【課題】軸方向が互いに交差する２方向への回動操作が可能な操作手段を有する構造で、検出手段が検出する移動体の位置精度を向上できる車両変速機操作装置を得る。
【解決手段】ノブ９０がセレクト操作方向に回動操作された場合には、スライダ４０がスライダ支持部３４のガイド溝３６に案内されてスライドする。しかしながら、ノブ９０がシフト操作方向に回動操作された場合にはるセレクトレバー５０の幅方向端面により押圧された回動プレート１２２が側壁部２４を押圧してシャフト５６周りにスライダ支持体２０を回動操作させる。このため、ノブ９０がシフト操作方向に回動操作された際には、スライダ４０が軸部２８周りに回動されるだけで、ノブ９０の回動が他の向きへの移動に変換されない。これにより、シフト操作方向へのノブ９０の回動操作に関しては、部品間のガタの影響が少なく、スライダ４０に設けられた永久磁石１５２の位置精度を高くできる。 （もっと読む）

【課題】閉塞率またはスケール付着厚さの推定精度を向上させること。
【解決手段】伝熱管と、該伝熱管を通すための挿通孔が形成された管支持板とを備え、該挿通孔が伝熱管の周方向にＮ個の突起部を有する熱交換器に適用され、挿通孔壁面と伝熱管外面との間に存在する隙間部の閉塞率または該隙間部に付着した付着物の厚さを推定する付着物計測装置であって、センサを伝熱管の内側を走査させて探傷信号を取得する渦電流探傷プローブ６１と、挿通孔の支持板突起の隙間部の探傷信号を用いて隙間部の閉塞率または該隙間部に付着した付着物の厚さを推定する処理装置６２とを具備する付着物計測装置６０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 隣接する不良品容器の存在により良品容器のセンサ出力値が変化したときでも、密封状態の良否判定を正確に行う。
【解決手段】 カートンケースに収納されたカップ型容器の蓋部のうち、該蓋部における中心部と、この中心部から所定距離離れた二点とにおいて、該蓋部との距離を測定する測定手段２３と、二点の位置の平均値と中心部の位置との差を判定値として算出し、この判定値が所定範囲を逸脱していると、該カップ型容器が不良品であると判定する判定手段２７とを備え、二点のうちの一点と中心部との間の距離を抽出点距離とし、この抽出点距離が、良品のカップ型容器と不良品のカップ型容器が隣同士で配置されているときに、良品のカップ型容器について算出された判定値が所定範囲を逸脱しない値を示すように設定された距離である。 （もっと読む）

【課題】非接触且つ非光学方式の簡便な構成で、大きな凹凸で構成された非常に粗い表面の粗さを、測定対象表面の湿気の影響を受けることなく、かつ短時間で測定することができる粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定物体２の表面粗さを測定する粗さ測定装置１ａにおいて、被測定物体２の表面上の所定領域を測定エリアとすると共に、測定エリア内の表面粗さに対応する信号を出力する粗さセンサと、粗さセンサの出力に基づいて、測定エリアの表面粗さの測定値を出力する粗さ検出部と、を備えるように構成する。このように構成された粗さ測定装置１ａは、被測定物体２の表面粗さを非接触且つ非光学方式で測定することができる。 （もっと読む）

【課題】管軸方向に走行する金属管の偏肉状態を、渦電流方式を利用して精度良く測定し得る方法を提供し、また、そのための装置をも提供すること。
【解決手段】一対のコイル２８ａ，２８ｂと抵抗３４ａ，３４ｂとによってブリッジ回路を構成すると共に、該一対のコイルが金属管２２を中心にして対称的に位置した形態において、該一対のコイルに交流電流を流しつつ、かかるブリッジ回路全体を該金属管２２の周りに回転せしめることにより、該金属管２２の肉厚全体に発生させた渦電流が該金属管２２の肉厚に応じて変化して生じた該一対のコイル２８ａ，２８ｂ間のインピーダンス差を検知し、そしてこのインピーダンス差に基づいて該金属管２２の偏肉状態を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、検出感度を向上させたロータリセンサを提供する。
【解決手段】ロータリセンサ１のハウジング２は検知部３を収納して、二輪車の車体に取り付けられる。ロータ４は導電材料により形成され、ハウジング２に対して回転自在に設けられ、スタンド１０１の回転に伴ってスタンド１０１とともに回転する。このロータ４の一部で被検知部４２が構成されている。検知部３は回路基板３０を有し、回路基板３０には平面コイルからなるコイル３１が形成されている。コイル３１は、回路基板３０に実装された集積回路３２によって高周波で駆動され、ロータ４の回転に伴い被検知部４２との距離が変化することによって、そのコンダクタンスが変化する。集積回路３２では、コイル３１のコンダクタンスの変化から、スタンド１０１が起立位置にあるか、或いは、格納位置にあるかを検出する。 （もっと読む）

