【課題】本発明は、リフトオフ時の板厚の測定精度をさらに向上することができる渦電流式非磁性金属膜厚測定方法及びそれを実施するための渦電流式非磁性金属膜厚測定装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、渦電流測定センサ４を非磁性金属と同じ仕様の較正試験体上に設置して渦電流測定センサ４へ供給する励磁電流の周波数を各較正試験体に適する値に選定する工程と、選定された周波数に基づいて励磁電流の位相角を調整して較正試験体上に設置された渦電流測定センサ４から出力される虚数部分の変動率が小さくなる位相角を選定する工程と、これら工程によって決められた周波数と位相角に基づいて非磁性金属の膜厚を測定する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 対象物のサイズや形状等に関わらず、簡素な構成でより高精度に鋼材の減肉を検出することの可能な電磁波パルスによる減肉検出方法及び減肉検出装置を提供すること。
【解決手段】 電磁波パルスの送信子及び受信子から隔たった位置に存在する鋼材に送信子から電磁波パルスを送信すると共に前記受信子で受信し、受信パルスの時間と振幅との相関により前記鋼材の減肉を検出する。送信子と受信子を各々有する一対の第一、第二センサ２，３を設ける。これら第一、第二センサ２，３は互いに逆極性となるように配置される。第一センサ２及び第二センサ３双方の近傍に位置する鋼材１０１の減肉を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート抵抗が大きくなると│V_x│はシート抵抗の逆数に比例して小さくなるはずが、測定すると、あるシート抵抗値以上では変化しなくり、│V_x│の測定値から算出できない。
【解決手段】参照コイルと検出コイルが直列に接続された回路と、２個の基準抵抗が直列に接続されたインダクタンスブリッジを用い、測定対象物の表面に形成された導電膜の近傍の所定の位置に配置可能に構成され、参照コイルよりも検出コイルを導電膜に近接した位置に配置可能であり、導電膜に対して所定の渦電流を発生させ且つ当該渦電流による磁界を検出する渦電流コイルセンサで、導電膜からの磁界を検出するとき渦電流を発生させるための直列回路に印加された電圧に対して参照信号の位相合わせをする手段を有し、導電膜のシ−ト抵抗値がマイクロメ−トルオ−ダの膜厚に対応する高抵抗値を測定できるように、ブリッジの出力の抵抗成分のみを測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】曲率の影響を考慮に入れることができる方法を開発する。
【解決手段】本発明は、ターボ機械のブレード形式の中空部品の、所定の範囲の曲率半径および厚さの少なくとも所定の曲率半径を有する点における壁の厚さを評価するための方法であって、壁へと適用された渦電流検出器（２０）によって形成される電気回路のインピーダンス値を割り出すこと、およびそれらの値をニューラルネットワークを備えるデジタル処理ユニットへと挿入することを含み、ネットワークのパラメータが、上記範囲の所定の曲率半径および厚さを有するスペーサについての学習によって、予め定められている方法に関する。 （もっと読む）

【課題】渦電流式膜厚計を用いて、半導体基板上又は液晶ディスプレイ用のガラス基板上に形成された導電性薄膜の成膜状態を検査しようとした場合、被測定物が熱を持ち、その熱によって検出コイルの温度が上昇して測定誤差が生じることがあった。検出コイルの温度が上昇することによって、検出コイルの抵抗値が大きくなり、ブリッジのバランスが崩れて出力電圧が余分に発生し、測定対象物の膜厚が正しく計れないというものであった。
【解決手段】被測定物からの熱（輻射熱、空気の熱対流）を遮蔽板を用いて検出コイルに到達するのを防止することにより熱の影響によるインピ−ダンスの変化が生じないようにする。または、被測定物からの熱（輻射熱、空気の熱対流）を、積極的に検出コイル及び参照コイルに導いて熱の影響によるインピ−ダンスの変化を後段のブリッジにて相殺する。これらの手段により、被測定物が高温でも膜厚が正しく計れるようになった。 （もっと読む）

【課題】一つ先端エラーおよび変動を検出して、修正することによって、２つの部品の間のクリアランスの正確な測定を提供する複数先端クリアランス測定システムを提供することにある。
【解決手段】複数先端クリアランス測定システム（１２）が開示されている。本複数先端クリアランス測定システム（１２）は、第１の対象物（２４）に配置され、該センサが第２の対象物（２６）に対応する検出されたパラメータを表示する信号を生成するように構成される複数のプローブ先端部（６２、６４、６６、６８）を含むセンサ（２８）と、異常値プローブ先端部を検出して、それぞれの異常値プローブ先端部のゲインまたはオフセットを調整するためにプローブ先端部（６２、６４、６６、６８）から検出されたパラメータのサブセットから信号を評価し、該信号に基づき第１の対象物（２４）と第２の対象物（２６）との間のクリアランスを測定するように構成される処理装置（３４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】温度による影響を受けることなくその他の誤差要因に基づく影響を精度よく監視し、信頼性に優れた回転センサを提供する。
【解決手段】回転するシャフトＳに取り付けられ周方向に沿って幅が変化する導電性のセンシング部２０を有するロータ１０と、交流励磁電流によりセンシング部との間に磁気回路をなす励磁コイルと、励磁コイルを保持するコア本体とを有し、ロータのセンシング部に対してシャフトの軸線方向に対向配置される固定コアとを備え、センシング部の周方向３６０度あたりの幅の変化する周期を複数周期とし、固定コアが主信号用コイルコア組の固定コアと、これと独立してロータの回転角度を検出可能な参照信号用コイルコア組の固定コアからなり、主信号コイルコア組の固定コアと参照信号用コイルコア組の固定コアのセンシング部の周方向に設置される互いの相対角度差をセンシング部周期の整数倍となっている。 （もっと読む）

