基板上の導電層の厚さを監視する装置は、導電層を有する基板を保持する支持部と、第１の複数のコア部分を含む渦電流監視システムと、支持部と渦電流監視システムとを互いに対して動かすことにより、第１の複数のコア部分を横切って、第１の軸を画定する方向に基板を移動させるモータとを含む。少なくとも１つのコア部分が、第２の軸から、少なくとも２つの他のコア部分よりもさらに遠くに配置される。第２の軸は、第１の軸と直交する。
（もっと読む）

【課題】被覆の表面に凹凸を有する被覆金属線８であっても、変位センサ１７及び被覆２６の双方に衝撃、又は損傷を加えることなく、変位センサ１７を被覆金属線８に近接させて被覆厚の測定を精度よく行うことが可能となる被覆厚測定装置を提供すること。
【解決手段】一方向に移送される被覆金属線８の被覆２６に接触して配置され、この被覆２６を介して芯線２５までの距離を測定する変位センサ１７を有するセンサ部９と、このセンサ部９に対して被覆金属線８の移送方向の上流側に配置され、前記センサ部９が測定する前記被覆２６の部位において、被覆表面から所定値以上の高さを有する凸部又は所定値以上の深さを有する凹部を検出する検出部１０とを備えている。
更に、センサ部９を保持する駆動手段１１は、検出部１０が上記凸部又は凹部を検出したときにセンサ部９を被覆２６より遠ざけることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高品質の製品鋼材を得ることの可能な溶鋼の連続鋳造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】水冷鋳型に溶鋼を連続的に注入し、別途投入したモールド・パウダで該溶鋼を覆うと共に、該溶鋼を電磁力で攪拌し、生成した凝固殻を前記鋳型から下方に引き抜きながら冷却を続け、完全に凝固した長尺の鋼鋳片とするに際して、モールド・パウダの溶融層の厚みを常時測定し、該測定値を予じめ定めたモールド・パウダの溶融層の厚みと該鋼鋳片もしくは該鋼鋳片を圧延して得た製品鋼材の欠陥発生率との関係に照らし、該鋼鋳片もしくは製品鋼材の欠陥発生率が所望値以下になるように、前記水冷鋳型での溶鋼の鋳造条件を変更してモールド・パウダの溶融層の厚みを調整する。 （もっと読む）

【課題】渦電流探傷試験法に特有の物理現象を利用することで長さ評価精度と汎用性が高い渦電流探傷試験方法及び渦電流探傷試験装置を提供する。
【解決手段】本発明は、中心軸方向と被検査面の法線方向が一致している第１のコイル１２と、中心軸方向と被検査面の法線方向が一致しており、第１のコイル１２と所定の中心間距離ｄ１で配置される第２のコイル１３とを有するプローブ１１を用いて被検査面の欠陥１５を検出し当該欠陥長さＬを評価する渦電流探傷試験方法において、プローブ１１を走査し被検査面の欠陥に起因する出力電圧分布を取得し、出力電圧分布に現れる二つの極大値を検出し、検出された二つの極大値間の長さｄ２を算出し、算出された極大値間の長さｄ２と第１のコイル１２及び第２のコイル１３の中心間距離ｄ１を加算した結果を被検査面の欠陥長さＬと評価する。 （もっと読む）

【課題】ローラ面に養生フィルムを被覆したままでローラ形状を測定できる装置を提供すると共に、その装置を使用してオフラインでダミーによるクリアランス調整を行うことにより、ローラ面を傷つけることなく迅速にクリアランス調整を行うことができる。
【解決手段】直径が１ｍ以上の冷却ローラ１４のローラ面に樹脂製の養生フィルム３０を被覆したままで該冷却ローラの形状を測定するローラ形状測定装置４０は、金属のみに反応することによりローラ面までの距離を測定する渦電流式の変位計４２と、変位計４２をスライドバー４４にスライド自在に支持して冷却ローラ１４の幅方向に移動させる移動手段４６と、変位計４２での測定値とローラ面までの実測距離との関係を予め求めた検量線データを有し、変位計４２で測定した測定値を検量線データに基づいて補正する補正手段と、を備える。そして、このロール形状測定装置４０でオンライン測定したローラ形状結果に基づいて、冷却ローラ１４と遮風板２２とのクリアランス調整をオフラインで行う。 （もっと読む）

