【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】PWM信号で駆動される電磁アクチュエータの変位位置を、簡単な構造及び簡単な検出手段で検出できる装置を提供する。
【解決手段】電磁アクチュエータ１は、可動コア１１ａ、駆動コイル１２、検出コイル１３を有する。駆動回路２２は、PWM信号に従い、駆動コイル１２に駆動電流を供給する。検出コイル１３は、可動コア１１ａの変位位置に応じて駆動コイル１２との相互結合係数が変化する位置に配置される。サンプリング信号発生回路３１は、PWM信号発生回路２１が出力するPWM信号に同期してサンプリング信号のタイミングを生成し、同期サンプリング回路３２は、このサンプリング信号に同期して検出コイル１３の出力電圧をサンプリングし、変位位置検出データを出力する。補正部３３は、PWM信号のデューティ比に応じてこれを補正する。 （もっと読む）

【課題】溶接接合幅測定方法において、重ね継手溶接部での接合幅を非破壊で高精度かつ容易に測定できるようにすることである。
【解決手段】上材及び下材の重ね合わせ部において、上材側から溶接接合した重ね継手試験片２６の片面の溶接部２８を挟む両側位置に一対の電流端子１８、２０を接触させるとともに、各電流端子１８，２０の接触部を結ぶ直線上の、溶接部２８を挟む両側２点に電位差計１６に接続された電位差端子２２，２４を接触させる。この状態で、一対の電流端子１８，２０間で電流を流し、両側２点間の電位差を取得する。コンピュータが、取得した電位差から溶接接合幅Ｗを取得し、溶接接合幅Ｗを出力する。 （もっと読む）

【課題】 ひずみゲージまたは物理量／電気量変換器（以下、「ひずみゲージ等」という）が取り付けられた被測定対象の所定のひずみ量の測定値及びその性質の変化を、該ひずみゲージ等に添着された蛍光剤の発光に変換して視認することができるひずみ量可視化システムを提供すること。
【解決手段】 測定装置２の判断回路２２は、ひずみ測定器２１の出力、即ち、ひずみゲージ１が検知し、ひずみ測定器２１で測定したひずみ量に対応した電気信号により、被測定箇所の物理状態を識別・分類し、該識別・分類結果を示す信号を出力する。測定装置２の光源制御信号発生回路２３は、前述の判断回路２２が識別・分類した測定箇所の物理状態を示す信号に基づいて、光源電源回路３を駆動するための光源制御信号（光源Ａ用及び光源Ｂ用の駆動信号）を出力する。光源電源回路３は、測定装置２からの光源制御信号に基づいて、光源４を制御するための光源用電力を出力する。 （もっと読む）

【課題】価格の安いリニアエンコーダを用いて安価な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に載置され該プラテン上をＸ−Ｙ方向に駆動可能に構成されたスライダを有する平面モータにおいて、前記スライダの位置検出手段として前記スライダに固定したヘッドと前記スライダが駆動されるＸ−Ｙ方向に配置されたスケールからなるリニアエンコーダを用いた。 （もっと読む）

