【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】変位センサの電気的失陥と機構的失陥とを、故障検知方法やシステムを複雑化することなく簡便且つ正確に検出すること。
【解決手段】センサ軸２４は連結部３４によるペダル１０との機械的な連結を解かれた状態ではセンサ本体２２に対して正常時の相対変位レンジを超える位置に変位する設定になっており、センサ出力値が前記相対変位レンジにおける最大値より大きい所定の上限設定値を上回った場合、あるいは前記出力値が前記相対変位レンジにおける最小値より小さい所定の下限設定値を下回った場合には異常判定を行う電気的異常判定手段と、センサ出力値が前記相対変位レンジにおける最大値より所定量大きい設定値を上回った場合、あるいは前記出力値が前記相対変位レンジにおける最小値より所定量小さい設定値を下回るった場合には異常判定を行う機構的失陥異常判定手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】圧延ロールとギャップセンサとの間の間隙を制御する必要が無く、圧延ロールが緊急退避した場合でもギャップセンサが破損したり、圧延ロールの表面に疵が付いたりすることのない圧延ロール位置測定装置を提供する。
【解決手段】圧延ロール位置測定装置１０は、下圧延ロール１２の圧延面１４までの距離を測定するギャップセンサ２３及び圧延面１４に向けて流体Ｗを噴出する噴出口２４を有するギャップ測定部１７と、ギャップ測定部１７の下方に設置され、内部に流体Ｗが供給される容器２０と、容器２０に対するギャップ測定部１７の相対変位を測定する変位計１９と、ギャップ測定部１７に変位計１９を介して連結され、容器２０内に充填される流体Ｗの浮力でギャップ測定部１７を押し上げる浮体部２５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】切削加工で製作されるコアを組み込んだ差動トランスを用いた触針式段差計の変位雑音を小さくすることのできるコア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】差動トランスのコア６は、切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを１μｍオーダー以下にして構成される。また、触針式段差計における本発明による差動トランス用コア６の製造方法は、パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを含む。 （もっと読む）

【課題】 差動トランス式変位計と歪みゲージ式変位計のいずれを使用する場合であっても、共通して使用することが可能な変位計用アンプ装置を提供する。
【解決手段】 変位計が差動トランス式変位計であるか歪みゲージ式変位計であるかの種別を記憶した不揮発性記憶素子と、変位計の種別に基づいて変位計から受信した出力信号に対するゲインの値を変更する計装アンプ５５と、変位計の種別に基づいて変位計から受信した出力信号に対する検波の方法を変更する相関係数計算部５８と、変位計の種別に基づいて変位計に送信する電源電圧の波形を変更する波形メモリ５３および波形制御部５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】ガスタービン制御装置の保守性の向上を図る。
【解決手段】ガスタービン制御装置は、バルブの開度に連動する可動鉄芯と、可動鉄芯の周囲に配置される１次コイル３２と、１次コイル３２に対応して設けられる２つの２次コイルと、を有する差動トランスより、１次コイル３２及び２つの２次コイルに対する可動鉄芯の位置が変化する場合に、電源から１次コイル３２に加えられる励磁電圧の電圧値及び励磁電圧によって２つの２次コイルに生じる誘起電圧の電圧値が入力される入力部と、２つの２次コイルのそれぞれの誘起電圧から求められた誘起電圧の電圧値の差を励磁電圧の電圧値で除して、可動鉄芯の位置を示す情報を演算する位置演算部３８と、演算された可動鉄芯の位置に基づいて、バルブの開度を求め、バルブの開度を指示する開度指示値を、バルブの開度を制御する開度制御部に出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で高精度の荷重検出を行うことができる荷重センサを提供する。
【解決手段】荷重センサ１は、固定側に取り付けられる基部３，及び基部３に対して弾性変形する起歪部４により両端部が支持され、印加される荷重に応じて基部３に対する相対位置が変位する可動部５を有してなる本体２と、ＶＲセンサ部１８との組み合わせで構成する。具体的には、１次コイル２０及び２次コイル２１を備えたステータコア１９を基部３側、可動コア２２を可動部５側にそれぞれ配置し、可動部５に荷重が加わり変位が生じるとステータコア１９側のコイル２０及び２１と可動コア２２との位置関係を変化させ、１次コイル２０が発生した磁束に対して作用する磁気抵抗を変化させる。 （もっと読む）

