【課題】測定対象物の温度が変動しても精度良く測定対象物の焼き入れ深さを測定することが可能な焼き入れ深さ測定装置および焼き入れ深さ測定方法を提供する。
【解決手段】複数の異なる周波数の交流励磁信号が印加されることにより測定対象物２に複数の異なる周波数に対応する浸透深さを有する誘導電流（渦電流）を発生させる励磁コイル１１と、測定対象物２に発生する誘導電流に起因する検出信号を検出する検出コイル２１と、複数の異なる周波数の交流励磁信号とこれに対応する検出信号との位相差φを算出し、浸透深さに対応する測定対象物２の表面からの深さと位相差φとの関係を求め、位相差φの上端値φ_Ｕと下端値φ_Ｌとの差分値Δφ（＝φ_Ｕ−φ_Ｌ）に基づいて測定対象物２の焼き入れ深さを算出する制御装置３０と、を焼き入れ深さ測定装置１に具備した。 （もっと読む）

【課題】渦電流センサのプローブにおいて、コイルを封止するコイルケースの破損を抑止して、プローブの長寿命を実現するための構造を提案する。
【解決手段】一端閉塞の筒状のコイルケース２５と、前記コイルケース２５内に挿入された円柱形状の中芯２３とで、封止された空芯コイル２２を備えた渦電流センサ１６のプローブ２０において、前記中芯２３を軸方向に複数に分割して、複数の短円柱形状部材で構成する。さらに、前記コイルケース２５と前記中芯２３とを同一材料で構成する。 （もっと読む）

【課題】温度変化の大きい測定条件下でも、金型の距離の変位を精度よく測定することができる変位測定方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】対向する固定型２０及び可動型２１を有する金型２の距離Ｄの変位を測定する変位測定方法であって、可動型２１に渦流センサ１３を配置するとともに、固定型２０に被測定部１４を設けて、渦流センサ１３により被測定部１４に渦電流を誘起し、被測定部１４に誘起された渦電流に基づく出力電圧を検出する出力電圧検出工程と、渦流センサ１３及び被測定部１４のそれぞれの温度Ｔ・ｔを検出する温度検出工程と、出力電圧検出部１０にて検出された出力電圧、及び温度検出部１１にて検出された温度Ｔ・ｔから、固定型２０と可動型２１との距離Ｄを測定する距離測定工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】複雑な幾何学形状を有する部品における小さな亀裂及び他の異常を検出する。
【解決手段】多周波渦電流信号からデータを収集することを含めた渦電流検査を含む。生検査画像の信号対雑音比を向上するために、位相解析を使用して多周波データが組合わされる。その後、通常はエッジ効果信号により隠蔽されると考えられる縁部３４の亀裂及び他のきずと関連する信号を分離することを目的として、渦電流きず信号の周波数成分と相関するために、時空間フィルタを使用して画像が再処理される。 （もっと読む）

【課題】 高温環境における測定精度の低下、および耐久性の低下を防止することができる変位計を提供する。
【解決手段】 円筒形状の外周面に螺旋状の溝３１が形成された絶縁材料からなるボビン２１，２３と、溝３１に沿って配置された導電材料を露出して形成された導線２９と、を有するコイル部と、コイル部に所定周波数の磁界を発生させるべく所定周波数の電流を供給する電源部と、コイル部におけるインピーダンスの変化を検出する検出部と、が設けられ、溝３１は、隣り合う導線２９の間に所定の間隔が形成されるピッチＰで螺旋状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シーリングテープが包装材料の適正な位置に接合され、良好な縦シールを有する包装充填容器を得ることができる包装充填装置を提供する。
【解決手段】帯状包装積層材料１の縁部１ａにシーリングテープ２を接合し、帯状包装積層材料を筒状に成形して形成される縦シール部のシーリングテープ２を重ね接合し、内容物を充填して横シールし、筒状包装積層材料を切断分離して容器に包装充填する装置であって、搬送される帯状包装積層材料から一定の距離を置いて、センサヘッド面がシーリングテープ２が接合された帯状包装積層材料の縁部１ａを被う第１渦電流式変位センサ１６と、センサヘッド面が帯状包装積層材料の中央を被う第２渦電流式変位センサ１７と、第１渦電流式変位センサ１６と第２渦電流式変位センサ１７からの信号に基づいて、帯状包装積層材料の縁部の位置を計測する位置計測手段１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単に測定対象物の厚さを測定することができる厚さ測定装置及び厚さ測定プログラムを提供する。
【解決手段】渦電流検出部３は、基準信号発生部２から励磁電流が流れて測定対象物に渦電流が流れると、この渦電流に対応する誘導出力を位相検波部６に出力させる。移相部５は、移相用信号発生部４が発生する移相用信号の位相を所定の検波位相（例えば90°）ずらした移相用信号を発生し、位相検波部６は移相部５が出力する移相用信号に基づいて渦電流検出部３が出力する渦電流信号を位相検波する。位相遅れ検出部７ａは、渦電流信号を所定の検波位相（例えば90°）で検波したときのこの渦電流信号の位相遅れを検出する。厚さ測定部７ｆは、位相遅れ情報検出部が検出した渦電流信号の位相遅れと相関関係情報記憶部７ｅが相関関係情報とに基づいて、測定対象物の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】従来の構成では検知が困難であった小さな異物を噛み込んだことによる微量の逆流をも効果的に検知することができる弁体変位検出機能付きの逆止弁を提供する。
【解決手段】弁胴内にバネ圧によって閉弁方向に付勢した弁体の二次側に通水方向に沿ってスライドする弁軸を備えた逆止弁であって、前記弁軸の二次側に一体的に設けた電磁感応性を有する測定対象部と、コイルに高周波電流を流して高周波磁界を発生し、前記測定対象部との離間距離に応じてコイルインピーダンスが変化する位置に設けたセンサヘッドと、このセンサヘッドからの発振出力に基づいて前記弁体の変位を算出する変位算出部とからなる。また、弁胴の二次側に非磁性体からなるセンサケーシングを直管状に連結し、該センサケーシングの二次側に防水壁を介してセンサヘッドを設けると共に、弁軸の二次側に測定対象部を前記センサケーシング内まで延設する。 （もっと読む）