【課題】吸湿すると膨張するだけでなく変形し得る試料に対しても正確に膨張率を測定できる膨潤試験装置及び膨潤試験方法を提供する。
【解決手段】膨潤試験装置１０は、試料Ｓの一端部が基準位置に維持された状態で吸湿したときに試料Ｓの形状を維持する形状維持手段１６と、吸湿による試料他端部の初期位置からの変位又はそれに伴う被検知部３９の変位を検出する渦電流式変位センサ１４と、渦電流式変位センサ１４による検出結果に応じて試料Ｓの膨張量又は膨張率を導出する導出手段２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】磁界発生部品Ｙからの外乱による影響を少なくすることができる位置検出システム、及び搭載製品の設計の自由度を向上させ、また、搭載製品の小型化を図ることができる多方向入力装置を提供すること。
【解決手段】位置検出システム１は、基板１１上に実装された第１〜第３の磁気検出素子１２Ａ〜１２Ｃと、基板１１に配設され、基板１１に対して移動可能な磁石１３と、第１の磁気検出素子１２Ａ及び第２の磁気検出素子１２Ｂの出力差で第１方向の出力を求め、第２の磁気検出素子１２Ｂ及び第３の磁気検出素子１２Ｃの出力差で第２方向の出力を求める制御手段と、を具備し、第１の磁気検出素子１２Ａ及び第３の磁気検出素子１２Ｃは、磁石１３を中心に対称な位置に配置され、第２の磁気検出素子１２Ｂは、第１の磁気検出素子１２Ａ、第２の磁気検出素子１２Ｂ及び第３の磁気検出素子１２Ｃを結ぶ仮想円弧における中点位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易であり、生産コストを低減することができる変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 検出対象物２１が角変位することによって、検出対象物２１と第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂとの相対距離が変化すると、第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂのインダクタンスが変化し、第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂのインダクタンスが変化して、発振回路２２の発振周波数が変化する。各発振回路２２の発振周波数に基づいて、信号処理部２３が参照用の電気信号を検出対象物２１の変位量に相当する電気信号に変換して出力するので、変位する部分にコイルを巻回する必要がなくなり、製造に高度な加工技術が必要としないので、製造が容易となり、また生産コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 環境因子の影響を受けずに検出対象物の変位量を検出することができる変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 発振回路２は、検出対象物４との相対距離の変化に応じてインダクタンスが変化するコイル５を備え、前記コイル５のインダクタンスに依存する周波数の信号を出力する。信号処理部３は、各コイル５と検出対象物４との相対距離をそれぞれ独立変数として、各発振回路２の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路２の発振周波数と検出対象物４の変位量ｙとの関係に基づいて、検出対象物４の変位量ｙに相当する電気信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 伝達軸の移動動作に追従して移動部材が移動し、移動部材の位置が検知部で検知される移動検出装置において、移動部材ががたつくことなくスムースに移動できるようにする。
【解決手段】 伝達軸１２で移動させられる移動部材１３がばね部材１４で前方へ付勢されている。移動部材１３の下には検知基板２１が設けられ、移動部材１３の下部に弾性摺動子２８ａが設けられている。板ばね３０は一対の付勢機能部３２，３２を有し、それぞれの付勢機能部３２に、押圧板部３３、摺動板部３４、中間板部３５および第１の湾曲部３６と第２の湾曲部３７が一体に形成されている。この付勢機能部３２，３２により、移動部材１３が下向きに均一に押圧され、安定した姿勢で移動できるようになる。 （もっと読む）

【課題】シャフトが径方向にずれた場合に検出誤差を抑制することのできる回転角検出装置およびこれを備えたパワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】インプットシャフト４１に一体に設けられ、インプットシャフト４１の周方向に所定の間隔をもってＮ極およびＳ極が着磁された磁性部材４４と、磁性部材４４に対向配置されてＮ極およびＳ極による磁界の変化を検出するＭＲセンサ４５とを備えた回転角センサ５０において、ＭＲセンサ４５をインプットシャフト４１の周方向に異なる位置に複数配置する。 （もっと読む）