【課題】樹脂部材の加工残厚をリアルタイムで測定可能として作業時間を短縮させた加工残厚の測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】溝成形部材２１によって樹脂部材１０にティアライン１１を形成し、ティアライン形成後により残された樹脂部材１０の加工残厚を測定する加工残厚の測定方法であって、前記樹脂部材１０のティアライン形成面１０ａの裏側に渦流センサ３３を配置し、渦流センサ３３により樹脂部材１０に差し込まれた状態の前記溝成形部材２１に渦電流を誘起して、誘起された渦電流に基づく出力電圧を検出する検出工程と、該検出工程によって検出された出力電圧から、該渦流センサ３３と溝成形部材２１との距離Ｄを演算して、樹脂部材１０の溝加工部１２の厚さＬを求める測定工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】組付け性に優れかつコストの低減を図るとともに広範囲にわたって検出精度に優れた回転センサを提供する。
【解決手段】回転するシャフトＳに取付けられ、周方向に沿って幅が変化する導電性のセンシング部を有するロータと、交流励磁電流が流されることで前記ロータのセンシング部との間に磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材から成形されかつ前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、固定部材に取付けて前記ロータのセンシング部に対して前記シャフトの軸線方向に間隔をおいて対向配置される固定コアとを備えた回転センサにおいて、前記固定コアがセンシング部の周方向異なる位置に配置された少なくとも２つの固定コアからなり、各固定コアの励磁コイルを励磁する交流電流の位相を所定角度だけ互いにずらしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】測定環境の影響を受けることなく、簡易かつ迅速に、導電性膜の膜厚測定等を行うことができる渦電流センサを提供する。
【解決手段】導電性膜または導電性膜が形成される基板の近傍に配置されるセンサコイルと、該センサコイルに交流信号を供給して上記導電性膜に渦電流を形成する信号源と、上記導電性膜に形成された渦電流を上記センサコイルから見たインピーダンスとして検出する検出回路と、を備えた渦電流センサであって、上記インピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分とを直交座標軸上に表示し、上記インピーダンスの座標と指定された中心点の座標とを結ぶ直線の成す角度から上記導電性膜の膜厚を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】長尺帯状や長大な検査試料に対して簡単な構成で容易に且つ正確に膜厚を測定する。
【解決手段】ポリエステルフィルム１１に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置である。ローラ検査部２に、前記ポリエステルフィルム１１の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で支持される検査ヘッド１０と、前記ポリエステルフィルム１１の導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間に介在した状態でローラ検査部２の外周に設けられると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド１０との間隔を設定間隔に支持する隔離膜１４とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】き裂長さの影響を受けにくく、残存肉厚の評価を高精度に行うことができる渦電流探傷を利用した方法及び装置を提供する。
【解決手段】残存する肉厚が異なる複数のスリットを設けた対比試験体に対して複数の試験周波数による渦電流探傷を実施し、各スリットについての２つの異なる試験周波数間のＥＣＴ信号の位相差と残存する肉厚との相関を示す校正曲線群を得る。また、被検査体に対して前記複数の試験周波数による渦電流探傷を実施して前記２つの異なる試験周波数間のＥＣＴ信号の位相差を算出する。算出された位相差と前記校正曲線群の位相差とを対比することにより被検査体の検査面から内部き裂までの残存する肉厚を評価する。 （もっと読む）