１または複数の対象物たとえばガス・タービンの回転ブレードの周期的接近を検知するためのシステムおよび方法。システムは、受動渦電流検知ユニットであって、第１および第２の磁界を生成および検出するために結合された第１および第２の磁石と第１および第２のコイル巻コアとを有する受動渦電流検知ユニットを備える。検知ユニットは対象物に対して、第１および第２のコイル巻コアが、第１および第２の磁界を周期的に通過する対象物に応答してそれぞれ出力を生成するように、位置する。回路構成が、第１および第２のコイル巻コアの出力を電子的に組み合わせて、対象物が第１および第２の磁界を周期的に通過するときの接近およびタイミングに対応する出力信号を生成する。第１および第２のコイル巻コアの出力中に存在する電磁妨害ノイズが、回路構成の出力信号から取り除かれる。
（もっと読む）

【課題】ＡＬＣパネルの製造工程において、内部に埋設される主筋から両面までの主筋かぶり厚を、高速かつ安価に、過検出とならないように測定する方法を提供する。
【解決手段】渦電流式磁気センサ（７）を使用し、該センサ（７）を、水平方向に搬送されるＡＬＣパネル（１）の腹面から一定距離（Ｌ）を保持し、かつ、一定速度（ｖ１）で、ＡＬＣパネル（１）の搬送方向に対して垂直方向に往復動させ、センサ（７）の出力値をアナログ出力させ、センサ（７）が主筋（２）の上を通過する際の測定信号のピーク値（ｖｍ）と、前記速度（ｖ１）と、センサ（７）と主筋（２）との距離の関係式ｆ（ピーク値、速度）を予め求めておき、主筋のかぶり厚（ｔ）を、ｔ＝ｆ（ｖｍ、ｖ１）−Ｌにより算出し、得られたデータをピークカット処理ないしは移動平均処理することにより、補強鉄筋徒の交差の影響を排除して、ＡＬＣパネルの主筋かぶり厚を測定する。 （もっと読む）

１または複数の対象物たとえばタービンの回転ブレードの周期的位置を検知するためのシステムおよび方法。システムは受動渦電流検知ユニットを備え、受動渦電流検知ユニットは、１または複数の磁石と第１および第２のコイルがそれぞれ巻かれた第１および第２のコアとを有し、これらは共に第１および第２の磁界を発生させる。検知ユニットの位置は、対象物が第１および第２の磁界を周期的に連続して通過し、その結果、第１および第２のコイルが第１および第２の出力信号をそれぞれ生成するように定める。各コイルは別個に処理回路構成に接続され、処理回路構成は第１および第２の出力信号をそれぞれ受け取る。回路構成は、第１および第２の出力信号を電子的に組み合わせて、同相信号が電子的に互いに差し引き合い、回路構成の出力から、第１および第２の出力信号中に存在する任意の電磁妨害ノイズが取り除かれるようにする。
（もっと読む）

【課題】磁気センサ駆動用のクロック信号を所定値まで増幅して各磁気センサのコイルにそれぞれ出力する場合に、時間の短縮を図り、効率よく磁気センサ駆動用のクロック信号を所定値まで増幅することができる衝突判断装置を提供する。
【解決手段】レジスタ部に入力された各磁気センサ（コイル）に対する各磁気センサ駆動用のクロック信号をそれぞれ所定値まで増幅するときに、各磁気センサ駆動用のクロック信号を所定の切り替え間隔時間毎に交互に切り替えて、各磁気センサ駆動用のクロック信号を所定の増幅間隔時間毎にそれぞれ大きくなるように増幅させる。 （もっと読む）