【課題】回転羽根と底板とのギャップ（間隙）を逐次測定することが可能な構成を備える粉流体定量排出器を提供することにある。また、他の目的として、回転羽根と底板とのギャップ（間隙）の測定結果に基づき、ギャップが予め定められ値よりも小さくなった場合に、粉流体定量排出器の運転を停止させることを可能とする、粉流体定量排出器の排出間隙オンラインモニタリングシステムを提供する
【解決手段】容器底部に設けられる底板１０１と、この底板１０１の上面側において、所定の間隙を隔てて回転通過するように配置される回転羽根１０２，１０３と、底板１０１の下面側に設けられ、回転羽根１０２，１０３と前記底板１０１との間隙を測定するための間隙センサ２００とを備え、この間隙センサ２００は、渦流探傷法により回転羽根１０２，１０３と底板１０１との間隙を測定するための渦流コイルである。 （もっと読む）

【課題】外部磁束に強く、高分解能な回転状態信号を出力可能なセンサ付軸受装置を提供する。
【解決手段】内輪１６と外輪１８との間にボール２０が配置された軸受１２と、回転輪としての内輪１６に支持または、一体に形成された回転部材２２と、静止輪としての外輪１８に支持されて回転部材２２の外周面を包囲する円筒部材２６と、円筒部材２６に配置された一対の検出コイル２８、３０と、各検出コイル２８、３０の出力にしたがって回転部材２２の回転状態を検出する回転状態検出器とを備え、回転部材２２は、磁性材料で構成され、回転部材２２には軸方向に伸びる溝２４が複数状形成され、円筒部材２６には回転部材２２の相対回転位置に応じて溝２４との重なり具合が変化するように窓３２、３４が複数列形成され、各列の窓３２、３４が各検出コイル２８、３０によって包囲され、検出コイル２８、３０からは回転部材２２の回転状態を示す２相信号が出力される。 （もっと読む）

【課題】 車両構成部材の車両衝突時における変位に関する情報の検出に関し、当該検出特性向上を図るのに有効な技術を提供する。
【解決手段】 車両に搭載される衝突検出装置１３０は、車両衝突に伴ってコイルセンサ１３１側へと変位するとともに、当該コイルセンサ１３１のセンサ表面と対向状に延在する延在面を有する金属製の検出対象物を備える構成とされる。 （もっと読む）

【課題】 車両構成部材の車両衝突時における変位に関する情報の検出に関し、当該検出特性向上を図るのに有効な技術を提供する。
【解決手段】 車両に搭載される衝突検出装置１３０は、ドアアウタパネルの延在方向と交差する方向に関し、当該ドアアウタパネルとの間の距離が異なる複数の検出領域を形成するコイルセンサ１３１を備える構成とされる。 （もっと読む）