【課題】電池用電極材に対して、簡便に評価を行うことができる厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる厚さ測定装置は、集電体２１上に活物質２３を含む活物質層２２が設けられた電池用電極材の厚さ測定装置であって、前記電池用電極材との間にエアギャップを形成するため前記電池用電極材の表面にエアを噴出する測定ヘッド３１と、測定ヘッド３１に設けられたコイル４１と、コイル４１に接続された発振器５０と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】構造物の表面側及び裏面側に存在する複数種の形状変化部や付属部材の位置を検出する場合、観測波形が各々の信号の重畳した形状となるため、各々を識別した位置検出が困難になる。
【解決手段】高周波数励磁信号と低周波数励磁信号で形状変化部と付属部材の検出信号を抽出し、位相分離検出で形状変化部と付属部材の検出信号を識別するとともに、信号の振幅と幅でしきい値判別して、形状変化部及び付属部材の有無を確認するとともにその中心位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】深さの異なる複数の欠陥が設けられたサンプルを用いることなく、検査対象物の傷の深さを測定できる非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】一定の電流値の渦電流を検査対象物の表面に発生させるべく、周波数が高くなると振幅が小さくなる交流電流を励磁コイルに供給する電流供給部と、検査対象物の表面からの磁界を測定して磁界強度に応じた磁界信号を出力する磁気センサを有し、励磁コイルに第１周波数、第１周波数とは異なる第２周波数の交流電流を供給している際に、磁気センサから得られる検査対象物の表面に対して窪んだ傷の近傍の磁界強度に応じた第１磁界信号、第２磁界信号と、磁気センサから得られる検査対象物の表面に設けられた所定深さの穴の近傍の磁界強度に応じた第３磁界信号と、第４磁界信号とを用い、前記第１及び第２磁界信号の値の変化と、第３及び第４磁界信号の値の変化と、所定深さと、に基づいて、窪んだ傷の深さを算出する。 （もっと読む）

【課題】紙幣取扱装置に搭載可能なテープなどを貼った変造紙幣などを高精度に検出できる紙葉類の厚さ検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】回転駆動される基準ローラ１１と、基準ローラ１１に押付けられ従動回転する外輪１６と回転軸１４との間に弾性部材１５を充填した検知ローラ６と、検知ローラ６の外輪１６に接触して従動回転する蛇行防止ローラ５と、紙葉類４の厚みに応じて上方向に移動する外輪１６の動きを検出する変位検出センサ１８，１９とで構成する。蛇行防止ローラ５を設けることにより、紙葉類４と検知ローラ６との摩擦抵抗による検知ローラ６の傾き或いは蛇行の阻止と、紙葉類４の噛み込み時の検知ローラ６の飛跳ねを抑制する。これにより、テープなどを貼った変造紙幣などを高精度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】単一のコイルでインダクタンスの変化を効果的に検出し、小型でありながら高精度な変位センサを実現するためのインダクタンス変化検出回路と、これを用いる変位検出装置及び金属検出装置を提供する。
【解決手段】コイルとコンデンサを直列接続した過渡応答回路に対し、所定の電圧と接地とを交互に接続する。また、フリーホイールダイオードを二つ設けて、電圧或は接地から切断した直後にコイルから生じる起電力を受け流し、コンデンサに電荷を蓄積させると共に回路を安定化させる。その後、コンデンサ或はコンデンサとコイルの直列接続よりなる負荷の両端電圧を取得して、コイルに非磁性体金属が近接しているときと近接していないときに生じるインダクタンスの変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】回転角度の検出に用いる構成を利用して、回転体の軸ずれを検知可能とした回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】円盤状の回転体２０の回転角度を検出する回転角度検出装置において、回転体２０の円盤面には、複数の溝Ｄを設け、回転体２０が回転したとき、溝Ｄの有無によって変化する磁界に応じて誘起され交流電圧を生成する検出コイル３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄを円盤面に対向して設け、検出コイル３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄに誘起される交流電圧に基づき回転体２０の回転角度を求めるとともに、回転体２０の軸ずれの有無を検出する回転角度検出装置。 （もっと読む）