【課題】レジスタ初期診断処理でレジスタ部に異常が発生していると診断した場合には、直ちに初期設定制御を停止することができる衝突判断装置を提供する。
【解決手段】側突判定用ＡＳＩＣ６で衝突判定動作を開始する前の初期設定処理制御として、レジスタ部６ａのレジスタ初期設定処理を行った後に、このレジスタ初期設定処理時にレジスタ部６ａに異常が発生していないかを診断するレジスタ初期診断処理を行い、レジスタ初期診断処理でレジスタ部６ａに異常が発生していないと診断した場合に、レジスタ初期診断処理後に磁気センサ駆動用のクロック信号を発振させる。 （もっと読む）

【課題】基準信号の整数倍次の高調波に起因して位相検波処理で生じるドリフトを抑制できる基板観察装置を提供する。
【解決手段】基板観察装置３１は、方形波の基準信号を出力する基準信号源６１と、基準信号源からの方形波を正弦波に変換するための第１のフィルタ回路６３と、第１のフィルタ回路を経た正弦波を基板に対して出力する励磁部４１と、基板からの検出信号を受ける検出部４３と、基準信号と基板からの検出信号とを掛け合わせる位相検波回路７７と、位相研磨回路の後段に接続された第２のフィルタ回路７９と、検出部４３と位相検波回路７７との間に設けられ、検出信号から、基準信号の整数倍次の高調波を除去する第３のフィルタ回路７３とを備える。第３のフィルタ回路７３は、基準信号の３次の高調波を除去してよい。 （もっと読む）

【課題】広範囲の衝突検出を可能とし、省スペース化、および、配置の容易化を図ることができる車両用側突検出装置を提供する。
【解決手段】側面ドア１は、外板１１と、内板１２と、ステー３１と、位置センサ３２と、補強部材１３を備えている。内板１２と外板１１との間はドアガラス３０とドアガラス３０の下辺に取り付けられたステー３１の移動空間である。コイル２は補強部材１３に配置され、内板１２側に磁界を発生している。コイル２は磁性体である内板１２を内板側部材として、内板１２との離隔距離の変化を磁束の変化として検出する。そして、この検出値に基づいて判定手段は、位置センサ３２が検出したステーの車両上下方向（垂直方向）の位置により判定方法を選択して、車両と物体とが衝突したことを判定する。 （もっと読む）

【課題】 非接触式変位センサの位置決めとギャップ調整の作業精度と作業効率を改善する。
【解決手段】 第１の回転機器の回転軸と第２の回転機器の回転軸との位置関係を算出するために、第１の回転機器の回転軸に備わるフランジの周面または端面とのギャップを測定するための少なくとも１つの非接触式変位センサを固定するための冶具であって、第２の回転機器の回転軸に固定されるベース部と、ベース部に対してスライド機構を介して所定の方向に移動可能に固定され、非接触式変位センサを所定の他の方向に微調整可能に固定する少なくとも１つの非接触センサ固定部と、非接触センサ固定部に備わり、第１の回転機器の回転軸に備わるフランジの周面または端面と非接触式変位センサの先端との所定のギャップを設定するためのギャップ設定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造において鋳型内のモールドパウダの溶融層厚みと溶鋼レベルを計測し、その情報に基づいて、下工程の処理条件や検査条件などの操業条件を適正化する鉄鋼製品の品質管理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】連続鋳造機の鋳型内の溶融パウダ厚を計測し、該溶融パウダ厚に基いて、連続鋳造工程以降の工程における操業条件および／または製品仕様を決定する。 （もっと読む）

