量をそれぞれ測定可能なように、各電極に引出し線（５ａ、５ｂ、１５ａ、１５ｂ）が接続される。第１および第２の電歪材料層（１、１１）は、１０μｍ以下の厚みおよび２０以上の比誘電率を各々有するものとする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、固定部に対して平面内を相対的に移動する移動ステージを有する平面ステージを提供する。本平面ステージは、移動ステージの位置を計測する位置センサであって、所定の間隔で相互に対向している第１の固定対向電極対と第２の固定対向電極対とを有する固定電極部と、第１の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第１の可動電極と、第２の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第２の可動電極５０とを有する可動電極部とを有する第１のセンサを備える。第１の固定対向電極対は第１の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第１の静電容量を有し、第２の固定対向電極対は第２の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第２の静電容量を有する。 （もっと読む）

【解決手段】 回転角およびトルクのセンサは、シャフト部分（１、２）と共に回転しないように接続されている２つの歯車（４、５）を備え、これら２つの歯車は、歯車（６、７）と噛合する。一方の歯車（７）には、単極磁石または多極磁石（１２、１３）が取着されている。他方の歯車（６）には、極の数に合った複数の磁束誘導部（１７、１８）が取着されており、Ｌ字形状を持つ。磁束誘導部（１７、１８）の一方の足部は、多極磁石（１２、１３）の方向を向き、他方の足部は、歯車（６）に平行に延伸し、一方の足部は歯車（６）の一方の側にあり、他方の足部は歯車（６）の他方の側にあり、これらの足部の間には、歯車（６）内に配されている第２のセンサ（１６）が配されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、移動ステージの位置を計測する位置センサ１００を提供する。位置センサ１００は、第１の固定対向電極対１１１，１２１の間に部分的に挿入されている第１の可動電極１３１と、第２の固定対向電極対１１２，１２２の間に部分的に挿入されている第２の可動電極１３２と、第３の固定対向電極対１１３，１２３に部分的に挿入されている第３の可動電極１３３とを備える。第１の対向電極は、第２の対向電極に対して第１の方向にシフトした位置に配置され、第３の対向電極は、第１の対向電極に対して第２の方向にシフトした位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、移動体のアブソリュート変位量を検出することを課題とする。
【解決手段】変位量を検出する実施例では、主軸の多回転アブソリュート回転角を主軸及び副軸に結合された角度センサによって検出された回転角度から算出する。回転駆動源１１に結合された主軸１２の回転は予め定める変速比で副軸１３，１４に伝達される。主軸１２及び副軸１３，１４の回転角度Ｓｓ，Ｓｐ，Ｓｑは、角度センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃによって検出され、それらはＡＤ変換角度計算部１６で角度検出値θｓ，θｐ，θｑとしてそれぞれ同期化／整数化処理部１７に送られ、整数化された周期信号ｐ，ｑが算出される。周期信号ｐ，ｑは、周期演算部１８にそれぞれ送られ、主軸の周期信号ｒが算出される。主軸の多回転アブソリュート回転角θｃは、回転角合成部１９で主軸の周期信号ｒ及び主軸の角度検出値θｓに基づいて、算出される。本発明は、直線移動する移動体の変位量を検出する装置にも適用することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ面内の全域に亘って検出感度の差を低減でき、しかもマルチポイントの検出を精度よく実現できる静電容量式検出装置を実現すること。
【解決手段】本発明の静電容量式検出装置（１）は、隣接電極間で静電容量が形成されるように、センサ基板（１１）に配設された複数の検出電極（１２）を具備し、センサ基板（１１）の相対的に検出感度が低い角部検出領域（Ａ２）に形成される静電容量を、相対的に検出感度が高い中央検出領域（Ａ１）に形成される静電容量に対して相対的に大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の位置及び特性を特定可能な、導電性膜センサを提供する。
【解決手段】周波数が異なる第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、導電性膜に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、測定対象導電性膜２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第３の関係を算出し、測定対象導電性膜２に第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第４の関係を算出する算出部３０１と、第３及び第４の関係に共通する、導電性膜の位置及び特性の組み合わせを特定する特定部３０３と、を備える導電性膜センサ。 （もっと読む）