【課題】安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサの側長域を超える大きな変位を測定できるセンサユニットおよびこれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】検出された物理量からターゲット１１０の位置を計測するセンサユニット１００であって、可動方向ａおよびこれに垂直な方向ｂに対して傾きを有する傾斜面１１６が形成されたターゲット１１０と、傾斜面１１６との距離に対応する物理量を検出するギャップセンサ１２０とを備える。これにより、ターゲット１１０の可動方向への変位に対して傾斜面１１６のギャップセンサ１２０に対する変位は小さくなるため、安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサ１２０の側長域を超える大きな変位を測定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置検出機構の検出可能な範囲を拡大するということを目的とするものである。
【解決手段】本発明の位置検出機構は、Ｙ軸に垂直な方向の断面における磁化方向が断面位置に寄らず一定であり、Ｘ軸方向の対向する端面における磁力線の方向が互いに反対方向である磁石１５と、磁石１５とＺ軸方向で間隔を空けて配置され、ＸＹ平面に平行な方向の磁界を感知することができるＧＭＲ素子１３とを備え、磁石１５は、ＧＭＲ素子１３に対して相対的にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能であり、磁石１５のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の外形はＹ軸方向がもっとも長く、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５がＹ軸方向にΔＹ移動した際の磁石１５からの磁束密度の変化ΔＢが±５％以内となる位置に位置し、ＧＭＲ素子１３は、磁石１５をＺ軸方向に投影した領域の外部に位置している。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】検出対象である操作位置の数よりも少ない個数の角度検出センサで操作位置を判別し、また、ユーザに良好な操作感を付与することができる操作位置検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、主に、第１及び第２の磁石１０ａ、１０ｂと、第１〜第６のＭＲセンサ１１〜１６と、制御部１７と、を備える。制御部１７は、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４からのＨｉ及びＬｏｗの出力と第５及び第６のＭＲセンサ１５、１６の出力Ｌｏｗとの組み合わせに基づいて第１のルート５１におけるポジションを判別し、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４からのＨｉ及びＬｏｗの出力と第５及び第６のＭＲセンサ１５、１６の出力Ｈｉとの組み合わせに基づいて第３のルート５３のポジションを判別する。 （もっと読む）

車両の位置を決定するシステムは、磁石の磁界強度を測定する複数のセンサと、複数のセンサに対する磁石の位置を決定する演算手段とからなり、複数のセンサは２次元アレイで配置されている。
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【課題】自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、簡易な構成で、複数回転する回転体の回転角度が検出可能で安価な回転角度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検出体２２の内周に雌ネジ部２２Ｃを設けると共に基体３０に雄ネジ部３２Ａを設けて、この雄ネジ部３２Ａに雌ネジ部２２Ｃを螺合させ、回転体２１の回転に連動して検出体２２を回転させると共に回転軸方向の上下方向へ移動させ、磁石２３Ａと磁気検出素子２３Ｂからなる検出手段からの検出体２２の回転及び回転軸方向への移動に伴う検出信号Ｓ１、Ｓ２によって、制御手段２９が回転体２１の回転角度を検出するように回転角度検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】検出対象である操作位置の数よりも少ない個数の磁気センサで操作位置を判別し、また、磁気センサの１つが故障しても各操作位置の検出に支障がなく、さらに、ユーザに良好な操作感を付与することができる操作位置検出装置を提供する。
【解決手段】シフトポジション検出装置１は、シフトレバー２２に配置された磁石１０と、磁気センサとしての第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４と、判別部としての制御部１５と、を備えて概略構成され、第１〜第４のＭＲセンサ１１〜１４の出力の判定結果とポジションを対応させたシフトポジション情報１６０に基づいて各ポジションを判別する。 （もっと読む）

【課題】容量性センサ電極の形状と配置を最適化することによって限られた数のセンサを使用するセンス装置の有効な空間分解能を向上させ、かつ／または物理的な範囲を拡張する。
【解決手段】本明細書で開示するのは、容量性タッチセンス装置である。本明細書で説明するタッチセンス装置の１つの態様は、円形または線形の容量性タッチセンス装置において必要なセンサ回路の数の削減であり、一方で１つの物体に関する同等の分解能と絶対位置検出機能は維持される。本明細書で説明するタッチセンス装置の関連の態様は、容量性タッチセンス装置のセンサ・アレイ全体で１つの物体の絶対位置を検出する能力を損なわないように特に選択されたアレイ内の場所で、各センサ回路が複数の電極を共有できるようにする符号化パターンである。 （もっと読む）