【課題】
上下定盤面平行度を高精度で簡易に、かつ高精度で測定する。
【解決手段】
上下定盤面平行度測定用ボード３は、ボード本体３１には測定ユニット３２の装着部が複数形成され、測定ユニット３２は、上定盤２１面と下定盤２２面との距離に応じて変位する上方付勢された変位子を備えた変位機構部と、変位機構部における変位子の、上定盤２１面と下定盤２２面との距離が最小となったときの当該距離に相当する変位値Ａをデジタル計測する上下定盤面間距離計測部と、上下定盤面間距離計測部１２２の計測結果を出力する計測結果出力部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、スケールを用いた目視検査や浸透探傷に依らずに、渦電流探傷法で金属性の被検査体の表面欠陥の長さについて評価する方法を提供することにある。
【解決手段】渦電流探傷法で励磁コイル１と検出コイル２を白抜き試験体３上で矢印の方向へ走査し、各走査位置での出力電圧を検出コイル２の出力に基づいて渦電流探傷器で測定し、各走査位置での出力電圧の分布を示す出力電圧の分布曲線５の情報から、左側の最大値から左側へ下る差分電圧範囲Ｖｐ−ｐで１２デシベルダウンの位置情報を抽出し、右側の最大値から右側へ下る差分電圧範囲Ｖｐ−ｐで１２デシベルダウンの位置情報を抽出し、両位置情報の間の距離を計算して試験体３の表面欠陥であるスリット４の長さとして評価する。 （もっと読む）

【課題】硬貨の側面に対応する位置に配設された反射型磁気センサの出力に基づいて硬貨の外径を検出することによって、異物の影響を受けず、硬貨を搬送する搬送ベルトの実装の妨げにならず、硬貨の金種の判定精度が高いようにする。
【解決手段】搬送ベルトによって搬送される硬貨１１の外径を検出する硬貨認識装置１０であって、搬送される硬貨１１の側面に対応する位置に配設された反射型磁気センサ１２と、該反射型磁気センサ１２の出力に基づいて前記硬貨１１の外径を検出する検出回路２０とを有し、検出された外径に基づいて硬貨１１の金種を判別する。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の膜厚を精度良く測定する。
【解決手段】渦電流センサ１は、基板６に形成された導電性膜７に対向して配置されたセンサコイル２ａ及びセンサコイル２ｂと、導電性膜７に渦電流を生じさせるための交流信号をセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに選択的に供給する交流信号源３と、導電性膜７に生じた渦電流に応じてセンサコイル２ａ・２ｂのいずれかに流れる電流値を検出する交流電流計４とを備え、センサコイル２ａの径とセンサコイル２ｂの径とは、導電性膜７の種類に応じて互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】干渉磁界および干渉電界に対して低感度とすることが可能であり、ロータのような回転体の位置を検出するための回転角度検出用センサシステムを提供する。
【解決手段】機械の回転体２の位置を検出するために、回転体２に取り付けられかつこの回転体２と共に移動可能であるエンコーダ構造３と、このエンコーダ構造３の対向側に配置され、かつ位置を決定し得る少なくとも１つのセンサ信号９を供給する固定センサアセンブリ４とを備え、センサアセンブリ４が第１のインダクタンス素子を備え、またインダクタンス素子が、前記エンコーダ構造３の動作に依存してインダクタンスの変化を生じさせるように、回転角度検出用センサシステムを構成する。 （もっと読む）

本発明は、検査対象の導電性基材（５０）上に形成された導電性被膜の膜厚の決定方法に関する。先ず、空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として検出される。それぞれ検査対象の基材（５０）および被膜（５２）と同じ材料からなる基材および被膜を含む複数の被覆された基準対象が準備される。基準対象は異なる既知の膜厚を有する。各基準対象についての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として渦電流センサにより検出される。引続いて、各基準対象について、周波数（ω）の関数としての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））および空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））から、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））が求められる。その後、各基準対象について、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅が形成される。これから、被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）の関数として材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅を表示する較正曲線が作成される。正規化された振幅が同じようにして検査対象についても求められるこれから、検査対象の被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）が較正曲線により決定される。
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【課題】半導体基板上に形成されるごく薄い導電性膜から比較的厚い導電性膜まで正確に膜厚等の検出を行いながら該導電性膜を研磨する研磨方法を提供する。
【解決手段】基準ウエハのインピーダンスを渦電流センサ１０で計測することで、渦電流センサ１０のインピーダンスと、センサコイルに供給すべき交流電流の周波数と、膜厚との関係を較正し、渦電流センサ１０は、センサコイルに一定周波数の交流電流を供給して研磨対象物上の導電性膜に渦電流を形成し、センサコイルの両端子から見た導電性膜を含めたインピーダンスを計測し、研磨対象物上の導電性膜を含めたインピーダンスの変化から、導電性膜の膜厚変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】金属部材の影響によるセンサ出力電圧のノイズの発生を抑制することで、バルブのリフト特性を精度良く検出可能なリフト特性検出装置を提供する。
【解決手段】渦電流センサ３０の先端部３２に斜め断面３２ａが形成されている。この斜め断面３２ａとバルブ１０に設けられたリテーナ１４の上面１４ａとが平行になるように、かつ、リテーナ上面１４ａに対して斜めになるように、渦電流センサ３０が固定部材５０に固定されている。渦電流センサ３０は、センサコントローラ４６に接続されている。センサコントローラ４６は、渦電流センサ３０の出力電圧に基づいて、バルブ１０のリフト特性を検出する。 （もっと読む）