【課題】円筒状基体上に設けられた塗膜又は被膜の厚みを測定する際に、測定によって前記基体にかかる負荷を少なくし、個々の測定値を極めて正確にする。
【解決手段】円筒状基体外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記円筒状基体外表面の軸に対して直交する前記円筒状基体外表面の断面円内に設定した基準点に対する前記断面円の円周上に定められた３つ以上の点の距離の前記円筒状基体の回転による変化に基づいて、前記基準点と前記円周上の点との距離を算出して前記円筒状基体外表面の断面円の形状、円中心、真円度、外径値を特定し、且つ、前記塗膜又は被膜外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記３つ以上の点とは別の、前記断面円と同一の断面上且つ前記塗膜又は被膜の外表面上の１つ以上の点と前記基準点との距離を算出し、前記円筒状基体外表面の断面円の形状をもとに前記塗膜又は被膜の厚みを測定する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ターボチャージャなどの回転数や導電体との位置関係を検出する渦電流式導電体検出装置において、温度変化による出力変動を低減し高精度に導電体を検出すること。
【解決手段】渦電流式導電体検出装置のＬＣ並列接続回路から出力される信号電圧に基づいてコイルに対する導電体の位置情報を検出する信号処理回路を備える渦電流式導電体検出装置において、出力の高温時と低温時の出力差が周波数軸上にて２つの一致点をもち、かつ、これら２つの一致点の周波数において低温時にも高温時にも相当に大きな出力差を確保できることを見出した。これら２つの一致点のどちらかの周波数をもつ交流電流をこのＬＣ並列接続回路に与えれば、少なくとも上記所定の低温時の上記所定の高温時とでの出力変動をキャンセルすることができ、温度変動による出力誤差を解消でき、温度変化にもかかわらず回転数を高精度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】渦流探傷により検出する欠陥深さの評価精度を向上させることができる渦流探傷信号の評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】渦流探傷信号における波形特徴を入力として教師あり学習により推定した欠陥の評価深さと、異なる波形特徴を入力として推定した評価深さを比較することにより推定結果を検証し、最適な評価結果を採用するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定値のバラツキを少なくすることで、測定精度を向上させた。
【解決手段】旧ゴムゲージ測定機１は、スチールベルト層３１のベルト外周面Ｌｃまでの第１測定距離Ｄ１を測定する渦電流センサー２１と、渦電流センサー２１に接して固定され、バフタイヤ３０の外周面までの第２測定距離Ｄ２を測定するレーザー変位センサーとを備えている。渦電流センサー２１の検出コイル２１ａ及びレーザー変位センサー２２の検出端２２ａは、固定された回転軸を中心に回転するバフタイヤ３０の外周面Ｌａより一定距離をもって固定されている。両センサー２１、２２のセンサー間距離Ｄ３は一定であり、第１測定距離Ｄ１とセンサー間距離Ｄ３の和から第２測定距離Ｄ２を減じることで旧ゴムゲージＧが算出される。 （もっと読む）

【課題】渦電流式変位計測器を、非磁性体であって互いに異なる既知の厚みを有する複数の基準板を用いて較正を行うに際し、基準板の入れ替え作業を省略して作業者の手間を省き、較正のための計測を自動的に行うことを可能とする技術を提案する。
【解決手段】渦電流式変位計測器のプローブ１２を保持するプローブ支持部１１と、ターゲット３７を前記プローブ１２のプローブヘッド１２ａに対して進退移動可能に支持するターゲット支持部３０と、複数の基準板Ｆ・Ｆ・・・を一体的に保持し、これらの基準板Ｆ・Ｆ・・・をプローブヘッド１２ａとターゲット３７との間の計測位置に順次移動させる機能を備えた回転盤４０（基準板保持部材）と、該回転盤４０をプローブヘッド１２ａに対して進退移動可能に支持する保持部材支持部２０と、回転盤４０、保持部材支持部２０、及びターゲット支持部３０の駆動を制御する駆動制御部６６とを、較正用治具１０に備えた。 （もっと読む）

【課題】温度以外の環境要因の影響を受け、測定回路内で変化する寄生容量を原因とするセンサ出力信号のドリフトを減少させ、渦電流センサの測定精度を向上させる。
【解決手段】ヘッド部分を持つセンサ回路を有する渦電流センサにおいて、センサ回路は、センサ・コイル、ベース部分、ヘッド部分をベース部分に接続する通信ケーブルを含む。センサ・コイルは、内部導体とケーブルの外側シールドとの間に接続される。ベース部分は、ケーブルの線路容量をセンサ・コイルから分離し中心導体の電圧を緩衝し、３軸ケーブルの内側シールドに印加する電圧フォロワを備える。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物の鋼材（鉄筋、鉄骨）に発生する歪みを測定して検査する作業工数の増大やデータの信頼性を損なわずに、簡単に非破壊で精度良く検査することができるコンクリート構造物の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】同一平面内に２個の微小な渦電流センサ２ａ、２ｂを内蔵した渦電流プローブ１を用いることにより、鉄筋１０と渦電流プローブ１との相対的な位置関係の変化に影響されずに、鉄筋１０の歪みを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】検出面の肉厚を厚くし、かつ、鉄などの磁性金属により構成される取付金属に埋込んで設置しても検出感度の低下を防ぐことが可能な近接センサを提供する。
【解決手段】検出コイル６から側面部２４への磁束ＦＬ１は取付金属の方向に誘導され、磁束ＦＬ１の一部が磁束ＦＬ３として取付金属５１に達する。また、側面部２４では磁束ＦＬ１により渦電流が生じ、その渦電流によって検出コイル６の方向に磁束ＦＬ２が発生するとともに、取付金属５１に向けて磁束ＦＬ４が発生する。磁束ＦＬ２，ＦＬ４によって取付金属５１では渦電流による損失が発生する。側面部２４では磁束が通過しやすくなっているので側面部２４での渦電流による損失は減少するものの取付金属５１では損失が増加する。発振周波数ωを調整することで漏洩磁束による損失を取付金属５１の有無に拘らず変化しないように調整することができる。 （もっと読む）