【課題】組立・調整作業が容易で良好な出力特性が得られる小型の位置検出装置およびこれを用いたレンズユニットを提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子３を保持するホルダ５は、一端に磁気抵抗素子３の感受面と略平行且つ移動方向と直交する方向に突出した凸部を有し、ベース７は、前記凸部が挿入される凹部と、光軸と平行な方向に配設され、互いに平行な２つの平面部２５を有する２つの突出部２１と、ベース７を鏡筒に取り付ける位置決め手段とを備え、シムは、突出部２１に設けられた平面部２５と前記鏡筒との間に挿入され、ベース７を前記位置決め手段によって前記鏡筒に取り付ける際に、ベース７が突出部２１を基点として湾曲することにより、磁気記録媒体と磁気抵抗素子３の間隔を調整し、前記シムは、その厚みを変更することで前記ベース７の前記鏡筒に対する距離が調整され、磁気抵抗素子３の前記磁気記録媒体に対する倒れが補正される。 （もっと読む）

【課題】位相の異なる１対の入力信号から出力を得る演算においては、ａｒｃｔａｎ等の複雑な演算が必要となり、演算回路の負荷が大きくなってしまう。また、演算回路の負荷を軽減するためにルックアップテーブルを参照して出力を得る場合、必要なメモリが大きくなってしまう。
【解決手段】位相の異なる１対の入力信号ＩＮ１、入力信号ＩＮ２に対して、関数Ｆを用いて、入力値ＸをＸ＝Ｆ（ＩＮ１、ＩＮ２）と定義する。入力値Ｘと出力値Ｙの関係を慨ね線形となるように関数Ｆを定義することにより、複雑な演算を使用することなく入力信号から予想される出力値を得ることが可能となる。ルックアップテーブルを参照する場合は、出力値と予想される出力値との差分のみをテーブル化しておくことにより、メモリを削減可能となる。 （もっと読む）

【課題】磁束発生体が高速に回転する場合であっても、磁束発生体または磁気センサの近傍に非磁性の導体（導電体）を配置した構成を用いて精度良く磁界角または回転角を計測すること。
【解決手段】磁界方向に感応する磁気センサ７０と、前記磁気センサからの出力が入力される検出部３０２と、を備えた回転角計測装置であって、前記回転角計測装置は、磁束発生体２０２を備えた回転体１２１とともに用いられるものであり、前記磁気センサの出力は、前記磁界方向に対応した原角度信号セット１５５であり、前記検出部は、前記回転体の回転速度を引数とする補正関数が出力する補正値を用いて前記磁気センサの近傍に配置された非磁性の導体の影響を補正した補正角度を出力する。 （もっと読む）

【課題】探針と試料とが衝突するのを防ぐことができ、比較的高速での走査が可能で、分解能が高く、正確な表面形状を得ることができる間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】探針１２が、試料１の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、試料１の表面との間に隙間をあけて配置されている。電圧印加手段１４が、試料１と探針１２との間に直流バイアス電圧を印加可能である。制御手段１５が、走査手段１１により探針１２を走査しつつ、振動する探針１２が検出した電圧印加手段１４による電界信号に基づいて、試料１の表面と探針１２との距離を求めるとともに、探針１２が検出する電界信号の平均値が一定になるよう、走査手段１１により探針１２を垂直方向に移動させる。制御手段１５は、求められた試料１の表面と探針１２との距離と、探針１２の軌跡とから試料１の表面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】高精度に被検出部の回転角度を検出可能な回転角検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】回転角検出装置１０のブリッジ回路部１１、１２は、被検出部の回転角度に応じてインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成される複数のハーフブリッジ１４〜１７を有する。制御部５１は、複数のハーフブリッジから出力される出力信号を取得し、位相ずれαを補正するための位相補正値φを出力信号の組合せ毎に算出し、メモリ部５２に記憶する。制御部５１は、出力信号の一部に異常が生じた場合でも、異常が生じていない出力信号の組合せに対応した位相補正値φに基づき、補正前回転角度θを補正する。これにより、位相補正値φに基づいて補正前回転角度θを補正するので、センサ素子の実装ずれ等があっても、高精度に被検出部の回転角度δを算出することができる。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転位置の検出精度を向上して、トルクリップルの低減、出力向上に寄与できるモータを提供する。
【解決手段】モータＭの回転軸２２にはホルダ３１を用いてセンサマグネット３２が保持されるのに対し、そのセンサマグネット３２と軸方向に対向配置された磁気センサ４４が回路基板４３上に設けられている。そして、センサマグネット３２の各磁極部の外周面には磁気誘導部５１，５２が当接して設けられ、各磁気誘導部５１，５２は、磁気センサ４４と径方向に対向する位置まで延び、センサマグネット３２により生じる磁束を磁気センサ４４上に誘導する。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】 部品点数が少ない回転角検出装置を提供する。
【解決手段】 ＥＣＵ７１は、ホールＩＣ７５１により検出されたパルス信号ＰＳ１と、パルス信号ＰＳ１のエッジ間のオン時間Ｔ１、オフ時間Ｔ２およびオン時間Ｔ３から生成した仮想パルス信号ＰＳ２とに基づいて各パルス信号ＰＳ１およびＰＳ２のエッジＥ１〜Ｅ７をカウントすることにより、ロータ２０の回転角を３．７５度ごとに検出する。この構成では、１つのホールＩＣ７５１に対し、ロータ２０の回転に同期した２つのパルス信号ＰＳ１および仮想パルス信号ＰＳ２を用いて回転角を検出することができる。そのため、従来２つあったホールＩＣの数を１つに減らしたとき従来と同等以上の分解能を得ることができる。つまり、分解能を維持しつつホールＩＣの数を減らすことが可能である。 （もっと読む）

