【課題】簡便かつ安価な構成で、可動部材の傾きを抑えながら位置決め制御できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１０は、圧電素子１４、圧電素子１４の一端に固定された駆動部材１６、および、駆動部材１６上に移動可能に摩擦保持された可動部材１８からなる圧電アクチュエータ２０と、圧電素子１４を駆動する駆動回路２１と、可動部材１８の位置を検出する位置センサ２５と、位置センサ２５からの信号を処理する検出回路２６と、検出回路２６による位置検出値に基づいて駆動回路２１に駆動指令信号を与えることで可動部材１８の位置フィードバック制御を行う制御回路２８とを備え、可動部材１８の位置決め動作の際、制御回路２８は、可動部材１８が目標停止位置に一旦到達した後に、オーバーシュートを伴う位置決め制御を所定時間以上さらに継続する。 （もっと読む）

基板に起因する渦電流センサ（ＥＣＳ）信号の成分を決定するシステムおよび方法は、ＥＣＳに対して、ＥＣＳから第一の距離にある第一の位置に基板を設置するステップを含む。基板は、基板の第一の表面上に導電膜を含むことができる。第一のＥＣＳ信号は、基板が第一の位置にある状態で検出できる。基板は、次に、ＥＣＳに対して、ＥＣＳから第二の距離にある第二の位置に基板が存在するように、ＥＣＳに対して反転させることができる。第二の距離は、ほぼ基板の厚さを除いた第一の距離に等しい。第二のＥＣＳ信号は、基板が第二の位置にある状態で検出される。差分信号が決定される。差分信号は、ＥＣＳの較正グラフ上の第一の信号レベルと第二の信号レベルとの間の差に等しい。第二の信号レベルは、基板の厚さにほぼ等しい距離だけシフトされている。第一のＥＣＳ信号の第一の基板成分を計算する。第一のＥＣＳ信号の第一の基板成分は、第一の距離と差分信号との積を、基板の厚さで除算したものに等しい。
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【課題】 フレームの変形形態をより詳細に検出することができるフレーム変形検出装置の提供。
【解決手段】 複数の歪みセンサ４１をフレーム１１の易折れ変形部２５を挟んで前後に設けるとともに、これら歪みセンサ４１の検出結果に基づいてフレーム１１の変形形態を判定する判定手段を設け、判定手段は、複数の歪みセンサ４１のそれぞれのデータから所定の閾値以上の歪み量を検出するタイミングの時間差を算出し、該時間差が所定時間以上の場合は座屈と判定する一方、前記時間差が所定時間より短い場合は折れと判定する。 （もっと読む）