【課題】ＡＬＣパネルの製造段階において、ＡＬＣパネルを移動させつつ、鉄筋かぶり厚を適切に検査できる手段を提供する。
【解決手段】直線的に移動するＡＬＣパネル（１）の進行方向に対して垂直の方向に往復動する運動機構（７）と、該運動機構に取り付けられ、相互に前記ＡＬＣパネルの進行方向に離間し、かつ、相互の間隔を変更可能としている２つの渦電流式磁気センサ（８ａ、８ｂ）とを備える装置を用いて、該センサを、前記ＡＬＣパネルの進行方向に対して垂直の方向に往復動させ、隣接する２つのセンサの両方の出力値がいずれも所定値を超えた場合にのみ、鉄筋かぶり厚の異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 試料に印加する交流磁界の発生磁束が磁心全般に広がるため検知される空間分解能（測定分解能）が低下する。
【解決手段】 磁心が磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製である渦電流センサを使用し、磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数（寸法共鳴が生ずる周波数）又はその近傍の周波数で前記渦電流センサを作動させて（磁心を励磁して）定在波の山の部分に磁束を集中させて、その磁界（磁束断面積）を磁心の磁路断面積より小さくし、その磁束を渦電流センサの磁心に与えるようにした。渦電流センサの磁心を、磁気特性に加えて誘電特性が顕著となる材料製として、励磁時の磁気及び誘電特性の複合作用によって生ずる磁心内部の電磁波が定在波となる周波数で作動させると、発生磁束が定在波の山の部分に集中するようにした。磁心材料をＭｎ−Ｚｎフェライトとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 フェライトコアに巻かれた励磁コイルと交流電源の間に接続されるリード線のインダクタンス及び抵抗成分の影響を受けて、励磁コイルに供給される交流電圧を一定に保つことが出来ず測定誤差の要因となっている。
【解決手段】 渦電流センサの磁心に交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に電圧検出コイルを設け、渦電流発生時の電圧検出コイルの誘起電圧を検出コイルのインピーダンスに対して高入力インピーダンスである検出器で検出する。前記検出器で検出された検出電圧で励磁コイルに印加する高周波電圧を制御する。測定用渦電流センサと試料を測定しない非測定用渦電流センサを使用し、夫々の渦電流センサの磁心に励磁コイルとは別に設けた電圧検出コイルを夫々の誘起電圧が逆方向となるように直列接続し、非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と、試料測定した測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を前記直列接続した電圧検出コイルの測定端子で検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰ加工等において、デバイスウェーハに形成されている素子等に強い磁束を及ぼすことなく、導電性膜の膜厚を精度よく測定できる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハ１０２の表面に対向してコイル１０３を離間配置させ、ウェーハステージ１０１をＸ，Ｙ方向及びＲ、θ方向へ移動させる。インピーダンスアナライザ１０５によって周波数を掃引させながらコイル１０３に交流電流を供給すると、コイル１０３に誘起させた磁場がウェーハ１０２の導電性膜に作用する。導電性膜の表皮効果に影響するパラメータ（周波数又は角度）を変化させてコイル１０３に与えることにより、磁場をウェーハ１０２の膜内へ相対的に貫通させない状態と、膜内へ相対的に貫通させる状態とを形成することができる。導電性膜の表皮効果に影響される状態変化に基づいて誘起される渦電流に対応する諸量の変化から、ウェーハ１０２の膜厚を精度よく測定することができる。 （もっと読む）

【課題】過酷な環境下において正確な型間距離の計測が可能であり、計測した型間距離を生産記録として保管が可能である型間距離計測装置を提供する。
【解決手段】上型３と下型６よりなる金型の上下型間距離を計測する型間距離計測装置１であって、前記上下型３・６の型間距離を計測する変位センサ２と、該変位センサ２を収納し、前記上下型３・６のどちらか一方の型の内部に埋設されるセンサ保護部４と、該センサ保護部４に具備され、前記変位センサ２を冷却する冷却手段７と、前記変位センサ２上に堆積する異物をエアパージによって除去する堆積防止機構５と、を備えた。 （もっと読む）

渦電流アレイプローブ（ＥＣＡＰ）を使用して構成部品を検査する方法が提供される。その方法は、ＥＣＡＰを用いて構成部品の表面をスキャンするステップと、ＥＣＡＰを用いて複数の部分的欠陥応答値を収集するステップと、複数の部分的欠陥応答値をプロセッサに伝送するステップと、ＥＣＡＰのエレメントの構成およびエレメントの解像度の少なくとも１つに基づいて、複数の部分的欠陥応答値を数学関数として表すステップと、複数の部分的欠陥応答値から単一の最大欠陥応答値を導出するステップとを含む。 （もっと読む）