【課題】コストの高騰を抑制しつつも転舵輪の舵角を検出することのできるパワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール側ピニオン軸２に設けられた出力側レゾルバ７の軸倍角をｋ₁とし、モータ側ピニオン軸に設けられたモータ側レゾルバ１３の軸倍角をｋ₂とし、モータ側ピニオン軸を一回転させたときにラック軸３を介して上記ステアリングホイール側ピニオン軸２が回転する回転角度をθ_a°とした場合に、（θ_a／ｋ₂）＞（３６０／ｋ₁）であって、且つ（θ_a／ｋ₂）／（３６０／ｋ₁）が整数でない値となるように設定する。これにより、出力側レゾルバ出力信号Ｓ２の値とモータ側レゾルバ出力信号Ｓ３の値との組み合わせが、異なる舵角で同一の値をとることがなくなり、両レゾルバ出力信号Ｓ２，Ｓ３から舵角を導出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】回転角度検出センサを筐体の内部に備える電動機において、回転角度検出センサからの出力を取り出すためのケーブルを筐体の外部に引き出す作業を簡易化することと、回転角度検出センサの固定及び回転角度検出センサを配置した空間の密封に用いる部材に求められる精度を抑えることとの少なくとも１つを実現すること。
【解決手段】電動機１は、筐体６の内部に、シャフト８の回転角度を検出するレゾルバ５０を備えている。レゾルバ５０は、シャフト８の一方の端部側に取り付けられている。レゾルバ５０は、レゾルバ押さえ４０によって第２フランジ６３に押し付けられて、固定される。レゾルバ押さえ４０は、内部に冷却媒体導入通路４１を有しており、第２冷却媒体分配通路６５５からの冷却媒体をシャフト８の軸方向通路８１１へ供給する。 （もっと読む）

【課題】レゾルバを使用してモータの回転角度を検出する回転角度検出装置において、電源電圧が多少低くても、モータの回転角度の検出精度を確保する。
【解決手段】回転角度検出装置は、励磁信号を発生させる励磁信号発生器４００と、発生された励磁信号を増幅するオペアンプ４１０と、増幅された励磁信号の直流成分を除去するコンデンサ４２０と、直流成分が除去された励磁信号を入力し、モータの回転角度に応じたレゾルバ信号を出力するレゾルバ２８０と、を有する。また、レゾルバ２８０とコンデンサ４２０とによりＬＣ回路を構成し、レゾルバ２８０に入力される励磁信号の周波数が共振周波数となるように、コンデンサ４２０の静電容量を設定する。そして、ＬＣ回路における直列共振で励磁信号の振幅を大きくし、レゾルバ２８０から出力されるレゾルバ信号のＳＮ比の向上を通して、モータの回転角度の検出精度を確保する。 （もっと読む）

【課題】位置検出の精度の高い位置検出装置、駆動機構、及び内視鏡装置を提供すること。
【解決手段】駆動部材１５に対して直線移動する被駆動部材１７の位置を検出する位置検出装置３０であって、駆動部材１５に対して位置決めして設けられた固定子３１と、被駆動部材１７に設けられた移動子３４と、被駆動部材１７と移動子３４とを連結し、被駆動部材１７の直線移動方向における被駆動部材１７に対する移動子３４の進退移動を規制する弾性体２０と、を備え、弾性体２０は、移動子３４が固定されているとともに移動子３４を固定子３１へ向けて付勢する軸部２３を有し、軸部２３は、移動子３４を固定子３１に接触させ、且つ、駆動部材１５に対して被駆動部材１７が直線移動されたときに、固定子３１に対する移動子３４の位置を、固定子３１の外面形状に沿って追従させる。 （もっと読む）