【課題】高ＳＮ比で渦電流計測を行う厚さ計を提供する。
【解決手段】渦電流モニタリングシステムは、細長いコア２０５を含んでおり、１つ以上のコイルを、ウェハ上の１つ以上の導電性領域２３０に結合できる振動磁界を発生するために、該細長いコア２０５に結合することができる。該コア２０５は、改善された分解能を実現できると共に、十分な信号強度を維持するように、該ウェハに対して移動させることができる。渦電流モニタリングシステムは、共振周波数で振動磁界を発生するＤＣ結合マージナル発振器を含んでもよく、この場合、該共振周波数は、１つ以上の導電性領域に対する変化の結果として変化させてもよい。渦電流モニタリングシステムは、リアルタイム・プロファイル制御を可能にするために用いることができる。 （もっと読む）

【課題】大面積の測定したい表面の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、大面積の測定される表面（１２）の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスに関し、少なくとも１つのセンサ要素（２９）、およびセンサ要素（２９）に関連付けられた少なくとも１つの接触球状キャップ（３１）を備えた少なくとも１つの測定プローブ（２８）は、測定値を得るために測定される表面（１２）に宛てがわれ、大面積の測定される表面（１２）は、個別の部分領域（１４）に分割され、測定点（１６）の行列は検査される各部分領域（１４）に対して決定され、少なくとも１つの測定プローブ（２８）を担持するデバイス（２１）を使用して、部分領域（１４）の行列の少なくとも１つの行（１７）に沿って、等距離測定点（１６）で測定値が探知され、測定値は、前部分領域（１４）内の前記行列の全ての行（１７）に対して連続的に探知され、この部分領域（１４）に対して評価される。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】吸湿すると膨張するだけでなく変形し得る試料に対しても正確に膨張率を測定できる膨潤試験装置及び膨潤試験方法を提供する。
【解決手段】膨潤試験装置１０は、試料Ｓの一端部が基準位置に維持された状態で吸湿したときに試料Ｓの形状を維持する形状維持手段１６と、吸湿による試料他端部の初期位置からの変位又はそれに伴う被検知部３９の変位を検出する渦電流式変位センサ１４と、渦電流式変位センサ１４による検出結果に応じて試料Ｓの膨張量又は膨張率を導出する導出手段２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】移動するワイヤーロープに対して径の測定ができ、ワイヤーロープへの取り付けが容易なワイヤーロープの径測定装置を提供する。
【解決手段】ワイヤーロープ１１が隙間を有して挿通される貫通孔１２が形成された枠体部材１３と、貫通孔１２の周囲に３個以上のセンサ部１４〜１７が間隔をあけて設けられ、センサ部１４〜１７部で貫通孔１２を挿通するワイヤーロープ１１までのそれぞれの距離を検知する距離検出手段１８と、距離検出手段１８からの信号を基に、ワイヤーロープ１１の直径を演算する制御部１９とを有し、枠体部材１３は、貫通孔１２を中心に少なくとも２つに分割可能である。 （もっと読む）

【課題】安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサの側長域を超える大きな変位を測定できるセンサユニットおよびこれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】検出された物理量からターゲット１１０の位置を計測するセンサユニット１００であって、可動方向ａおよびこれに垂直な方向ｂに対して傾きを有する傾斜面１１６が形成されたターゲット１１０と、傾斜面１１６との距離に対応する物理量を検出するギャップセンサ１２０とを備える。これにより、ターゲット１１０の可動方向への変位に対して傾斜面１１６のギャップセンサ１２０に対する変位は小さくなるため、安価かつコンパクトな構成で、ターゲット位置についてギャップセンサ１２０の側長域を超える大きな変位を測定できる。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）