非強磁性圧電駆動屈曲部を持つ単一のハウジングは、屈曲部において一体化された異なる直径の第一及び第二巻型を有し、一方の巻型は他方の巻型の内部に同軸に配置される。一次巻型及び二次巻型の平面を形成する円筒は空間的に重ならない。二次コイルを反対方向に巻いて、変圧装置になるように配線することができる。コイルの中心軸の方向への二次コイルに対する一次コイルの移動を高精度で分別検出することができる。
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トランスデューサを有するゲージ装置（１）における熱ドリフト補償方法は、較正動作の過程で、ゲージ装置（１）の温度（Ｔ）の変化時に熱補償係数（Ｋ）の値を決定して記憶するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）を検出するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の温度（Ｔ）を検出するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の温度（Ｔ）とゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）との両方に応じて、較正動作の過程で既に決定されて記憶された熱補償係数（Ｋ）の値を用いて熱補償係数（Ｋ）の現在の値を決定するステップと、ゲージ動作の過程で、熱補償係数（Ｋ）の現在の値を用いてゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）を補正するステップとを含む。
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【課題】試験片の変位を検出するためには、標点と差動コイルの可動鉄芯とを機械的に接続しなければならなかった。
【解決手段】試験片ＴＰには磁性体４を予め貼付しておく。透明なプラスチックボビン２の内側に試験片４を挿入する。２つの差動コイルＣＣ，ＣＤの中間部に磁性体４が位置するよう試験片４を上下に調節する。上つかみ具３８および下つかみ具４０により試験片ＴＰを把持し、図示しない負荷機構により引張力を作用させる。駆動コイルＣＡ，ＣＢに駆動電流を流し、差動コイルＣＣ，ＣＤの出力から磁性体４の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】比較的構造が簡単でメンテナンスが容易な装置を用いて、精度よくシートのたるみを評価すること。
【解決手段】空間を移送されるシート１の表面にタッチローラー２を押し当て、該タッチローラーの変位量を測定することにより、タッチローラーを押し当てた位置におけるシートのたるみを評価する。 （もっと読む）

【課題】 サイクルタイムの増加を抑えてラジアルすきまの測定精度を向上させることができる転がり軸受のすきま測定方法を提供する。
【解決手段】 外輪を軸方向に対して直角の両方向に移動可能とするとともに、内輪を１ピッチ＝３６０°／（２ｍ＋１）ずつ（例えばｍ＝１）回転可能とする。一方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定した後は、内輪を１ピッチだけ回転させるとともに、逆方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定し、次いで、内輪を１ピッチだけ回転させるとともに、正方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定し、これを繰り返すことで第１から第ｎまでの位置における外輪移動量を得る。 （もっと読む）

この発明は、磁気軸受のセンサーシステムに関し、二つの作動コイル（１、２）、クロック化された二つの出力段（４，５）、作動コイル（１，２）を流れるリップル電流を持つ電流を検出する電流計（３）及びセンサーインターフェイスから成る。クロック化された出力段（３，４）は、予め決められた順番でパルス幅が少し狭められ或いは広められるようパルス幅変調された出力電圧を与える。クロック化された出力段（３，４）のパルス幅は、互いに固定された位相関係で変調される。このセンサーシステムは、クロック出力段を有する磁気軸受のためのセンサーシステムを特定する目的を果たす。発明は、磁気軸受、それを制御する装置、磁気軸受ないの位置を検出する方法にも関連する。
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【課題】 一方向クラッチを組み込んだ後のラジアルスキマの測定を可能とした一方向クラッチ付き軸受ユニットの組立方法および組立装置を提供する。
【解決手段】 玉軸受5および一方向クラッチ4が内輪2と外輪3との間に組み込まれた状態で玉軸受5のラジアルスキマを測定するスキマ測定装置11を備えており、スキマ測定装置11は、駆動手段13によって回転させられる駆動軸14と、駆動軸14に内輪2を結合する内輪クランプ手段15と、駆動軸14の位相角度を検出する位相角度検知手段16と、外輪3を保持する外輪クランプ手段17と、外輪クランプ手段17を支持して移動可能な可動テーブル19と、可動テーブル19に荷重を負荷する荷重負荷手段21と、荷重が負荷された際の外輪の移動量を検知する外輪移動量検出手段22と、外輪の移動量から玉軸受のラジアルスキマを求める演算手段23とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであり、レール高さ測定が容易で、２軸の走行台車が不要な１軸支持の軸箱形状で車体を支持することができ、５０ｋｍ／ｈから８０ｋｍ／ｈ程度の中速走行に適した軌道検測車を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、隣接して配置され相互に逆方向に巻かれた第１、第２の空芯コイルを有しレールの頭部の上部に対応させて軌道検測車に設けられた電磁センサと、軌道検測車の車体と走行車輪との間に設けられ走行車輪の車軸を車体に支持させる軸箱・板バネ支持機構と、電磁センサと先端にレールに乗る補助輪とを有し走行車輪を基準としてレール高さに応じて上下方向に回動して電磁センサを上下動させ、走行方向に直交する方向の移動に対して走行車輪とともに移動するように拘束されたアームとを備えていて、電磁センサによりレール変位量を測定するためのレールに対する高さを検出するものである。 （もっと読む）

【課題】シリンダ内のピストンの位置を測定する装置を提供する。
【解決手段】本発明は、軸に沿って延びるシリンダ１内のピストン２の位置を測定する装置に関し、装置は、少なくとも２つの位置センサ３、４を備え、２つの各位置センサは、ピストン２に連結される支持パレット３１と一体の第１のセンサ部材２０、４０と、シリンダ１と一体の第２のセンサ部材１０、３０とを備え、各位置センサの第１および第２のセンサ部材は、シリンダ１の軸に平行な軸に沿って相互に並進移動するように構成される。第１のセンサ部材２０、４０が、ボールジョイントリンク５０によってピストン２に連結されている同一の支持パレット３１と一体化される。本発明の装置を使用することにより、ピストンに伝達される横断方向ひずみをピストンに有することなく、位置センサをシリンダ内に配置できると同時に、ピストンは、円筒バレルの軸の周りの自由な回転を維持する。 （もっと読む）

【課題】周知な超小型バネ荷重型ＬＶＤＴは、プローブと検出器を対で用いるため、多数の実装部品の検査に好適せず、比較的低価格帯の電子部品を用いて高周波励磁用電力で駆動しても正確な動作が期待できない。
【解決手段】本発明は、基板上に実装された複数の電子部品の検出部に用いられ、母線方向に延び、前記磁性体が移動する距離範囲内をカバーする長さと高周波の印加により筐体に発生するうず電流の電流通路が遮断できる幅を有する少なくとも１つのスリットが形成される筐体内を移動可能で一端が外部に延出し、他端に磁性体が設けられた可動軸と、磁性体と対向する位置に高周波励磁用電力が印加され電界を発する一次コイルと、電界中の前記磁性体の移動により発生する誘導電流を取り込む２分割された二次コイルとを備え、基板検査システムに用いられるリニアスケールプローブである。 （もっと読む）

【課題】演算誤差を低減し高精度かつ高速に計測することのできる位置計測システムを提供する。
【解決手段】可動鉄片、該可動鉄片を励振する励振巻線Ｌ０および出力巻線Ｌ１を有する可動鉄片変圧器００１と、前記可動鉄片変圧器の励振巻線を励振する励振信号を生成する発振器００２、前記励振信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器００３、Ａ／Ｄ変換器出力をフーリエ変換するフーリエ変換部００５、フーリエ変換された励振信号の振幅を算出する振幅値算出部００７、前記出力巻線に発生する出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器００４、Ａ／Ｄ変換器出力をフーリエ変換するフーリエ変換部００６、フーリエ変換された出力信号の振幅を算出する振幅値算出部００８、フーリエ変換された励振信号の振幅を算出する振幅値算出部出力とフーリエ変換された出力信号の振幅を算出する振幅値算出部の比を演算する除算部００９、および該除算部出力にしたがって前記可動鉄片の位置を演算する位置演算部０１０を有する計測装置５００を備えた。 （もっと読む）

【課題】
質量の小さいコアを用い、高い直線性と高い変位分解能が得られるようにした触針式段差計における変位センサ用差動トランスを提供する。
【解決手段】
支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を設け、探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを設け、探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを支持体に取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計における変位センサ用差動トランスにおいて、変位センサの磁性体コアは飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料で円筒形に構成され、円筒形の磁性体コアを通す開口部を備えたコイルボビンに巻かれるコイルは飽和磁束密度の大きくしかも透磁率の小さい鉄・ニッケル合金の磁性材料のシールドでシールドされる。 （もっと読む）